JPS6072003A - Control microcomputer - Google Patents
Control microcomputerInfo
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- JPS6072003A JPS6072003A JP17827983A JP17827983A JPS6072003A JP S6072003 A JPS6072003 A JP S6072003A JP 17827983 A JP17827983 A JP 17827983A JP 17827983 A JP17827983 A JP 17827983A JP S6072003 A JPS6072003 A JP S6072003A
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- Japan
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- ground
- control microcomputer
- analog
- amplifier
- digital
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B15/00—Systems controlled by a computer
- G05B15/02—Systems controlled by a computer electric
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
- Control By Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、制御用マイクロコンピュータ（以下、制御用
マイコンと略）に係１ハ特にドライプロセスにてウェハ
に所定の処理を施こす半導体製造装置に好適な制御用マ
イコンに関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a control microcomputer (hereinafter abbreviated as a control microcomputer) and particularly to semiconductor manufacturing equipment that performs predetermined processing on wafers in a dry process. The present invention relates to a control microcomputer suitable for.
デジタルグランドとアナロググランドとを有し、これら
グランドが半導体製造装置の制御対象物とそれぞれ接続
された制御用マイコンでは、従来、テ′ジタル信号系に
おいては、光絶縁されているが。Conventionally, a control microcomputer has a digital ground and an analog ground, and these grounds are respectively connected to an object to be controlled in a semiconductor manufacturing device. Conventionally, a digital signal system is optically isolated.
しかし、アナログ信号系においては、Ｄ／Ａ変換後若し
くはＡ／Ｄ変換前のアナログ信号値を絶縁アンプにより
絶縁している。このため次のような欠点があった。However, in an analog signal system, the analog signal value after D/A conversion or before A/D conversion is isolated by an isolation amplifier. This resulted in the following drawbacks.
（１）制御対象物の高電圧、高周波による電源ノイズが
デジタルグランドに悪影響を及ぼし、又、アナロググラ
ンドのあるコモンラインでノイズが発生した場合、他の
コモンラインに影響を及ぼしアナログ入出力信号がノイ
ズを含んだ信号となるため、制御対象物を精度良く制御
することが不能になる。(1) Power supply noise due to high voltage and high frequency of the controlled object has an adverse effect on the digital ground, and if noise occurs on the common line with the analog ground, it will affect other common lines and cause the analog input/output signal to Since the signal contains noise, it becomes impossible to accurately control the object to be controlled.
（２） アナログ入出力信号点数に相当する絶縁アンプ
を設ける必要があるため、制御用マイコンが大型１ヒす
ると共に高価になる。(2) Since it is necessary to provide isolation amplifiers corresponding to the number of analog input/output signal points, the control microcomputer becomes large and expensive.
本発明の目的は、デジタルグランドへのノイズの付加並
びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防止するこ
とで、制御対象物を精度良く制御できる制御用マイコン
を提供することにある。An object of the present invention is to provide a control microcomputer that can control a controlled object with high precision by preventing noise from being added to a digital ground and from adding noise to an analog input/output signal.
