JPS607313A - γ線透過法による積層材の厚み測定法 - Google Patents
γ線透過法による積層材の厚み測定法Info
- Publication number
- JPS607313A JPS607313A JP11670083A JP11670083A JPS607313A JP S607313 A JPS607313 A JP S607313A JP 11670083 A JP11670083 A JP 11670083A JP 11670083 A JP11670083 A JP 11670083A JP S607313 A JPS607313 A JP S607313A
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- ray
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
- G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、クラ、ド鋼板等の材質の異なる積層材の各材
料のノヴみをγ線透過法によって測定する方法に関する
。
料のノヴみをγ線透過法によって測定する方法に関する
。
ｒ線厚み計自体は公知であり、鋼板等の厚み測定に汎〈
用いらｎている。しかし、クラツド鋼板等の積層材の厚
み測定には、従来の原理をそのまま適用することができ
ない。しかるに、クラツド鋼板の製造にあっては、その
界面が正確にクラッドさｎているか否か等のｔ’ｌＪ
ｌｌ’ｆ’ｒを行うことが要求さ汎、したがって各材料
の厚みを知ることができる方法の開発が急務となってい
る。
用いらｎている。しかし、クラツド鋼板等の積層材の厚
み測定には、従来の原理をそのまま適用することができ
ない。しかるに、クラツド鋼板の製造にあっては、その
界面が正確にクラッドさｎているか否か等のｔ’ｌＪ
ｌｌ’ｆ’ｒを行うことが要求さ汎、したがって各材料
の厚みを知ることができる方法の開発が急務となってい
る。
本発明は、前記要Ｊｊに適確に答えたもので、従来のγ
線厚み語とほぼ同（３′（にｆ（ｊ４単に、しかも高精
度で厚みｃＩ！１１定を行わんとするものである。
線厚み語とほぼ同（３′（にｆ（ｊ４単に、しかも高精
度で厚みｃＩ！１１定を行わんとするものである。
〔発明の１既要〕
この目的）ま、材質の異なる積層（オの各材料の厚みを
γ線透過法によって測定するものであって、複数オ重の
エネルギーのγ線を発生ずるγ線源からの積層月への各
照射エネルギー量と、γ線透過量検出器により得ら汎た
パルス信号をその波高の差により弁別し、弁別した該尚
パルス数をそｎぞ扛計数することにより得た透過線量と
、前記γ線照射エネルギーと当該材質の標準品のγ線減
衰背毘に基いて？＠た質量吸収係数と、当該材質の密度
とに基いて、各材料の厚みを測定することにより達成さ
れる。
γ線透過法によって測定するものであって、複数オ重の
エネルギーのγ線を発生ずるγ線源からの積層月への各
照射エネルギー量と、γ線透過量検出器により得ら汎た
パルス信号をその波高の差により弁別し、弁別した該尚
パルス数をそｎぞ扛計数することにより得た透過線量と
、前記γ線照射エネルギーと当該材質の標準品のγ線減
衰背毘に基いて？＠た質量吸収係数と、当該材質の密度
とに基いて、各材料の厚みを測定することにより達成さ
れる。
このように、本発明は、基本的にγ線透過法に依拠しな
がらも、たとえば２種の材質のクラツド鋼板であｎば、
少くとも２伸のエネルギーを発生するγ線源により照射
し、検出パルス波高の差によって弁別して各透過エネル
ギー量を知９、予め知っておいた質量吸収係数等に基い
て、二連立方程式を解くことにょ９厚みを知ろうとする
ことに着想がある。
がらも、たとえば２種の材質のクラツド鋼板であｎば、
少くとも２伸のエネルギーを発生するγ線源により照射
し、検出パルス波高の差によって弁別して各透過エネル
ギー量を知９、予め知っておいた質量吸収係数等に基い
て、二連立方程式を解くことにょ９厚みを知ろうとする
ことに着想がある。
以下本発明を図面を参照しながらさらに詳説する。
１は積層材、たとえば材質ａ、ｂの２種の材料からなる
クラツド鋼板で、その一方に複数種のエネルギーのγ線
を発生するγ線源２が、他方に／ンチレータまたは電離
箱等のγ臓透過用検出器３が配設される。かぐして、γ
線源２からγ線を債層材１に透過させ、γ線透過は検出
器３により透過量を検出する。
クラツド鋼板で、その一方に複数種のエネルギーのγ線
を発生するγ線源２が、他方に／ンチレータまたは電離
箱等のγ臓透過用検出器３が配設される。かぐして、γ
