JPS6071913A - 電磁流量計 - Google Patents
電磁流量計Info
- Publication number
- JPS6071913A JPS6071913A JP18140683A JP18140683A JPS6071913A JP S6071913 A JPS6071913 A JP S6071913A JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP S6071913 A JPS6071913 A JP S6071913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- electrode
- silicon carbide
- silicon nitride
- electromagnetic flowmeter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/584—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明線、電磁流量計に係り、特に管路に絶縁性の２イ
ニング材を有しない電磁流量計に使用して有用な発明に
関する。
ニング材を有しない電磁流量計に使用して有用な発明に
関する。
〈従来技術〉
電磁流量計は一般に流量に対応して管路内に発生した流
量信号が導電性の管路で短絡されるのを防ぐために管路
の内面を絶縁性のライニング材で被覆している。しかし
、最近はライニング材の変形による事故防止、コスト低
減等の観点から２イニングのない電磁流量計が提案され
て−る。
量信号が導電性の管路で短絡されるのを防ぐために管路
の内面を絶縁性のライニング材で被覆している。しかし
、最近はライニング材の変形による事故防止、コスト低
減等の観点から２イニングのない電磁流量計が提案され
て−る。
かかる従来の電磁流量計の実施例を第１図に示す。第１
図では本発明の゛改良のペースとなる従来の電磁流量計
の流量信号を検出する電極附近の構造のみを示す。１は
流量信号を検出する電極であシ、この外側にセラミック
のプツシ、２が配設されている。ブ、シ＆２の外側には
カラーＳが配設され、これらの電極１、ブ、シ、２およ
びカラー６でもって電極部長を構成している。導電性管
路５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６の導
電性管路５に対して外側の部分にはネジが切っである。
図では本発明の゛改良のペースとなる従来の電磁流量計
の流量信号を検出する電極附近の構造のみを示す。１は
流量信号を検出する電極であシ、この外側にセラミック
のプツシ、２が配設されている。ブ、シ＆２の外側には
カラーＳが配設され、これらの電極１、ブ、シ、２およ
びカラー６でもって電極部長を構成している。導電性管
路５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６の導
電性管路５に対して外側の部分にはネジが切っである。
このネジと袋す、ドアで電極部−を絶縁シート８を介し
て押圧固定する。被測定物体の液漏れを防ぐにはカラー
３と電極ボス６との間に挿入式れた金属Ｑｌｌｌｌタグ
実現する。
て押圧固定する。被測定物体の液漏れを防ぐにはカラー
３と電極ボス６との間に挿入式れた金属Ｑｌｌｌｌタグ
実現する。
電極部りはプツシ−２とカラー５とを焼きばめで結合し
た後に電極１ｔプツシ、、−２の中に冷やしばめで挿入
かん合する。この場合のシールはこれ等部材の緊密な結
合と金属０リングでなされる。
た後に電極１ｔプツシ、、−２の中に冷やしばめで挿入
かん合する。この場合のシールはこれ等部材の緊密な結
合と金属０リングでなされる。
電磁流量計では被測定流体の温度の範囲が例えば−１０
℃〜２００℃であるので、との温度範囲の使用を保証す
るためにはブツシュ２とカラー３の焼ばめ温度全３００
℃付近、電極１とプツシ＆２およびカラー５の結合体と
の冷やしばめ温度を一７０℃以下に設定する。
℃〜２００℃であるので、との温度範囲の使用を保証す
るためにはブツシュ２とカラー３の焼ばめ温度全３００
℃付近、電極１とプツシ＆２およびカラー５の結合体と
の冷やしばめ温度を一７０℃以下に設定する。
この場合にカラー５が冷やしばめの際、塑性変形し締付
圧が減少する。したがって、再び高温になった場合に力
？−Ｓの膨張によシ気密保持ができなくなる。すなわち
、完全な気密保持ができゐ温度範囲が狭い欠点がある。
圧が減少する。したがって、再び高温になった場合に力
？−Ｓの膨張によシ気密保持ができなくなる。すなわち
、完全な気密保持ができゐ温度範囲が狭い欠点がある。
また、この焼きばめおよび冷やしばめによる加工は精密
な加工を要するので加工コストが高くなる欠点もめる。
な加工を要するので加工コストが高くなる欠点もめる。