本発明は、デジタルグランドと制御対象物とを電気的に
絶縁し、アナロググランドのコモンラインを独立させた
ことを特徴とするもので、デジタルグランドへのノイズ
の付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防
止しようとしたものである。The present invention is characterized in that the digital ground and the controlled object are electrically isolated and the common line of the analog ground is made independent, which prevents noise from being added to the digital ground and noise to the analog input/output signal. This was an attempt to prevent the addition of
本発明の一実施例を図面により説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図面で、制御用マイコンｌＯは、デジタルグランド圀と
アナロググランド加とを有している。デジタルグランド
加は、中央処理側のグランド、例えば、マイクロプロセ
ッサ周辺回路２１を有するグランドであり、又アナログ
グランド（９）は、 Ｄ／Ａ変換周辺回路３１とアンプ
３２ ａと絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４Ｂとで
なるアナログ信号出力側グランドあと、Ａ／Ｄ変換周辺
回路謁とアンプ３２ｂと絶縁アンプ３３ｂと絶縁トラン
ス３４ｂとでなるアナログ信号入力側グランド３７とで
構成されている。マイクロプロセッサ周辺回路２１のデ
ジタル信号入出力部は光アイソレータ旬を介して制御対
象物印とそれぞれ接続されている。マイクロプロセッサ
周辺回路２１のアナログ信号入出力部は光アイソレータ
仙を介してＤ／Ａ変換周辺回路３１ 、Ａ／Ｄ変換周辺
回路興とそれぞれ接続され、アンプ３２ａ、３２ｂ、絶
縁アンプ３３ ａ ＋ ａ３ｂは制御対象物圀とそれぞ
れ接続されている。又、アナログ信号出力側グランド篤
の絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４ａとは、Ｄ／Ａ
変換周辺回路３１．アンプ３２ ａより独立させられ、
アナログ信号入力端グランド３７の絶縁アンプ３３ｂと
絶縁トランス３４ｂとは、Ａ／Ｄ変換周辺回路蕊、アン
プ３２ｂより独立させられている。In the drawing, the control microcomputer IO has a digital ground field and an analog ground field. The digital ground (9) is the ground on the central processing side, for example, the ground that includes the microprocessor peripheral circuit 21, and the analog ground (9) is the ground that includes the D/A conversion peripheral circuit 31, the amplifier 32a, the isolation amplifier 33a, and the isolation transformer. 34B, an analog signal input side ground 37 consisting of an A/D conversion peripheral circuit, an amplifier 32b, an isolation amplifier 33b, and an isolation transformer 34b. The digital signal input/output sections of the microprocessor peripheral circuit 21 are respectively connected to the control object marks via optical isolators. The analog signal input/output section of the microprocessor peripheral circuit 21 is connected to the D/A conversion peripheral circuit 31 and the A/D conversion peripheral circuit through optical isolators, respectively, and the amplifiers 32a, 32b, and isolation amplifiers 33a+a3b are Each is connected to the controlled object area. In addition, the analog signal output side ground-connected isolation amplifier 33a and isolation transformer 34a are connected to the D/A
Conversion peripheral circuit 31. It is made independent from the amplifier 32a,
The isolation amplifier 33b and isolation transformer 34b of the analog signal input end ground 37 are independent from the A/D conversion peripheral circuitry and the amplifier 32b.
本実施例のような制御用マイコンでは次のような効果が
得られる。The control microcomputer as in this embodiment provides the following effects.
（１）テ゛ジタルグランドと制御対象物とを光アイソレ
ータを介して接続しデジタルグランドと制御対象物とを
電気的に絶縁しているため、制御対象物からのデジタル
グランドへのノイズの付加を防止でき、又、アナログ信
号出力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＤ／
Ａ変換周辺回路、アンプより独立させ、アナログ信号入
力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＡ／Ｄ変
換周辺回路、アンプより独立させてアナロググランドの
コモンラインを独立させているため、アナログ入出力信
号へのノイズの付加を防止でき、従って、制御対象物を
精度良く制御できる。(1) Since the digital ground and the controlled object are connected via an optical isolator to electrically isolate the digital ground and the controlled object, it is possible to prevent noise from being added to the digital ground from the controlled object. , Also, connect the analog signal output side ground isolation amplifier and isolation transformer to D/
Analog input/output is made independent from the A conversion peripheral circuit and amplifier, and the isolation amplifier and isolation transformer on the analog signal input side ground are made independent from the A/D conversion peripheral circuit and amplifier, making the analog ground common line independent. Addition of noise to the signal can be prevented, and therefore the object to be controlled can be controlled with high precision.
（２） デジタルグランドとアナロググランドとを光ア
イソレータを介し接続しこれらグランドを電気的に絶縁
しているため、ノイズ対策を要する部分以外には、特に
絶縁アンプを設ける必要がない。従って、絶縁アンプの
個数を減少することができ、制御用マイコンを小型かつ
、安価にできる。(2) Since the digital ground and the analog ground are connected via an optical isolator and these grounds are electrically isolated, there is no need to provide any isolation amplifiers except in areas where noise countermeasures are required. Therefore, the number of isolation amplifiers can be reduced, and the control microcomputer can be made smaller and cheaper.
