JPS6073366A - 配線電圧の給電及び測定装置 - Google Patents
配線電圧の給電及び測定装置Info
- Publication number
- JPS6073366A JPS6073366A JP58182017A JP18201783A JPS6073366A JP S6073366 A JPS6073366 A JP S6073366A JP 58182017 A JP58182017 A JP 58182017A JP 18201783 A JP18201783 A JP 18201783A JP S6073366 A JPS6073366 A JP S6073366A
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- JP
- Japan
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- wiring
- voltage
- transparent electrode
- internal wiring
- internal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は集積回路の配線電圧の給電、測定装置に係り、
特に給電及び測定に光導電膜を用いた配線電圧給電及び
測定装置に関するものである。
特に給電及び測定に光導電膜を用いた配線電圧給電及び
測定装置に関するものである。
（技術の背景〕
近年集積回路内部及び実装プリント板の回路密度が向上
し、集積回路内部の配線や実装プリント板の配線自体が
数ミクロンという細いリードが用いられている。したが
ってこの様に細い配線の電圧を正確に測定する技術を必
要としている。
し、集積回路内部の配線や実装プリント板の配線自体が
数ミクロンという細いリードが用いられている。したが
ってこの様に細い配線の電圧を正確に測定する技術を必
要としている。
従来集積回路の配線電圧の測定には集積回路のバンクを
開けて、測定しようとする箇所に直接金属プローブをあ
てて測定する装置がある。
開けて、測定しようとする箇所に直接金属プローブをあ
てて測定する装置がある。
しかしながら集積回路の配線の幅は数ミクロンであり、
実装プリント板の配線幅でさえ数１００ミクロンである
為、先端の径の大きい金属プローブを測定しようとする
配線箇所にあてることは操作性が非常に悪く非能率的で
ある。
実装プリント板の配線幅でさえ数１００ミクロンである
為、先端の径の大きい金属プローブを測定しようとする
配線箇所にあてることは操作性が非常に悪く非能率的で
ある。
また集積回路の配線電圧の測定に電子ビームプロービン
グ装置を用いたものがある。この装置は金属プローブの
針のかわりに、測定しようとする配線部分に電子ビーム
をあて、その配線部分の電圧の大きさによって変わる二
次電子の密度分布をエネルギー分析器をより測定し、基
準の密度と比較して密度の差を検出し、測定した配線部
の電圧を測定するものである。
グ装置を用いたものがある。この装置は金属プローブの
針のかわりに、測定しようとする配線部分に電子ビーム
をあて、その配線部分の電圧の大きさによって変わる二
次電子の密度分布をエネルギー分析器をより測定し、基
準の密度と比較して密度の差を検出し、測定した配線部
の電圧を測定するものである。
しかしながら、この装置の場合電子ビームを用いる為、
真空室で使用しなげればならず操作性が悪い。
真空室で使用しなげればならず操作性が悪い。
また試料から反射される二次電子の速度の変化は周囲の
状態によって影響を受け易く、測定電圧の精度または印
加電圧の精度が十分でない欠点を有する。
状態によって影響を受け易く、測定電圧の精度または印
加電圧の精度が十分でない欠点を有する。
［発明の目的〕
本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、その目的とす
るところは光ビームにより集積回路、実装プリント板の
内部配線電圧測定及び内部配線への電圧印加を可能にし
た配線電圧の給電、測定装置を提供することにある。
るところは光ビームにより集積回路、実装プリント板の
内部配線電圧測定及び内部配線への電圧印加を可能にし
た配線電圧の給電、測定装置を提供することにある。
そしてその目的は集積回路、実装プリント板の表面配線
領域に光導電部材及び透明電極を設番ノ。
領域に光導電部材及び透明電極を設番ノ。
前記表面配線領域に前記透明電極及び前記光導電部祠を
介して光ビームを投射し、前記透明電極から配線電圧を
給電または測定することを特徴とする配線電圧の給電及
び測定装置を提供することによって達成される。
介して光ビームを投射し、前記透明電極から配線電圧を
給電または測定することを特徴とする配線電圧の給電及
び測定装置を提供することによって達成される。
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
第１図は本発明によるＩＣ等を搭載した実装プリント板
でコネクタ部から駆動信号、電源が印加されていること
を示す構成図である。
でコネクタ部から駆動信号、電源が印加されていること
を示す構成図である。
同図においてプリント板１上にＩＣ２〜５が設けられ、
プリント板１の内部配線上に集束偏向ビーム６が照射さ
れている。集束偏向ビーム６は光源７から照射した光ビ
ームでＸ−Ｙ位置データを内蔵した光ビーム集束偏向器
８に入射したビームである。
プリント板１の内部配線上に集束偏向ビーム６が照射さ
れている。集束偏向ビーム６は光源７から照射した光ビ
ームでＸ−Ｙ位置データを内蔵した光ビーム集束偏向器
８に入射したビームである。
以上の様な装置においてプリント板表面構造を第２図に
よって説明する。
よって説明する。
第２図においてプリント板１表面層の内部配線９は、ア
モルファスシリコン、硫化カドミウム等の光導電性薄膜
１０．セレン等の透明電極】１でコーティングされてい
る。プリン［板１の他の箇所にはＩＣ１２，１３が設け