〈発明の目的〉
本発明は、前記の従来技術に鑑み、導電性セラミックと
絶縁性セラミックとｔ−１体とした焼結体とする電極構
造とすることによシ被測定流体の使用温度範囲を拡大す
ることを目的とする。
絶縁性セラミックとｔ−１体とした焼結体とする電極構
造とすることによシ被測定流体の使用温度範囲を拡大す
ることを目的とする。
（ｓ）
〈本発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、被測定流体を流す
導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体に発生した電位
分布と同じ電位分布を前記導電性管路に形成する電磁流
量計において、前記被測定流体に起因する流量信号を検
出する電極部を導電性セ５ Ｚ ｙりと絶縁性セラミ、
りとで１体として焼結して構成し、使用温度範囲を拡大
するようにしたものである。
導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体に発生した電位
分布と同じ電位分布を前記導電性管路に形成する電磁流
量計において、前記被測定流体に起因する流量信号を検
出する電極部を導電性セ５ Ｚ ｙりと絶縁性セラミ、
りとで１体として焼結して構成し、使用温度範囲を拡大
するようにしたものである。
〈実施例〉
以下本発明の実施例について図面に基づき詳細に説明す
る。伺、従来技術と同一の機能を有する部分には同一番
号を付し、重複する説明は省略するＯ 第２図は本発明の第１の実施例を示す構成図である・１
０は導電性セラミックで構成された電極でＴｏシ、１１
は絶縁性のセラミックで構成されたプ。
る。伺、従来技術と同一の機能を有する部分には同一番
号を付し、重複する説明は省略するＯ 第２図は本発明の第１の実施例を示す構成図である・１
０は導電性セラミックで構成された電極でＴｏシ、１１
は絶縁性のセラミックで構成されたプ。
シ＆を示す。導電性のセラミ、りとしては、例えば炭化
珪素（ＳｉＣ）がＴｏシ、その体積固有抵抗は１０−１
０・ｃｍと小さく、絶縁性のセラミ、りとして（４） は、例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）がアリ、その体積固
有抵抗は１０１４Ω・ａｍと高い。ここではこれ等の実
施例について説明する。
珪素（ＳｉＣ）がＴｏシ、その体積固有抵抗は１０−１
０・ｃｍと小さく、絶縁性のセラミ、りとして（４） は、例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）がアリ、その体積固
有抵抗は１０１４Ω・ａｍと高い。ここではこれ等の実
施例について説明する。
炭化珪素の焼結温度は一般に窒化珪素の焼結温度よりも
低いので、窒化珪素のプッシュ１１ｔ−まず焼結した後
、その中空部に炭化珪素（８１Ｃ） 、珪素（８１）
、炭素（Ｃ）の混合粉末を入れ、約１４５０ ℃で焼結
して電極１０ヲ作る。この場合に炭化珪素中に残留する
金属の珪素（ｓｌ）と、窒化珪素の焼結の助剤に使われ
た酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、アルミナ（Ａ１２０
３）とが境界面で結合し、ガラス質になるため境界での
気密性が確保できる。また、炭化珪素の収縮率は０．１
％と非常に小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない
。
低いので、窒化珪素のプッシュ１１ｔ−まず焼結した後
、その中空部に炭化珪素（８１Ｃ） 、珪素（８１）
、炭素（Ｃ）の混合粉末を入れ、約１４５０ ℃で焼結
して電極１０ヲ作る。この場合に炭化珪素中に残留する
金属の珪素（ｓｌ）と、窒化珪素の焼結の助剤に使われ
た酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、アルミナ（Ａ１２０
３）とが境界面で結合し、ガラス質になるため境界での
気密性が確保できる。また、炭化珪素の収縮率は０．１
％と非常に小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない
。
更に炭化珪素の熱膨張係数は４．３ Ｘ １０＝／ ’
Ｃでめシ、窒化珪素の熱膨張係数は３．５ ｘ １０−
６／ ℃であるので、両者の差紘小さい。したがって本
実施例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広く
とれる。
Ｃでめシ、窒化珪素の熱膨張係数は３．５ ｘ １０−
６／ ℃であるので、両者の差紘小さい。したがって本
実施例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広く
とれる。
第３図は本発明の第２の実施例を示す構成図でめる。
