JPS607278B2 - デイジタル画像処理装置 - Google Patents

デイジタル画像処理装置

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JPS607278B2
JPS607278B2 JP55037511A JP3751180A JPS607278B2 JP S607278 B2 JPS607278 B2 JP S607278B2 JP 55037511 A JP55037511 A JP 55037511A JP 3751180 A JP3751180 A JP 3751180A JP S607278 B2 JPS607278 B2 JP S607278B2
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JP
Japan
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input
signal
circuit
image processing
output
Prior art date
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JP55037511A
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JPS56146180A (en
Inventor
弘暢 森脇
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NICHIDENSHI TEKUNIKUSU KK
Original Assignee
NICHIDENSHI TEKUNIKUSU KK
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は走査電子顕微鏡等に使用される画像表示手段を
ディジタル的に構成した装置に関する。
走査電子顕微鏡等の電子線装置においては各種の像を陰
極線管(CRT)を用いて表示したり、写真撮影するこ
とが多い。この場合、CRTに印Z刀oされる映像信号
の処理は一般にアナログ信号として取り扱われて、リニ
アアンプにより増幅されるが、強調したい部分を表現す
るために増幅器に周波数特性(関数)を調整したり入出
力関数を調整したりするための画像処理回路を組み込む
ことが必要となる。該画像処理回路に関しては種々のタ
イプのものがあるが細かな調整を行うためには複雑で高
価な回路を使用しなければならなかった。本発明はこの
様な点に鑑みてなされたもので、映像入力信号をディジ
タル処理することにより比較的簡単な回路構成で所望と
する映像信号の処理を行うことを目的とするものであり
、入力映像信号に対するAD変換、DA変換する間に種
々の信号処理を行うと共に、AD変換する手段において
入出力特性の制御を抵抗器群の組み合せを変えることに
よって行うことを特徴とするものである。
以下実施例装置に従って本発明を詳説する。第1図は本
発明の一実施例装置の構成を示す略図である。
図中1は入力映像信号端子を示し、該映像信号としては
例えば走査電子顕微鏡等の場合には電子線照射によって
試料から発生する二次電子の検出信号が用いられ、2に
示す出力端子からの信号は走査電子顕微鏡の嫁表示用C
RTの輝度変調信号として用いられる。入力端子1から
の映像信号は先ず増幅器3で増幅された後AD変換器4
に印加され、信号強度に応じて例えば8段階に分離され
る。該分離された信号は雑音除去のためのフィルター回
路5等の処理手段により処理された後、DA変換回路6
と加算器7を経て出力端子2へ出力される。このような
回路構成によって、アナログ入力信号がディジタル映像
信号に変換されるが、実際にCRT画面に表示される輝
度変調像は輝度が8階調であればアナログ像と比較して
肉眼観察では殆んど識別できない程度である。
しかしながら、観察試料によっては微細な構造を必要と
することもあるので、第1図の装置においては増幅器3
の出力を減衰器8を介して加算回路7に印加するように
構成してある。第2図は第1図の装置におけるAD変換
器4に使用される比較器9に印加される比較基準信号の
発生回路を示すもので、3つの切襖スイッチ10,11
,12を端子P,Q,Rの夫々に接続することによって
入出力特性を可変するようになしたものである。
即ち切換スイッチ10,11,12を切換えることによ
り図中に示す値を有する抵抗器群の接続が変化するので
十5Vの基準電圧を分割する分割抵抗器の組み合せが3
通りに変化し比較器9の入力端子a,b,c,d,e,
f,gに印加される電位も変化する。又、比較器9は7
個の入力端子に印加される電位を比較基準として入力信
号のレベルが各基準電位のどの範囲に該当するかを比較
してその結果をa′,b′,c′,d′,e′?f′,
gの8種類のいづれかに出力する。この関係の一例を示
したものが第3図であり、図中破線Aは所謂y(ガンマ
一)コントロール曲線を表わしている。従って、第2図
の回路における分割抵抗器の抵抗値やその組み合せを変
えることによって第2図中横髄のa,b,c,d,e,
