JPS6072003A - 制御用マイクロコンピユ−タ - Google Patents
制御用マイクロコンピユ−タInfo
- Publication number
- JPS6072003A JPS6072003A JP17827983A JP17827983A JPS6072003A JP S6072003 A JPS6072003 A JP S6072003A JP 17827983 A JP17827983 A JP 17827983A JP 17827983 A JP17827983 A JP 17827983A JP S6072003 A JPS6072003 A JP S6072003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ground
- control microcomputer
- analog
- amplifier
- digital
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B15/00—Systems controlled by a computer
- G05B15/02—Systems controlled by a computer electric
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
- Control By Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、制御用マイクロコンピュータ（以下、制御用
マイコンと略）に係１ハ特にドライプロセスにてウェハ
に所定の処理を施こす半導体製造装置に好適な制御用マ
イコンに関するものである。
マイコンと略）に係１ハ特にドライプロセスにてウェハ
に所定の処理を施こす半導体製造装置に好適な制御用マ
イコンに関するものである。
デジタルグランドとアナロググランドとを有し、これら
グランドが半導体製造装置の制御対象物とそれぞれ接続
された制御用マイコンでは、従来、テ′ジタル信号系に
おいては、光絶縁されているが。
グランドが半導体製造装置の制御対象物とそれぞれ接続
された制御用マイコンでは、従来、テ′ジタル信号系に
おいては、光絶縁されているが。
しかし、アナログ信号系においては、Ｄ／Ａ変換後若し
くはＡ／Ｄ変換前のアナログ信号値を絶縁アンプにより
絶縁している。このため次のような欠点があった。
くはＡ／Ｄ変換前のアナログ信号値を絶縁アンプにより
絶縁している。このため次のような欠点があった。
（１）制御対象物の高電圧、高周波による電源ノイズが
デジタルグランドに悪影響を及ぼし、又、アナロググラ
ンドのあるコモンラインでノイズが発生した場合、他の
コモンラインに影響を及ぼしアナログ入出力信号がノイ
ズを含んだ信号となるため、制御対象物を精度良く制御
することが不能になる。
デジタルグランドに悪影響を及ぼし、又、アナロググラ
ンドのあるコモンラインでノイズが発生した場合、他の
コモンラインに影響を及ぼしアナログ入出力信号がノイ
ズを含んだ信号となるため、制御対象物を精度良く制御
することが不能になる。
（２） アナログ入出力信号点数に相当する絶縁アンプ
を設ける必要があるため、制御用マイコンが大型１ヒす
ると共に高価になる。
を設ける必要があるため、制御用マイコンが大型１ヒす
ると共に高価になる。
本発明の目的は、デジタルグランドへのノイズの付加並
びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防止するこ
とで、制御対象物を精度良く制御できる制御用マイコン
を提供することにある。
びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防止するこ
とで、制御対象物を精度良く制御できる制御用マイコン
を提供することにある。
本発明は、デジタルグランドと制御対象物とを電気的に
絶縁し、アナロググランドのコモンラインを独立させた
ことを特徴とするもので、デジタルグランドへのノイズ
の付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防
止しようとしたものである。
絶縁し、アナロググランドのコモンラインを独立させた
ことを特徴とするもので、デジタルグランドへのノイズ
の付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの付加を防
止しようとしたものである。
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、制御用マイコンｌＯは、デジタルグランド圀と
アナロググランド加とを有している。デジタルグランド
加は、中央処理側のグランド、例えば、マイクロプロセ
ッサ周辺回路２１を有するグランドであり、又アナログ
グランド（９）は、 Ｄ／Ａ変換周辺回路３１とアンプ
３２ ａと絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４Ｂとで
なるアナログ信号出力側グランドあと、Ａ／Ｄ変換周辺
回路謁とアンプ３２ｂと絶縁アンプ３３ｂと絶縁トラン
ス３４ｂとでなるアナログ信号入力側グランド３７とで
構成されている。マイクロプロセッサ周辺回路２１のデ
ジタル信号入出力部は光アイソレータ旬を介して制御対
象物印とそれぞれ接続されている。マイクロプロセッサ
周辺回路２１のアナログ信号入出力部は光アイソレータ
仙を介してＤ／Ａ変換周辺回路３１ 、Ａ／Ｄ変換周辺
回路興とそれぞれ接続され、アンプ３２ａ、３２ｂ、絶
縁アンプ３３ ａ ＋ ａ３ｂは制御対象物圀とそれぞ
れ接続されている。又、アナログ信号出力側グランド篤
の絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４ａとは、Ｄ／Ａ
変換周辺回路３１．アンプ３２ ａより独立させられ、
アナログ信号入力端グランド３７の絶縁アンプ３３ｂと
絶縁トランス３４ｂとは、Ａ／Ｄ変換周辺回路蕊、アン
プ３２ｂより独立させられている。
アナロググランド加とを有している。デジタルグランド
加は、中央処理側のグランド、例えば、マイクロプロセ
ッサ周辺回路２１を有するグランドであり、又アナログ
グランド（９）は、 Ｄ／Ａ変換周辺回路３１とアンプ
３２ ａと絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４Ｂとで
なるアナログ信号出力側グランドあと、Ａ／Ｄ変換周辺
回路謁とアンプ３２ｂと絶縁アンプ３３ｂと絶縁トラン
ス３４ｂとでなるアナログ信号入力側グランド３７とで
構成されている。マイクロプロセッサ周辺回路２１のデ
ジタル信号入出力部は光アイソレータ旬を介して制御対
象物印とそれぞれ接続されている。マイクロプロセッサ
周辺回路２１のアナログ信号入出力部は光アイソレータ
仙を介してＤ／Ａ変換周辺回路３１ 、Ａ／Ｄ変換周辺
回路興とそれぞれ接続され、アンプ３２ａ、３２ｂ、絶
縁アンプ３３ ａ ＋ ａ３ｂは制御対象物圀とそれぞ
れ接続されている。又、アナログ信号出力側グランド篤
の絶縁アンプ３３ａと絶縁トランス３４ａとは、Ｄ／Ａ
変換周辺回路３１．アンプ３２ ａより独立させられ、
アナログ信号入力端グランド３７の絶縁アンプ３３ｂと
絶縁トランス３４ｂとは、Ａ／Ｄ変換周辺回路蕊、アン
プ３２ｂより独立させられている。
本実施例のような制御用マイコンでは次のような効果が
得られる。
得られる。
（１）テ゛ジタルグランドと制御対象物とを光アイソレ
ータを介して接続しデジタルグランドと制御対象物とを
電気的に絶縁しているため、制御対象物からのデジタル
グランドへのノイズの付加を防止でき、又、アナログ信
号出力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＤ／
Ａ変換周辺回路、アンプより独立させ、アナログ信号入
力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＡ／Ｄ変
換周辺回路、アンプより独立させてアナロググランドの
コモンラインを独立させているため、アナログ入出力信
号へのノイズの付加を防止でき、従って、制御対象物を
精度良く制御できる。
