JPS6071542A - 感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法 - Google Patents
感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法Info
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- JPS6071542A JPS6071542A JP17884583A JP17884583A JPS6071542A JP S6071542 A JPS6071542 A JP S6071542A JP 17884583 A JP17884583 A JP 17884583A JP 17884583 A JP17884583 A JP 17884583A JP S6071542 A JPS6071542 A JP S6071542A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 2
- QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N dichromium trioxide Chemical compound O=[Cr]O[Cr]=O QDOXWKRWXJOMAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N divanadium pentaoxide Chemical compound O=[V](=O)O[V](=O)=O GNTDGMZSJNCJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- 229910003069 TeO2 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten(VI) oxide Inorganic materials O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000003323 beak Anatomy 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- IMSVULZRHWBFAZ-UHFFFAOYSA-N gold oxotin Chemical compound [Sn]=O.[Au] IMSVULZRHWBFAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法に関し、よ
り詳細には狭面における水分の吸着現象ｆ：市気気抵抗
変化を利用して検知し、周囲雰囲気の湿質を測定する湿
度センサー用検知拐科の製造方法に関する。
り詳細には狭面における水分の吸着現象ｆ：市気気抵抗
変化を利用して検知し、周囲雰囲気の湿質を測定する湿
度センサー用検知拐科の製造方法に関する。
従来、湿度センサー用検知材料としては、有依＾分子、
金属臥化物、複合金柄酸化物およびセラミックスなど多
くの提案がなされている。
金属臥化物、複合金柄酸化物およびセラミックスなど多
くの提案がなされている。
ところで、近年、感湿装置の小型化や、記録の高密変化
力！進むにつれて、よシ性能に優れ、安価に製造できる
感湿検知材料が要求されるようになってきた。
力！進むにつれて、よシ性能に優れ、安価に製造できる
感湿検知材料が要求されるようになってきた。
しかしながら、従来の感湿検知材料は有機高分子を除い
て測定の種度、再現性の点に欠点があり、また有機高分
子は使用温度がｚｘｉｉｔ４４限定され、耐久性の点で
問題があるとされている。このため、新規な感湿検知材
料の出現が強く要望されていた。
て測定の種度、再現性の点に欠点があり、また有機高分
子は使用温度がｚｘｉｉｔ４４限定され、耐久性の点で
問題があるとされている。このため、新規な感湿検知材
料の出現が強く要望されていた。
そこで本発明は、かかる現状にがんがみ、なされたもの
であシ、表面を比較的ｔＭ浄に保持しやすいガラス粉末
の焼結体を用いて、安価に製造することができるなどの
特長を有するものである。
であシ、表面を比較的ｔＭ浄に保持しやすいガラス粉末
の焼結体を用いて、安価に製造することができるなどの
特長を有するものである。
すなわち本発明のガラス粉末焼結体の製造方法は、重址
チでＰｔＯｓ ６５〜７５ 、 ＢａＯ１０〜１５ オ
よびｚｎ０５〜１０ノ合計９０と、Ｍｏ５ｓ、Ｖ２Ｏ５
＋ＷＯ８およびＣｒ２Ｏ３からなる群から選ばれた金属
