JPS6076613A - 変位変換器 - Google Patents
変位変換器Info
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- JPS6076613A JPS6076613A JP18531083A JP18531083A JPS6076613A JP S6076613 A JPS6076613 A JP S6076613A JP 18531083 A JP18531083 A JP 18531083A JP 18531083 A JP18531083 A JP 18531083A JP S6076613 A JPS6076613 A JP S6076613A
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- signal
- counter
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、光を利用して機械的な変位を検出する変位変
換器に関するものである。更に詳しくは、本発明は、所
定ピッチで配列する複数個の透光ス。
換器に関するものである。更に詳しくは、本発明は、所
定ピッチで配列する複数個の透光ス。
リットが形成されたコード板と位相板、このコード板の
透光スリットを介して投受光を行なう光源及び受光素子
とを含む光学式の変位変換器に関するものである。
透光スリットを介して投受光を行なう光源及び受光素子
とを含む光学式の変位変換器に関するものである。
上記のような変位変換器において従来の方式を改良した
ものに特願昭５８−８６５９１号の変位変換器がある〇 第１図はその装置の一例を示す構成説明図である。この
図において、１はコード体、１１はこのコード体に所定
ビ、チで円周方向に複数個配列する透光スリット、３は
光源、３０は光源３からの光ビ〆−ムを平行ビームにす
るためのレンズ、４は透光スリット１１を通った光源３
からの光（スリット像）を受光するイメージセンサで、
ここでは動作を簡単に説明する都合上、４分割したフォ
トダイオード４１．４２．４３．４４と、このフォトダ
イオード上に所定ピッチで配列するスリット孔を有する
位相板２を設電したものを示す。ＳＷｌ、 ＳＷ２．
ＳＷ３． ＳＷ４は、４分割した各フォトダイオード４
１〜４４がらの信号を一定のタイミングで、順次取り出
すスイッチである。５は各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４を介
して印加されるイメージセンサ４がらの信号を増幅する
増幅器、ｔｒｔｄ増幅Ｈ５からの出力信号の基本波成分
を抽出するバンドパスフィルタである。
ものに特願昭５８−８６５９１号の変位変換器がある〇 第１図はその装置の一例を示す構成説明図である。この
図において、１はコード体、１１はこのコード体に所定
ビ、チで円周方向に複数個配列する透光スリット、３は
光源、３０は光源３からの光ビ〆−ムを平行ビームにす
るためのレンズ、４は透光スリット１１を通った光源３
からの光（スリット像）を受光するイメージセンサで、
ここでは動作を簡単に説明する都合上、４分割したフォ
トダイオード４１．４２．４３．４４と、このフォトダ
イオード上に所定ピッチで配列するスリット孔を有する
位相板２を設電したものを示す。ＳＷｌ、 ＳＷ２．
ＳＷ３． ＳＷ４は、４分割した各フォトダイオード４
１〜４４がらの信号を一定のタイミングで、順次取り出
すスイッチである。５は各スイッチＳＷ１〜ＳＷ４を介
して印加されるイメージセンサ４がらの信号を増幅する
増幅器、ｔｒｔｄ増幅Ｈ５からの出力信号の基本波成分
を抽出するバンドパスフィルタである。
第２図は、位相板２に設けた透光スリット２１゜２２、
２３．２４ と、４分割したフォトダイオード４１〜４
４の配列関係を示す図である。この図に示すように、透
光スリ、ト２１．２２．２３．２４（実線で示す）の配
列ピッチは、４分割フォトダイオード４１．４２゜４３
、４４ （破線で示す）の配列ピッチと醇しく、また、
コード体ＩＫ設けられた透光スリ、ト（斜線で示す）１
１の配列ピッチＰに対して５／４Ｐとなるよう形成され
ている。なお、各スリット孔２１〜２４のスリット幅は
ここではＰ／２にしである。
２３．２４ と、４分割したフォトダイオード４１〜４