f,gの位置を自由に変えることができるので破線の形
状を任意に変えることができる。例えば、前述したyコ
ントロールの他に入出力のリニアリテイーを圧縮(コン
ブレッサー)させたり伸長(ェクスパンダー)させたり
することを組み合せて第4図中B,Cで示すようなコン
パンダ−を形成することもできる。第2図の回路におい
て、切換スイッチ10,11,12の端子をQに接続す
ると比較器9の各出力端子a,b,c,d,e? f,
g間における抵抗値が全て1000で等しくなるため入
出力特性は直線となる。次に切襖スイッチ10,11,
12の端子をPに接続すると比較器9のc端子と電源入
力(5V)との間に1000の抵抗器が並列に接続され
、更に比較器9のe端子と接地電位間に700の抵抗器
が並列に接続されるため入出力特曲ま第4図の折線Bに
示す如く中央部の傾斜の急なものとなる。逆に切換スイ
ッチ10,11,12の端子をRへ接続すると比較器9
の端子c,f間に500の抵抗器が並列に接続されるた
め、第4図の折線Cに示す如く中央部の傾斜の緩やかな
ものとなる。アナログ信号を扱う従来の入出力特性調整
回路は抵抗器以外のダイオード、コンデンサーその他の
素子を用いて構成しなければならなかったのに比較して
本発明を適用した第2図の回路が如何に簡略化されたも
のであるかが理解される。更に、第1図の実施例装置に
おいては、フィルター回路5における周波数特性の調整
も有利に行うことができる。
即ち、従来のアナログ信号処理では高域減衰を行う場合
に波形が歪んでしまうとその歪が直接CRT画面に反映
されて像中のエッジ部分のシャープさが損なわれるとい
う欠点があったが、第1図の装置においては高城の情報
を減衰させても、波形の歪を抑えることができるの0で
、エッジのシャープさは確保されることになる。逆に高
周波領域を強調したい場合、アナログ処理ではCRT画
像中のノイズが増えて観察しにくくなるが、ディジタル
処理においては無用のノイズは初めからカットされるの
で、このような欠点は生じない。尚本発明は上述した実
施例装置に限定されるものではなく種々の変形が可能で
ある。
例えば第1図の装置におけるAD変換器4に使用される
比較器に比較基準信号の発生回路として第5図又は第7
図に示す回路を用いることもできる。第5図の回路は1
針固の抵抗器rとぶを直列に接続し、各接続点に設けら
れた端子e,,e2…・・・・・・・・・e,2の出力
値と12個の比較回路(図示せず)によって映像入力信
号eに対して第6図に示すような出力Eoを得るように
したものである。第6図に示す3つの曲線亀3,14,
15は夫々第6図における可変抵抗Rの抵抗値を夫々7
。封、r、3仇としたときに得られる「線形」「ェクス
パンダー」「コンパンダー」特性を表わしている。同様
に第7図の回路における可変抵抗器の抵抗値RAとRB
の組み合せを(RA=7r〜 RB=が)、(RA=1
公「 RB=r)、(RA=r、RB=12)としたと
きに得られる夫々の入出力特性を第8図の16,17,
18の曲線で示す。以上に述べた如く、本発明によれば
極めて簡単な構成で走査電子顕微鏡における映像信号処
理を理想的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す略図、第2図は第1図
の装置の要部を示す略図、第3図及び第4図は第1図の
装置の動作を説明するための略図、第5図及び第7図は
夫々本発明の他の実施例装置の姿部を示す回路図、第6
図及び第8図は夫々第5図と第7図に示す回路の機能を
説明するための略図である。 1:入力端子、2:出力端子、3:増幅器、4:AD変
換器、5:フィルター回路、6:DA変換器、7:加算
回路、8:減衰器、9:比較器。 次「図力Z図 次3図 次A図 次う図 ※6図 次7図 次8図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 入力映像信号をAD変換、DA変換する間において
    種々の信号処理を行う手段を設け、前記AD変換する手
    段を複数の比較基準信号の印加される比較回路を用いて
    構成し、複数の分割抵抗器によつて分圧された基準電圧
    信号を前記比較基準電圧として用いると共に前記複数の
    分割抵抗器の組み合せを複数に選択できるようにしたこ
    とを特徴とするデイジタル画像処理装置。
JP55037511A 1980-03-26 1980-03-26 デイジタル画像処理装置 Expired JPS607278B2 (ja)

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JPS56146180A JPS56146180A (en) 1981-11-13
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WO1995018488A1 (en) * 1993-12-28 1995-07-06 Tadashi Shibata Semiconductor circuit

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