られている。
モルファスシリコン、硫化カドミウム等の光導電性薄膜
１０．セレン等の透明電極】１でコーティングされてい
る。プリン［板１の他の箇所にはＩＣ１２，１３が設け
られている。
第３図は本発明による第１の実施例で配線電圧給電、測
定装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の電圧測
定に用いた場合の構成図である。
定装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の電圧測
定に用いた場合の構成図である。
同図においてプリント板１．内部配線９．光導電性薄膜
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり透明
電極１１にはＡ／Ｄ変換器１２と抵抗１３が接続され、
抵抗１３の他端は接地されている。
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり透明
電極１１にはＡ／Ｄ変換器１２と抵抗１３が接続され、
抵抗１３の他端は接地されている。
以上の構成で内部配線の電圧を調べたい場合において内
部配線の電圧測定動作を以下で説明する。
部配線の電圧測定動作を以下で説明する。
調べたい内部配線の位置をＸ−Ｙ位置データが入力され
ている集束偏向器８により位置を指定する。次に光１ｇ
１７から集束偏向器８に光を照射し。
ている集束偏向器８により位置を指定する。次に光１ｇ
１７から集束偏向器８に光を照射し。
この光を集束偏向器８を通し集束偏向ビーム６として指
定した内部配線箇所に照射する。集束偏向ビーム６は透
明電極１１及び光導電性薄膜１０を通して指定した内部
配線９に照射する。
定した内部配線箇所に照射する。集束偏向ビーム６は透
明電極１１及び光導電性薄膜１０を通して指定した内部
配線９に照射する。
光導電性薄膜ＩＯは集束偏向ビーム６が通過した部分の
め導通となり、透明電極１１と指定した内部配線９とが
導通となる。
め導通となり、透明電極１１と指定した内部配線９とが
導通となる。
したがって内部配線９に加えられている電圧は透明電極
１１を通してＡ／Ｄ変換器１２からデジタル量として出
力され、内部配線９の電圧を知ることができる。
１１を通してＡ／Ｄ変換器１２からデジタル量として出
力され、内部配線９の電圧を知ることができる。
第４図は本発明による第２の実施例で配線電圧の給電、
測定装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の給電
に用いた場合の構成図である。
測定装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の給電
に用いた場合の構成図である。
同図においてプリント板１．内部配線９．光導電性薄膜
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり、透
明電極１１には可変電源１４のプラス側が接続され、可
変電源１４のマイナス側は接地されている。
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり、透
明電極１１には可変電源１４のプラス側が接続され、可
変電源１４のマイナス側は接地されている。
以上の構成において内部配線に給電する動作を以下で説
明する。
明する。
電圧を供給したい内部配線の位置をＸ−Ｙ位置データが
入力されている集束偏向器８により位置を指定する。次
に光源７から集束偏向器８に光を照射し、この光を集束
偏向器８を通した集束偏向ビーム６として指定した内部
配線箇所に照射する。
入力されている集束偏向器８により位置を指定する。次
に光源７から集束偏向器８に光を照射し、この光を集束
偏向器８を通した集束偏向ビーム６として指定した内部
配線箇所に照射する。
集束偏向ビーム６は透明電極１１及び光導電性薄膜１０
を通して指定した内部配線９に照射する。
を通して指定した内部配線９に照射する。
光導電性薄膜１０は集束偏向ビーム６が通過した部分の
の導通となり、Ｊ３明電極１１と指定した内部配線９と
が導通となる。
の導通となり、Ｊ３明電極１１と指定した内部配線９と
が導通となる。
したがって内部配線９には可変電源１４から透明電極１
１及び光導電性薄膜１０を介して指定した内部配線９に
電圧を供給することができる。
１及び光導電性薄膜１０を介して指定した内部配線９に
電圧を供給することができる。
第５図は本発明による第３の実施例で９回路動作を門べ
たい場合に、配線電圧の給電を他の同電位の配線部と接
続することを示す構成図である。
たい場合に、配線電圧の給電を他の同電位の配線部と接
続することを示す構成図である。
同図においてプリント板１．内部配線９．光導電性薄膜
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり２つ
の内部配線９には集束偏向ビーム６が照射されている。
１０及び透明電極１１の構成は第２図と同様であり２つ
の内部配線９には集束偏向ビーム６が照射されている。
以上の構成において内部配線９に給電動作を以下で説明
する。
する。
電圧を供給したい内部配線と同電位の配線箇所と前述と
同様に集束偏向ビーム６を各々に照射する。集束偏向ビ
ーム６は透明電極１１及び光導電性情Ｉ！Ｋ１１ｏを通
して指定した２つの内部配線９を導通とする。
同様に集束偏向ビーム６を各々に照射する。集束偏向ビ
ーム６は透明電極１１及び光導電性情Ｉ！Ｋ１１ｏを通
して指定した２つの内部配線９を導通とする。
したがって電圧を供給したい内部配線９には。
供給したい電圧と同電位の内部配線９と導通となること
により、電圧を供給することができる。
により、電圧を供給することができる。
本発明は以上の実施例に限るわけではなく、ＩＣ，ハイ
ブリットＩＣについても同様の構成により電圧測定、電
圧供給を行なうことが可能である。
ブリットＩＣについても同様の構成により電圧測定、電