４の配列関係を示す図である。この図に示すように、透
光スリ、ト２１．２２．２３．２４（実線で示す）の配
列ピッチは、４分割フォトダイオード４１．４２゜４３
、４４ （破線で示す）の配列ピッチと醇しく、また、
コード体ＩＫ設けられた透光スリ、ト（斜線で示す）１
１の配列ピッチＰに対して５／４Ｐとなるよう形成され
ている。なお、各スリット孔２１〜２４のスリット幅は
ここではＰ／２にしである。
このように構成した装置の動作を、次に第４回動作波形
図を参照しながら説明する。
図を参照しながら説明する。
光源３からの光は、レンズ３０で平行ビームとなり、コ
ード板１の透光スリット１１及び位相板２の透光スリッ
ト２１〜２４を通過し、４分割フォトタイオード４１〜
４４上に透光スリット１１の儂を結像させる。４分割フ
ォトダイオード４１〜４４において、各スイッチ３Ｗ１
〜ＳＷ４は第３図（、）〜（ｄ）に示すようなタイミン
グで順次オン、オフ（オン時間をＴとするうし、各フォ
トダイオード４１〜４４からの信号を順次取シ出す。増
幅器５はこの信号を増幅する。
ード板１の透光スリット１１及び位相板２の透光スリッ
ト２１〜２４を通過し、４分割フォトタイオード４１〜
４４上に透光スリット１１の儂を結像させる。４分割フ
ォトダイオード４１〜４４において、各スイッチ３Ｗ１
〜ＳＷ４は第３図（、）〜（ｄ）に示すようなタイミン
グで順次オン、オフ（オン時間をＴとするうし、各フォ
トダイオード４１〜４４からの信号を順次取シ出す。増
幅器５はこの信号を増幅する。
この結果、増幅器５の出力信号ｅ５は、第３図（、）に
示すように、各スイッチ８Ｗ１〜ＳＷ４がオンとなる時
間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形となる。こ
のような階段波信号ｅ５を、バンドパスフィルタ６に加
えると、第３図（ｒ） Ｋ示すような正弦波信号ｅ６が
得られる。この正弦波信号ｅ６の基本波周波数は、各ス
イッチＳＷＩ〜ＳＷ４を順次駆動する〈シ返し周波数に
一致する。ここで、コード体１が測定すべき変位に応じ
て回転すると、各フォトダイオード４１〜４４上に結像
する像が移動し、バンドパスフィルタ６から得られる正
弦波信号ｅの位相が、像の移動量、す々ゎち、コード体
の変位に応じて、例えば破線に示すようにΦだけシフト
する。コード体１が、透光スリット１１の配列ピッチの
１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号ｅの位相シフ
ト量け２πとなる。
示すように、各スイッチ８Ｗ１〜ＳＷ４がオンとなる時
間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形となる。こ
のような階段波信号ｅ５を、バンドパスフィルタ６に加
えると、第３図（ｒ） Ｋ示すような正弦波信号ｅ６が
得られる。この正弦波信号ｅ６の基本波周波数は、各ス
イッチＳＷＩ〜ＳＷ４を順次駆動する〈シ返し周波数に
一致する。ここで、コード体１が測定すべき変位に応じ
て回転すると、各フォトダイオード４１〜４４上に結像
する像が移動し、バンドパスフィルタ６から得られる正
弦波信号ｅの位相が、像の移動量、す々ゎち、コード体
の変位に応じて、例えば破線に示すようにΦだけシフト
する。コード体１が、透光スリット１１の配列ピッチの
１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号ｅの位相シフ
ト量け２πとなる。
しだがって、この位相のシフト量Φを測定すること忙よ
って、コード体１に形成された透光スリ、ト１１の配列
ピッチ２以内の回転角度をめることができる。
って、コード体１に形成された透光スリ、ト１１の配列
ピッチ２以内の回転角度をめることができる。
第４図は、このような位相シフト量測定回路の一例を示
す構成ブロック図である。この回路はバンドパスフィル
タ６から得られる正弦波信号Ｃの位相を１００〜１００
０ 程度内挿する動作をなすものである。すなわち、正
弦波信号。を、帰還回路にＩ／Ｎ （Ｎは分周比）分局
器７２を有した７エーズｐツクドループＣＰＬＬ） ７
１に印加し、ここで８倍された信号ｆＦ３□−１基準ク
ロック（この基準クロックはイメージセンサ４の４駆動
信号として用いられるすｆを同時パルス禁止回路８を通