酸化物と’ｒｅｏ、との混合物の１０１址チを混合して
溶融し、得られたガラスを粉砕した後に金型で成型し、
成形体を焼成することを特徴とするものである。
チでＰｔＯｓ ６５〜７５ 、 ＢａＯ１０〜１５ オ
よびｚｎ０５〜１０ノ合計９０と、Ｍｏ５ｓ、Ｖ２Ｏ５
＋ＷＯ８およびＣｒ２Ｏ３からなる群から選ばれた金属
酸化物と’ｒｅｏ、との混合物の１０１址チを混合して
溶融し、得られたガラスを粉砕した後に金型で成型し、
成形体を焼成することを特徴とするものである。
本発明における感湿性焼結体は、重量％でＰ２Ｏ３６５
〜７５ 、ＢａＯ１０ヘ１５およびｚｎＯ５〜１０の合
計９０を基本成分とする。
〜７５ 、ＢａＯ１０ヘ１５およびｚｎＯ５〜１０の合
計９０を基本成分とする。
また、不発明においては、この基本成分にＭＯＯ３１Ｖ
２０ａ＋ Ｗｏｎおよびｃｒｔｏｓからなる群から選ば
れた金属酸化物と’ｒｅｏ、との混合物の１０重ｔ％混
合する。
２０ａ＋ Ｗｏｎおよびｃｒｔｏｓからなる群から選ば
れた金属酸化物と’ｒｅｏ、との混合物の１０重ｔ％混
合する。
ｐ、ｏ、が６５重敏チに満たないと、後述するガラス化
は可能であるが感湿性能がそこなわれる。
は可能であるが感湿性能がそこなわれる。
また、７５重址チを越えると、化学的耐久性が悪くなり
、検知材料としての耐久性が問題となる。
、検知材料としての耐久性が問題となる。
ＢａＯおよびＺｎＯの夫々の上限と下限は、感湿性がそ
こなわずにガラスが化学的に安定になるための範囲であ
る。
こなわずにガラスが化学的に安定になるための範囲であ
る。
一方、Ｍｏ５ｓ、 ｖ、ｏＢ、 ｗｏ、およびｃｒｔｏ
、からなる群から選ばれた金属酸化物は、一種のみなら
ず、複数種であっても良く、かつ、選ばれた金属酸化物
と’ｒｅｏ、との混合物が１０重ｔチになる範囲内にお
いて、選ばれた金鴫酸化物とＴｅ ａ、との混合比率を
適宜決定することができる。
、からなる群から選ばれた金属酸化物は、一種のみなら
ず、複数種であっても良く、かつ、選ばれた金属酸化物
と’ｒｅｏ、との混合物が１０重ｔチになる範囲内にお
いて、選ばれた金鴫酸化物とＴｅ ａ、との混合比率を
適宜決定することができる。
好ましくは、感湿焼結体の相対湿軛の変化に対する電気
抵抗値の変化を最大ならしめるために、選ばれた金属酸
化物と’ｒｅｏ２との混合比率は、Ｔｅａ、 ５ ＋Ｍ
ｏＯ，５，ＴｅａｔＳ ＋Ｖ、０．５． Ｔｅａ、 ５
＋ ＷＯｓ ５ 、またはＴｅａ、 ７ ＋ ｃｒ２ｏ
、３である。
抵抗値の変化を最大ならしめるために、選ばれた金属酸
化物と’ｒｅｏ２との混合比率は、Ｔｅａ、 ５ ＋Ｍ
ｏＯ，５，ＴｅａｔＳ ＋Ｖ、０．５． Ｔｅａ、 ５
＋ ＷＯｓ ５ 、またはＴｅａ、 ７ ＋ ｃｒ２ｏ
、３である。
これら金属酸化物と’ｒｅｏ、との混合物は、ガラス粉
末を焼結したときの、表面の電気抵抗を更に小さくする
機能を有する。
末を焼結したときの、表面の電気抵抗を更に小さくする
機能を有する。
このように各成分を十分に混合した後に、得られた嘴合
物を耐熱容器、たとえばアルミナ・ルツボに入れ、１０
５０〜１１００”Ｃで１５〜２０分間浴融してガラスヲ
得る。
物を耐熱容器、たとえばアルミナ・ルツボに入れ、１０
５０〜１１００”Ｃで１５〜２０分間浴融してガラスヲ
得る。
欠いで、このガラスを粉砕、好ましくは微粉砕し、得ら
れたガラス粉末を金型に入れて成形し、成形体を金型か
ら取り出して夫々の組成に応じて３５０〜４７０°Ｃで
焼成すると、成形焼結体が得られる。
れたガラス粉末を金型に入れて成形し、成形体を金型か
ら取り出して夫々の組成に応じて３５０〜４７０°Ｃで
焼成すると、成形焼結体が得られる。
以上述べたように本発明によれば、得られた感湿焼成体
は相対湿度の変化に対して電気抵抗値が大きく変化する
ので、広範囲の湿度変化を検知することができる。
は相対湿度の変化に対して電気抵抗値が大きく変化する
ので、広範囲の湿度変化を検知することができる。
また、本発明によシ得られる感湿焼結体はガラス質なの
で表面がなめらかであり、従って結晶質で表面が凹凸に
なりやすい従来の感湿材料のように感湿機能を阻害する
油や塵埃の付着が少なく、かつ耐久性の点で十分満足す
るものである。かつ組成的に均質であり、信頼性が大き
く、セラミックス焼結体のような特別な結晶制御會必快
とする焼結技術が不要であシ、簡単な操作で容易に実施
することができる。
で表面がなめらかであり、従って結晶質で表面が凹凸に
なりやすい従来の感湿材料のように感湿機能を阻害する
油や塵埃の付着が少なく、かつ耐久性の点で十分満足す