ータを介して接続しデジタルグランドと制御対象物とを
電気的に絶縁しているため、制御対象物からのデジタル
グランドへのノイズの付加を防止でき、又、アナログ信
号出力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＤ／
Ａ変換周辺回路、アンプより独立させ、アナログ信号入
力側グランドの絶縁アンプと絶縁トランスとをＡ／Ｄ変
換周辺回路、アンプより独立させてアナロググランドの
コモンラインを独立させているため、アナログ入出力信
号へのノイズの付加を防止でき、従って、制御対象物を
精度良く制御できる。
（２） デジタルグランドとアナロググランドとを光ア
イソレータを介し接続しこれらグランドを電気的に絶縁
しているため、ノイズ対策を要する部分以外には、特に
絶縁アンプを設ける必要がない。従って、絶縁アンプの
個数を減少することができ、制御用マイコンを小型かつ
、安価にできる。
イソレータを介し接続しこれらグランドを電気的に絶縁
しているため、ノイズ対策を要する部分以外には、特に
絶縁アンプを設ける必要がない。従って、絶縁アンプの
個数を減少することができ、制御用マイコンを小型かつ
、安価にできる。
本発明は、以上説明したように、デジタルグランドと制
御対象物とを電気的に絶縁し、アナロググランドのコモ
ンラインを独立させたことで、デジタルグランドへのノ
イズの付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの伺加
を防止できるので。
御対象物とを電気的に絶縁し、アナロググランドのコモ
ンラインを独立させたことで、デジタルグランドへのノ
イズの付加並びにアナログ入出力信号へのノイズの伺加
を防止できるので。
制御対象物を精度良く制御できる効果がある。
図面は、本発明による制御用マイコンの一実施例を示す
構成図である。
構成図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 デジタルグランドとアナロググランドとを有し、
これらグランドが制御対象物とそれぞれ接続された制御
用マイクロコンピュータにおいて。 前記デジタルグランドと前記制御対象物とを電気的に絶
縁し、前記アナロググランドのコモンラインを独立させ
たことを特徴とする制御用マイクロコンピュータ。 ２、前記デジタルグランドと前記アナロググランドとを
光アイソレータを介して接続すると共に。 アナロググランドを構成する絶縁アンプと絶縁トランス
とをアナロググランドを構成するＤ／Ａ変換周辺回路、
Ｄ／Ａ変換周辺回路及びアンプより独立させた特許請求
の範囲第１項記載の制御用マイクロコンピュータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17827983A JPS6072003A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 制御用マイクロコンピユ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17827983A JPS6072003A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 制御用マイクロコンピユ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072003A true JPS6072003A (ja) | 1985-04-24 |
Family
ID=16045687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17827983A Pending JPS6072003A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 制御用マイクロコンピユ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072003A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2745666A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | Circuit de reglage de gain automatique utilisant un condensateur pour reduire le couplage de bruit numerique |
| FR2745665A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | Circuit de reglage de gain automatique utilisant un amplificateur pour reduire le couplage de bruit numerique |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146681A (ja) * | 1974-10-18 | 1976-04-21 | Hitachi Ltd | Purosesunyushutsuryokusochi |
| JPS5279849A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Toshiba Corp | Process input/output system for essential safety protection |
| JPS56168203A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Analog output device |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP17827983A patent/JPS6072003A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5146681A (ja) * | 1974-10-18 | 1976-04-21 | Hitachi Ltd | Purosesunyushutsuryokusochi |
| JPS5279849A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Toshiba Corp | Process input/output system for essential safety protection |
| JPS56168203A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Analog output device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2745666A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | Circuit de reglage de gain automatique utilisant un condensateur pour reduire le couplage de bruit numerique |
| FR2745665A1 (fr) * | 1996-02-29 | 1997-09-05 | Sgs Thomson Microelectronics | Circuit de reglage de gain automatique utilisant un amplificateur pour reduire le couplage de bruit numerique |
| US6208209B1 (en) | 1996-02-29 | 2001-03-27 | Sgs-Thompson Microelectronics Pte. Ltd. | Automatic gain control circuit using a capacitor for minimizing digital coupling |
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