した後、アップダランカウンタ９に与えるようにし喪も
のである。
す構成ブロック図である。この回路はバンドパスフィル
タ６から得られる正弦波信号Ｃの位相を１００〜１００
０ 程度内挿する動作をなすものである。すなわち、正
弦波信号。を、帰還回路にＩ／Ｎ （Ｎは分周比）分局
器７２を有した７エーズｐツクドループＣＰＬＬ） ７
１に印加し、ここで８倍された信号ｆＦ３□−１基準ク
ロック（この基準クロックはイメージセンサ４の４駆動
信号として用いられるすｆを同時パルス禁止回路８を通
した後、アップダランカウンタ９に与えるようにし喪も
のである。
ＰＬＬ ７１で８倍された信号ｆ の周波数がｆより高
ｓｉｇ ｃ くなる方向（ｆ＋Δｆ）へコード体１が回転すると、ア
ップダウンカウンタ９はアップカウントされ、また”ｓ
ｉｇがｆ。よシ低くなる方向（ｆ。−Δｆ）へコード体
１が回転すると、ダウンカウントする。したかって、ア
ップダウンカウンタ９の出力から、位相シフト量、すな
わちコード体１の回転角を、例えば、分周比Ｎを１００
０とすれば１Ｐの」−とい０００ った高い分解能で内挿することかできる。
ｓｉｇ ｃ くなる方向（ｆ＋Δｆ）へコード体１が回転すると、ア
ップダウンカウンタ９はアップカウントされ、また”ｓ
ｉｇがｆ。よシ低くなる方向（ｆ。−Δｆ）へコード体
１が回転すると、ダウンカウントする。したかって、ア
ップダウンカウンタ９の出力から、位相シフト量、すな
わちコード体１の回転角を、例えば、分周比Ｎを１００
０とすれば１Ｐの」−とい０００ った高い分解能で内挿することかできる。
このような構成によれば、比較的簡単な構成で、高分解
能、高速応答性を有する変位変換器を実現できるが、次
のような欠点を持っている。（イ）ＰＬＬはサーボ系で
あるため、入力周波数が例えば２ンプ状に変化したとき
などに誤差を生じる外、位相ジッタを生じる。（ロ）
ＰＬＬはアナログ回路であるため、調整がめんどうであ
る。
能、高速応答性を有する変位変換器を実現できるが、次
のような欠点を持っている。（イ）ＰＬＬはサーボ系で
あるため、入力周波数が例えば２ンプ状に変化したとき
などに誤差を生じる外、位相ジッタを生じる。（ロ）
ＰＬＬはアナログ回路であるため、調整がめんどうであ
る。
本発明は上記の問題点を解決したもので、回路系の遅れ
Ｋよる誤差や位相ジッタを生じることがなく、調整の不
要な変位変換器を実現することを目的とする。
Ｋよる誤差や位相ジッタを生じることがなく、調整の不
要な変位変換器を実現することを目的とする。
前記の目的を達成するために本発明の要旨とするところ
は、所定ピッチで配列する複数個の透光スリットが形成
されたコード板、このコード板の透光スリ、ト罠平行な
光を投射させる光源、複数分割したフォトダイオードと
この各フォトダイオード上に設置され所定ビ、チで配列
するスリット孔を有した位相板と各フォトダイオードか
らの信号を順次取シ出すスイッチ手段とで構成されるイ
メージセンサ、このイメージセンサから得られる信号か
ら基本波成分を抽出するバンドパスフィルタ、このバン
ドパスフィルタの出方信号と前記イメージセンサの駆動
信号とを入力し前記基本波成分の位相シフト量に基づい
て前記コード体の変位をめる位相測定手段を具備する変
位変換器において、前記位相測定手段が、前記バンドパ
スフィルタの出力信号の各周期ごとに一定の初期値を設
定されて前記駆動信号によシ計数する計数器と、この計
数器からの各周期ごとのデータ出力に関連する値を積算
する演η−回路とを備えたことを特徴とした変位変換器
に存する。
は、所定ピッチで配列する複数個の透光スリットが形成
されたコード板、このコード板の透光スリ、ト罠平行な
光を投射させる光源、複数分割したフォトダイオードと
この各フォトダイオード上に設置され所定ビ、チで配列
するスリット孔を有した位相板と各フォトダイオードか
らの信号を順次取シ出すスイッチ手段とで構成されるイ
メージセンサ、このイメージセンサから得られる信号か
ら基本波成分を抽出するバンドパスフィルタ、このバン
ドパスフィルタの出方信号と前記イメージセンサの駆動
信号とを入力し前記基本波成分の位相シフト量に基づい
て前記コード体の変位をめる位相測定手段を具備する変
位変換器において、前記位相測定手段が、前記バンドパ
スフィルタの出力信号の各周期ごとに一定の初期値を設