本発明は、以上説明したように、デジタルグランドと制
御対象物とを電気的に絶縁し、アナロググランドのコモ
ンラインを独立させたことで、デジタルグランドへのノ
イズの付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの伺加
を防止できるので。As explained above, the present invention electrically isolates the digital ground and the controlled object and makes the analog ground common line independent, thereby preventing noise from being added to the digital ground and analog input/output signals. This prevents the addition of noise.
制御対象物を精度良く制御できる効果がある。This has the effect of allowing the object to be controlled to be controlled with high precision.
図面は、本発明による制御用マイコンの一実施例を示す
構成図である。The drawing is a configuration diagram showing one embodiment of a control microcomputer according to the present invention.
Claims (1)
これらグランドが制御対象物とそれぞれ接続された制御
用マイクロコンピュータにおいて。 前記デジタルグランドと前記制御対象物とを電気的に絶
縁し、前記アナロググランドのコモンラインを独立させ
たことを特徴とする制御用マイクロコンピュータ。 ２、前記デジタルグランドと前記アナロググランドとを
光アイソレータを介して接続すると共に。 アナロググランドを構成する絶縁アンプと絶縁トランス
とをアナロググランドを構成するＤ／Ａ変換周辺回路、
Ｄ／Ａ変換周辺回路及びアンプより独立させた特許請求
の範囲第１項記載の制御用マイクロコンピュータ。[Claims] 1. Having a digital ground and an analog ground,
In the control microcomputer, each of these grounds is connected to the controlled object. A control microcomputer, characterized in that the digital ground and the object to be controlled are electrically insulated, and the common line of the analog ground is made independent. 2. Connecting the digital ground and the analog ground via an optical isolator. An isolation amplifier and an isolation transformer that make up the analog ground, and a D/A conversion peripheral circuit that makes up the analog ground.
A control microcomputer according to claim 1, which is independent from a D/A conversion peripheral circuit and an amplifier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17827983A JPS6072003A (en) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | Control microcomputer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17827983A JPS6072003A (en) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | Control microcomputer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072003A true JPS6072003A (en) | 1985-04-24 |
Family
ID=16045687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17827983A Pending JPS6072003A (en) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | Control microcomputer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072003A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2745666A1 (en) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | AUTOMATIC GAIN ADJUSTMENT CIRCUIT USING A CAPACITOR TO REDUCE DIGITAL NOISE COUPLING |
| FR2745665A1 (en) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | AUTOMATIC GAIN ADJUSTMENT CIRCUIT USING AN AMPLIFIER TO REDUCE DIGITAL NOISE COUPLING |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146681A (en) * | 1974-10-18 | 1976-04-21 | Hitachi Ltd | PUROSESUNYUSHUTSURYOKUSOCHI |
| JPS5279849A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Toshiba Corp | Process input/output system for essential safety protection |
| JPS56168203A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Analog output device |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP17827983A patent/JPS6072003A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146681A (en) * | 1974-10-18 | 1976-04-21 | Hitachi Ltd | PUROSESUNYUSHUTSURYOKUSOCHI |
| JPS5279849A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Toshiba Corp | Process input/output system for essential safety protection |
| JPS56168203A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Analog output device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2745666A1 (en) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | AUTOMATIC GAIN ADJUSTMENT CIRCUIT USING A CAPACITOR TO REDUCE DIGITAL NOISE COUPLING |
| FR2745665A1 (en) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | AUTOMATIC GAIN ADJUSTMENT CIRCUIT USING AN AMPLIFIER TO REDUCE DIGITAL NOISE COUPLING |
| US6208209B1 (en) | 1996-02-29 | 2001-03-27 | Sgs-Thompson Microelectronics Pte. Ltd. | Automatic gain control circuit using a capacitor for minimizing digital coupling |
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