るものである。かつ組成的に均質であり、信頼性が大き
く、セラミックス焼結体のような特別な結晶制御會必快
とする焼結技術が不要であシ、簡単な操作で容易に実施
することができる。
従って本発明は、ありふれた材料による安価な感湿材料
の製造方法として好適であり、得られた感湿焼結体は、
産業機器、家庭用電化製品など、広範囲の湿度センサー
用検知材料として利用することができる。
の製造方法として好適であり、得られた感湿焼結体は、
産業機器、家庭用電化製品など、広範囲の湿度センサー
用検知材料として利用することができる。
以下、本発明を実施例によシ睦明する。
実施例１〜８
Ｐ、Ｏ，、Ｂａｄ、ｚｎｏ、’ｒｅｏ、、ＭＯＯ，，Ｖ
、０．．ＷＯ。
、０．．ＷＯ。
およびＣｒ、０．を採取し、十分に混合して得られた調
合物を、アルミナ・ルツボ中で１０５０〜１１００℃、
１５〜２０分間溶融し、ガラスを得た。
合物を、アルミナ・ルツボ中で１０５０〜１１００℃、
１５〜２０分間溶融し、ガラスを得た。
得られたガラスを微粉砕し、所定の形状の金型にて直径
１０１１！１．厚さ２１＋１１の円板状に成形し、金型
から取シはずした成形体を３５０〜４７０°Ｃで焼成し
て焼結体を得た。
１０１１！１．厚さ２１＋１１の円板状に成形し、金型
から取シはずした成形体を３５０〜４７０°Ｃで焼成し
て焼結体を得た。
この焼結体の両面を研摩し、表面に間隔０．５鼎で銀ペ
ーストを平行に塗布し、１００°Ｃで焼付けて平行な電
極を形成させた。
ーストを平行に塗布し、１００°Ｃで焼付けて平行な電
極を形成させた。
これを一定の温変に変換が可能な恒温槽に入れ、湿度の
変化に対する電気抵抗を絶縁抵抗−［を用いて測定した
。
変化に対する電気抵抗を絶縁抵抗−［を用いて測定した
。
得られたガラスの組成と２５°Ｃで測定した感湿特性を
下記宍および図に示す。
下記宍および図に示す。
この表および図から明らかなように、本発明によシ得ら
れた感湿焼結体は、相対１Ｍ、度が１８チから７０優迄
変化する間に、電気抵抗（＋［が最太約１００倍も大き
く変化するので、これを検知装置で検知して広範囲の湿
度変化を知ることができる。
れた感湿焼結体は、相対１Ｍ、度が１８チから７０優迄
変化する間に、電気抵抗（＋［が最太約１００倍も大き
く変化するので、これを検知装置で検知して広範囲の湿
度変化を知ることができる。
表
図は本発明の実施例によシ得られた感湿焼結体の相対湿
度と電気抵抗値との関係を示す図である。
度と電気抵抗値との関係を示す図である。
Claims (1)
- １０でＰ、０．６５〜７５ 、 ＢａＯ１０〜１５ 、
およびｚｎＯ５〜１０の合計９０と、ＭＯＯ３１Ｖ２Ｏ
６１ＷＯｓおよびＣｒ、０３からなる群から選ばれた金
属酸化物とＴｅａ、との混合物の１０重量％を混合して
溶融し、得られたガラスを粉砕した後に金型で成形し、
成形体を焼成することを特徴とする感湿性ガラス粉末焼
結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17884583A JPS6071542A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17884583A JPS6071542A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071542A true JPS6071542A (ja) | 1985-04-23 |
| JPS6317781B2 JPS6317781B2 (ja) | 1988-04-15 |
Family
ID=16055672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17884583A Granted JPS6071542A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 感湿性ガラス粉末焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071542A (ja) |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17884583A patent/JPS6071542A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317781B2 (ja) | 1988-04-15 |
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