定されて前記駆動信号によシ計数する計数器と、この計
数器からの各周期ごとのデータ出力に関連する値を積算
する演η−回路とを備えたことを特徴とした変位変換器
に存する。
以下、図面にもとづいて本発明の詳細な説明する。第５
図は本発明の一実施例で、従来例で説明した変位変換器
における第４図の位相シフト量測定回路を改良したもの
を示す構成ブロック図である。第４図と同一の部分援は
同一記号を符して説明を省略する。５ｏはバンドパスフ
ィルタ乙の出力信号ｅ６および基準クロック（この基準
クロックはイメージセンサ４の駆動信号としても用いら
れる）ｆを入力し前記バンドパスフィルタ６の正弦汲出
力信号ｅの位相シフト量にも七づいてコード板１１の変
位をめる位相測定手段で、５１は前記信号ｅ６を入力し
て波形整形する比較器などを用いた波形整形回路、５２
はこの波形整形回路５１からの出力ｅ７をＤ入力とし前
記基準クロックｆをクロック入力とするＤ形フリンプフ
ロップ（以下Ｆ−Ｆと呼ぶ）、５３はこのＦ −Ｆ ５
２からの出力ｅ８を入力し信号ｅ７の各周期ごとに１パ
ルスを発生する制御回路、５４はこの制御回路５３から
の出力ｅをクリア入力とし基準クロックｆをクロック入
力とする計数器（カランり）である。５５は前記カウン
タ５４からのデータ出力Ｄ□を入力しコード板１１の変
位を演算する演算回路で、マイクロコンピュータや刀Ω
算ハードウェアなどを用いることができる。
図は本発明の一実施例で、従来例で説明した変位変換器
における第４図の位相シフト量測定回路を改良したもの
を示す構成ブロック図である。第４図と同一の部分援は
同一記号を符して説明を省略する。５ｏはバンドパスフ
ィルタ乙の出力信号ｅ６および基準クロック（この基準
クロックはイメージセンサ４の駆動信号としても用いら
れる）ｆを入力し前記バンドパスフィルタ６の正弦汲出
力信号ｅの位相シフト量にも七づいてコード板１１の変
位をめる位相測定手段で、５１は前記信号ｅ６を入力し
て波形整形する比較器などを用いた波形整形回路、５２
はこの波形整形回路５１からの出力ｅ７をＤ入力とし前
記基準クロックｆをクロック入力とするＤ形フリンプフ
ロップ（以下Ｆ−Ｆと呼ぶ）、５３はこのＦ −Ｆ ５
２からの出力ｅ８を入力し信号ｅ７の各周期ごとに１パ
ルスを発生する制御回路、５４はこの制御回路５３から
の出力ｅをクリア入力とし基準クロックｆをクロック入
力とする計数器（カランり）である。５５は前記カウン
タ５４からのデータ出力Ｄ□を入力しコード板１１の変
位を演算する演算回路で、マイクロコンピュータや刀Ω
算ハードウェアなどを用いることができる。
このような構成の位相測定手段の動作を第６図のタイム
チャートにもとづいて以下説明する。コード板１１に変
位がないと、バンドパスフィルタ６からの正弦波出力ｅ
６は基準クロックｆ。に同期している。正弦波出力ｅ６
の周波数ｆ、１．のこのときの値をｆ。とする。コード
板ｕＫ変位が生じると正弦波出力ｅ６は位相変調をうけ
、変位に対応して位相がシフトする。コード板１１が一
定の変位のままで静止していると、一定の位相シフトの
まま周波数ｆ。
チャートにもとづいて以下説明する。コード板１１に変
位がないと、バンドパスフィルタ６からの正弦波出力ｅ
６は基準クロックｆ。に同期している。正弦波出力ｅ６
の周波数ｆ、１．のこのときの値をｆ。とする。コード
板ｕＫ変位が生じると正弦波出力ｅ６は位相変調をうけ
、変位に対応して位相がシフトする。コード板１１が一
定の変位のままで静止していると、一定の位相シフトの
まま周波数ｆ。
の正弦波を出力する。コード板がある回転数で回転する
と連続的に位相変調され、正弦波出力ｅはドツプラー効
果のように周波数も変化する。すなわち、コード板の回
転方向が、各フォトダイオード４１〜４４が順次オンさ
れて行く方向と同一の場合には周波数は低くなシ、逆方
向の場合には周波数が高くなる。したがって周波数ｆＩ
Ｎは、回転数をｎ１変調成分をΔｆ（ｎ）とすると、 騙−ｆｏ±Δｆ（ｎ） で表わされる。
と連続的に位相変調され、正弦波出力ｅはドツプラー効
果のように周波数も変化する。すなわち、コード板の回
転方向が、各フォトダイオード４１〜４４が順次オンさ
れて行く方向と同一の場合には周波数は低くなシ、逆方
向の場合には周波数が高くなる。したがって周波数ｆＩ