第２図の実施例ではプッシュ１１と電極ボス６との間に
金属製のＯリング９を介在させて気密を保つ構成とした
が、第Ｓ図の実施例では、電極ボス１２の内面とブツシ
ュ１３の外面とをテーパ面とし、このテーパ面で気密を
保つようにしたものでわる。
金属製のＯリング９を介在させて気密を保つ構成とした
が、第Ｓ図の実施例では、電極ボス１２の内面とブツシ
ュ１３の外面とをテーパ面とし、このテーパ面で気密を
保つようにしたものでわる。
この構成によれば、被測定流体の温度が高い場合でも、
プツシ＝−１３が外側から袋ナラ）７により圧縮力を受
けているので、電極１０とブツシュ１３との熱膨張差に
よるプツシ５Ｌ１３の破壊を防ぐ効果も合わせ持ってい
る。
プツシ＝−１３が外側から袋ナラ）７により圧縮力を受
けているので、電極１０とブツシュ１３との熱膨張差に
よるプツシ５Ｌ１３の破壊を防ぐ効果も合わせ持ってい
る。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば、従来のように焼きばめや冷やしばめの構造をと
らないので適用温度範囲が拡大し電磁流量計として用途
が拡大する。また従来の如゛く精密な加工をする必要が
ないのでコストの低減に寄与することができる。更に、
電極部の構造がコンパクトになシ小ブイズの電磁流量計
にも容易に適用できる効果がある。
よれば、従来のように焼きばめや冷やしばめの構造をと
らないので適用温度範囲が拡大し電磁流量計として用途
が拡大する。また従来の如゛く精密な加工をする必要が
ないのでコストの低減に寄与することができる。更に、
電極部の構造がコンパクトになシ小ブイズの電磁流量計
にも容易に適用できる効果がある。
第１図は従来の電磁流量計の実施例の構成図、第２図は
本発明の第１の実施例の構成図、第５図は本発明の第２
の実施例の構成図。 ５・・・導電性管路、６・・・電極ボス、９・・・金属
。リング、１０・・・電極、１１．１３・・・プツシ纂
。 （７）
本発明の第１の実施例の構成図、第５図は本発明の第２
の実施例の構成図。 ５・・・導電性管路、６・・・電極ボス、９・・・金属
。リング、１０・・・電極、１１．１３・・・プツシ纂
。 （７）
Claims (1)
- 被測定流体を流す導電性管路の内壁近傍の前記被測定流
体に発生した電位分布と同じ電位分布を前記導電性管路
に形成する電磁流量計において、前記被測定流体に起因
する流量信号を検出する電極部を導電性セラミックと絶
縁性セラミックとで１体として焼結して構成したことを
特徴とする電磁流量計＠
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071913A true JPS6071913A (ja) | 1985-04-23 |
| JPH035525B2 JPH035525B2 (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=16100199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18140683A Granted JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5925830A (en) * | 1995-09-12 | 1999-07-20 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme Ag | Electromagnetic flowmeter construction |
| US7462255B2 (en) * | 2002-06-14 | 2008-12-09 | Technische Universitaet Dresden | Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP18140683A patent/JPS6071913A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5925830A (en) * | 1995-09-12 | 1999-07-20 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme Ag | Electromagnetic flowmeter construction |
| US7462255B2 (en) * | 2002-06-14 | 2008-12-09 | Technische Universitaet Dresden | Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH035525B2 (ja) | 1991-01-25 |
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