線源２からγ線を債層材１に透過させ、γ線透過は検出
器３により透過量を検出する。
この透過量は、時系列的なパルス波形信号として得ら扛
るが、その波形の中には異なる発生エネルギーに基〈も
のが混在状態となっている。
るが、その波形の中には異なる発生エネルギーに基〈も
のが混在状態となっている。
そこで、波形中にはパルス波高が異なるものとしてあら
れれるので、その波高の差によって、たとえば波高がＨ
Ｊ±△Ｈの範囲中のものについては第１弁別器４によ′
って、Ｈ２±△Ｈの範囲内のものについては第２弁別器
５によってそれぞれ弁別する。この弁別後、そ肚ぞ扛、
ある単位時間当りの、Ｈ＋±△Ｈ１およびＨ２±△Ｈ２
のパルス数を第１計数器６および小２Ｍ数器７によって
それそｔ”ｔカウントし、対応する発生エネルギーに対
応した透過線ｈトとする。８は演算処理装置で、ちる。
れれるので、その波高の差によって、たとえば波高がＨ
Ｊ±△Ｈの範囲中のものについては第１弁別器４によ′
って、Ｈ２±△Ｈの範囲内のものについては第２弁別器
５によってそれぞれ弁別する。この弁別後、そ肚ぞ扛、
ある単位時間当りの、Ｈ＋±△Ｈ１およびＨ２±△Ｈ２
のパルス数を第１計数器６および小２Ｍ数器７によって
それそｔ”ｔカウントし、対応する発生エネルギーに対
応した透過線ｈトとする。８は演算処理装置で、ちる。
ところで−１ｊりに、材料ｉにつｂての減衰′［〒注は
（１）式によってあられされる。
（１）式によってあられされる。
ｌ１＝Ｉｉｏｅ−μＡ１ρｉｊ＋ 、、・・（１）ここ
で１！＝照射エネルギー量 Ｉｉｏ ：透過エネルギー量 μＡ１：質情吸収係数 ρｌ：密度 ｔｌ：材料ｉの厚み よって（０式を変形す汎ば（２）式となる。
で１！＝照射エネルギー量 Ｉｉｏ ：透過エネルギー量 μＡ１：質情吸収係数 ρｌ：密度 ｔｌ：材料ｉの厚み よって（０式を変形す汎ば（２）式となる。
い゛ま、標阜片ｌを持ち出し、その密度ρ１および厚み
ｔＩを予め知っておいた状態で、多種のγ線透過を行い
、第２図に示すような減衰特性曲線を；辱ておく。第２
図ｉ／（は、材質ａおよびｂの２曲線がｒ凶示されて（
八る。
ｔＩを予め知っておいた状態で、多種のγ線透過を行い
、第２図に示すような減衰特性曲線を；辱ておく。第２
図ｉ／（は、材質ａおよびｂの２曲線がｒ凶示されて（
八る。
２種の４２質からなる。ら１（層拐に対して２種のエネ
ルギーをもったγ線が透過する場合における減衰式は（
３）および（４）式で与えらｎる。ＡおよびＢは厚みで
ある。
ルギーをもったγ線が透過する場合における減衰式は（
３）および（４）式で与えらｎる。ＡおよびＢは厚みで
ある。
Ｉ＋＝ＩＩＯｅ ’μＡ１ ・ρＡ−Ａ＋μＢビρＢ’
Ｂ）−１，（３）Ｉ２ ” Ｉ２ ｏ ｅ −（μＡ
２・ρＡ −Ａ−１−μＢ２・ρＢ−Ｂ）１０１．（４
）ま７ン、みかけの厚さＴＩ 、 Ｔ２は、前記の透過
線７社に対応したものであり、現実的にＪ（１定さ、１
する。そして、みかけの厚さＴＩ 、 Ｔ２は、（５）
および（６）式により与えら九る。
Ｂ）−１，（３）Ｉ２ ” Ｉ２ ｏ ｅ −（μＡ
２・ρＡ −Ａ−１−μＢ２・ρＢ−Ｂ）１０１．（４
）ま７ン、みかけの厚さＴＩ 、 Ｔ２は、前記の透過
線７社に対応したものであり、現実的にＪ（１定さ、１
する。そして、みかけの厚さＴＩ 、 Ｔ２は、（５）
および（６）式により与えら九る。
（５）式をＩ１イくと、け）および（８）式となる。
Ａ＝Ｔ、−α１（ＴＩ Ｔ２）／（α１−α２）・・・
・（７）Ｂ ＝ （ＴＩ Ｔ２） 、／ （α１−α２
）・・・・（８）しかるに、（２）式に従って、標準片
についての測定により、質量吸収係数１ｔＡｌ＋μＡ２
＋μＢ１＋μＢ２を知ることができる。したがってαｌ
、α２を得ることができる。したがってα１．α２を得
ることができるし、ＴＩ 、Ｔ２は現実の測定により与
えら扛るので、結局各１１質の厚みＡ、Ｂを知ることが
できる。
・（７）Ｂ ＝ （ＴＩ Ｔ２） 、／ （α１−α２
）・・・・（８）しかるに、（２）式に従って、標準片
についての測定により、質量吸収係数１ｔＡｌ＋μＡ２
＋μＢ１＋μＢ２を知ることができる。したがってαｌ
、α２を得ることができる。したがってα１．α２を得
ることができるし、ＴＩ 、Ｔ２は現実の測定により与
えら扛るので、結局各１１質の厚みＡ、Ｂを知ることが
できる。
勿論、同様に：Ｊ）種以上の材質につ因ても厚みの測定
かり能であり、この場合、γ線源からの発生エネルギー
のａ顛および＃ｉｌ ＜べき連立方程式が増すだけであ
る。
かり能であり、この場合、γ線源からの発生エネルギー
のａ顛および＃ｉｌ ＜べき連立方程式が増すだけであ
る。
以上の通り、本発明によれば、積層拐に対しても、γ線