Ｎは、回転数をｎ１変調成分をΔｆ（ｎ）とすると、 騙−ｆｏ±Δｆ（ｎ） で表わされる。
バンドパスフィルタ６からの正弦波信号ｅ６が波形整形
回＄３５１に加えられると、ｅ６の周期と等しい矩形波
ｅ７が得られる（第６図（ｂ））。Ｆ−Ｆ５２は前記２
値信号ｅ７に対応した出力ｅ８を基準クロックｆ。（第
６図（ａ） ） Ｋ同期したタイミングで発生しく第６
図（ｃ） ） 、制御回路５３は前記信号ｅ８の各周期
ととにパルスを発生する（第６図（ｄ）のｅ、）。カウ
ンタ５４は１周期ごとに前記信号ｅ、のパルスによりク
リア（リセット）され、次のパルス迄の時間を基準クロ
ックｆＫよシ計数する。演算回路５５はこのカウンタ５
４からの各周期ごとのデータ出力Ｄ（第６図１ （ｅ））を入力し、この値から基準値ｆ。／ｆ。（コー
ド板１１が静止しているときの信号ｅ７の１周期間のク
ロックｆによる計数値に相当）を減算したもの、すなわ
ちＤ□−ｆ。ｌｆｏ を積算する。こうして得られる演
算データ出力り。ＵＴ÷Σ（Ｄよ−ｆｃ、１ｆｏ） は
各周期ごとの位相変化分を積算したものとなるのでコー
ド板の変位に対応した出力となる。上記の位相測定手段
はインクレメンタル（増分）方式であるが、信号ｅ８を
クロックｆ。と同期させているので誤差が積算されるこ
とはない。第６図（、）は、ｆ−５ＭＩＩｚ ＋ｆｏ
＝５ ｋｌｌｚすなわちｆｃｌｆｏ−１０００とした場
合の具体例で、変位が生じたために各周期におりるデー
タ出力りが１０００→１０２０→９９０と変化している
。このとき各時点における演算データ出力り。ＵＴは、
次のように々る。
回＄３５１に加えられると、ｅ６の周期と等しい矩形波
ｅ７が得られる（第６図（ｂ））。Ｆ−Ｆ５２は前記２
値信号ｅ７に対応した出力ｅ８を基準クロックｆ。（第
６図（ａ） ） Ｋ同期したタイミングで発生しく第６
図（ｃ） ） 、制御回路５３は前記信号ｅ８の各周期
ととにパルスを発生する（第６図（ｄ）のｅ、）。カウ
ンタ５４は１周期ごとに前記信号ｅ、のパルスによりク
リア（リセット）され、次のパルス迄の時間を基準クロ
ックｆＫよシ計数する。演算回路５５はこのカウンタ５
４からの各周期ごとのデータ出力Ｄ（第６図１ （ｅ））を入力し、この値から基準値ｆ。／ｆ。（コー
ド板１１が静止しているときの信号ｅ７の１周期間のク
ロックｆによる計数値に相当）を減算したもの、すなわ
ちＤ□−ｆ。ｌｆｏ を積算する。こうして得られる演
算データ出力り。ＵＴ÷Σ（Ｄよ−ｆｃ、１ｆｏ） は
各周期ごとの位相変化分を積算したものとなるのでコー
ド板の変位に対応した出力となる。上記の位相測定手段
はインクレメンタル（増分）方式であるが、信号ｅ８を
クロックｆ。と同期させているので誤差が積算されるこ
とはない。第６図（、）は、ｆ−５ＭＩＩｚ ＋ｆｏ
＝５ ｋｌｌｚすなわちｆｃｌｆｏ−１０００とした場
合の具体例で、変位が生じたために各周期におりるデー
タ出力りが１０００→１０２０→９９０と変化している
。このとき各時点における演算データ出力り。ＵＴは、
次のように々る。
時刻ｔｌ ： ＤｏＵＴ１＝ １０００−１０００ ＝
。
。
時刻ｔ２：ＤｏＴＪＩＩ１２＝１０２０−１０００＋Ｄ
ｏＵＴ１＝２０時刻ｔ３：ＤｏＵＩＩ１３＝９９０−１
０００＋Ｄｏ［Ｊｒ２＝１０なお上記の実施例では、各
周期ごとにカウンタ５４の内容をリセットしているが、
変形例としてカウンタ５４の代シにプリセット付ダウン
カウンタを用いて各周期ごとに基準値ｆ。ｌｆｏをプリ
セットする方式を用いれば、Ｍ５図の演算回路５５にお
いてｆｏｌｆｏを減算する必要が々くなる。このとき信
号ｅ９はプリセットカウンタのプリセット端子に加えら
れる。
ｏＵＴ１＝２０時刻ｔ３：ＤｏＵＩＩ１３＝９９０−１
０００＋Ｄｏ［Ｊｒ２＝１０なお上記の実施例では、各
周期ごとにカウンタ５４の内容をリセットしているが、
変形例としてカウンタ５４の代シにプリセット付ダウン
カウンタを用いて各周期ごとに基準値ｆ。ｌｆｏをプリ
セットする方式を用いれば、Ｍ５図の演算回路５５にお
いてｆｏｌｆｏを減算する必要が々くなる。このとき信
号ｅ９はプリセットカウンタのプリセット端子に加えら
れる。
以上述べたように本発明によれば、回路系の遅れＫよる
誤差や位相のジッタがなく、調整の不要な変位変換器を
容易に実現できる。構成も簡単で、従来のものに比べて