圧供給を行なうことが可能である。
以上詳細に説明した様に本発明によれば、光ビームによ
り集積回路、実装プリント板の内部配線電圧測定及び内
部配線への電圧印加を可能にし。
り集積回路、実装プリント板の内部配線電圧測定及び内
部配線への電圧印加を可能にし。
さらに他の内部配線から電圧を供給することもでき電圧
供給の為の電源を削除することもできるという効果を有
するものである。
供給の為の電源を削除することもできるという効果を有
するものである。
第１図は本発明によるＩＣ等を搭載した実装プリント板
の構成図、第２図はプリント板表面構造を示す断面図、
第３図は本発明による第１の実施例で配線電圧給電測定
装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の電圧測定
に用いた構成図、第４図は本発明による第２の実施例で
配線電圧の給電、測定装置を集積回路、実装プリント板
の内部配線の給電に用いた場合の構成図、第５図は本発
明による第３の実施例で回路動作を調べたい場合に、配
線電圧の給電を他の同電位の配線部と接続することを示
す構成図である。 ■・・・プリント板、 ２，３，４．５・・・ＩＣ，６
・・・集束偏向ビーム。 ７・・・光源、 ８・・・集束偏向器。 ９・・・内部配線、 １０・・・光導電性薄膜、 １１
・・・透明電極、１２・・・Δ／１）変換器、 １３・
・・抵抗、１４・・・可変電源 第１図 第２図 第３図 第４図
の構成図、第２図はプリント板表面構造を示す断面図、
第３図は本発明による第１の実施例で配線電圧給電測定
装置を集積回路、実装プリント板の内部配線の電圧測定
に用いた構成図、第４図は本発明による第２の実施例で
配線電圧の給電、測定装置を集積回路、実装プリント板
の内部配線の給電に用いた場合の構成図、第５図は本発
明による第３の実施例で回路動作を調べたい場合に、配
線電圧の給電を他の同電位の配線部と接続することを示
す構成図である。 ■・・・プリント板、 ２，３，４．５・・・ＩＣ，６
・・・集束偏向ビーム。 ７・・・光源、 ８・・・集束偏向器。 ９・・・内部配線、 １０・・・光導電性薄膜、 １１
・・・透明電極、１２・・・Δ／１）変換器、 １３・
・・抵抗、１４・・・可変電源 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (2)
- （１） 集積回路、実装プリン１板の表面配線領域に光
導電部材及び透明電極を設け、前記表面配線領域に前記
透明電極及び前記光導電部材を介して光ヒームを投射し
、前記透明電極から配線電圧を給電または測定すること
を特徴とする配線電圧の給電及び測定装置。 - （２） 前記透明電極に電圧を印加することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の配線電圧の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182017A JPS6073366A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 配線電圧の給電及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182017A JPS6073366A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 配線電圧の給電及び測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073366A true JPS6073366A (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=16110876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58182017A Pending JPS6073366A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 配線電圧の給電及び測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073366A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024575A1 (fr) * | 1993-04-13 | 1994-10-27 | Teratec Corporation | Instrument electro-optique |
| JPH0949867A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-02-18 | Okano Hightech Kk | 基板検査方法及び装置 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58182017A patent/JPS6073366A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994024575A1 (fr) * | 1993-04-13 | 1994-10-27 | Teratec Corporation | Instrument electro-optique |
| US5583446A (en) * | 1993-04-13 | 1996-12-10 | Teratec Corporation | Electro-optically controlled measurement probe system |
| JPH0949867A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-02-18 | Okano Hightech Kk | 基板検査方法及び装置 |
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