透過法を適用できるから、測定が簡易であシ、かつ非破
壊の、；ゾみ測定が可能であシ、しかも高精度なＪＩＱ
定を行うことができる０
透過法を適用できるから、測定が簡易であシ、かつ非破
壊の、；ゾみ測定が可能であシ、しかも高精度なＪＩＱ
定を行うことができる０
第１図は本発明の詳細説明図、第２図は減衰特性を示す
相関図である。 １・・積層材 ２・・γ線源 ３・・γ線透過量検出器
４，５・・弁別器 ６．７・・計数器 ８・・演算処
理装置 特許出願人 住友金、曳工業株式会社
相関図である。 １・・積層材 ２・・γ線源 ３・・γ線透過量検出器
４，５・・弁別器 ６．７・・計数器 ８・・演算処
理装置 特許出願人 住友金、曳工業株式会社
Claims (1)
- （１）材質の異なる積層材の各拐料の厚みをγ線透過法
によって測定するものでちって、複数種のエネルギーの
γ線を発生するγ線源からの積層材への各照射エネルギ
ー量と、γ線透過縫検出器により得ら乳たパルス信号を
その波高の差によシ弁別し、弁別した該当パルス数をそ
扛ぞれ画数することによジ得た透過線量と、前記γ線照
射エネルギーと当該拐質のＣλ準品の７′線減衰特性に
基いて得た質量吸収係数と、当該材質の密度とに基いて
、各材料の厚みを測定することを特徴とするγ線透過法
による積層材の厚み測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11670083A JPS607313A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | γ線透過法による積層材の厚み測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11670083A JPS607313A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | γ線透過法による積層材の厚み測定法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607313A true JPS607313A (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=14693672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11670083A Pending JPS607313A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | γ線透過法による積層材の厚み測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607313A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143107A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Hitachi Elevator Eng & Service Co Ltd | 管内付着物の厚さ測定方法 |
| JPH04106362U (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-14 | 三菱重工業株式会社 | 酸洗装置 |
| JP2009052944A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Fujitsu Ltd | 素子評価方法及び装置 |
-
1983
- 1983-06-28 JP JP11670083A patent/JPS607313A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02143107A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Hitachi Elevator Eng & Service Co Ltd | 管内付着物の厚さ測定方法 |
| JPH04106362U (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-14 | 三菱重工業株式会社 | 酸洗装置 |
| JP2009052944A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Fujitsu Ltd | 素子評価方法及び装置 |
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