回路部品点数は半分以下となる。
誤差や位相のジッタがなく、調整の不要な変位変換器を
容易に実現できる。構成も簡単で、従来のものに比べて
回路部品点数は半分以下となる。
第１図は従来装置の一例を示す構成説明図、第２図は第
１図装置における位相板２の透光スリ。 トと４分割フォトダイオードの配列関係を示す図、第３
図は動作波形図、第４図は位相シフト量測定回路の一例
を示す構成ブロック図、第５図は本発明における位相シ
フト量測定回路の−・実施例を示す構成ブロック図、第
６図は第５図の回路の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。 １・・・コード板、１１・・・透光スリ、ト、３・・・
光源、４・・・イメージセンサ、４１−１４・・・４分
割フォトダイオード、ｓｗｉ〜ＳＷ４ 、、、スイッチ
、６９１．バンドパスフィルタ、５０・・・位相測定手
段、５４・・・計数器、５５・・・演算回路、Ｄｌ・・
・データ出力。
１図装置における位相板２の透光スリ。 トと４分割フォトダイオードの配列関係を示す図、第３
図は動作波形図、第４図は位相シフト量測定回路の一例
を示す構成ブロック図、第５図は本発明における位相シ
フト量測定回路の−・実施例を示す構成ブロック図、第
６図は第５図の回路の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。 １・・・コード板、１１・・・透光スリ、ト、３・・・
光源、４・・・イメージセンサ、４１−１４・・・４分
割フォトダイオード、ｓｗｉ〜ＳＷ４ 、、、スイッチ
、６９１．バンドパスフィルタ、５０・・・位相測定手
段、５４・・・計数器、５５・・・演算回路、Ｄｌ・・
・データ出力。
Claims (1)
- 所定ピッチで配列する複数個の透光スリットが形成され
たコード板、このコード板の透光スリットに平行な光を
投射させる光源、複数分割したフォトダイオードとこの
各フォトダイオード上に設置され所定ピッチで配列する
スリット孔を有した位相板と各フォトダイオードからの
信号を順次数シ出すスイッチ手段とで構成されるイメー
ジセンナ、このイメージセ／すから得られる信号から基
本波成分を抽出するバンドパスフィルタ、このバンドパ
スフィルタの出力信号と前記イメージセンサの駆動信号
とを入力し前記基本波成分の位相シフト量に基づいて前
記コード体の変位をめる位相測定手段を具備する変位変
換器において、前記位相測定手段が、前記バンドパスフ
ィルタの出力信号の各周期ごとに一定の初期値を設定さ
れて前記駆動信号によシ計数する計数器と、この計数器
からの各周期ごとのデータ出力に関連する値を積算する
演算回路とを備えたことを特徴とした変位変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18531083A JPS6076613A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 変位変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18531083A JPS6076613A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 変位変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6076613A true JPS6076613A (ja) | 1985-05-01 |
| JPH0360043B2 JPH0360043B2 (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=16168613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18531083A Granted JPS6076613A (ja) | 1983-10-04 | 1983-10-04 | 変位変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6076613A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005083367A1 (en) * | 2004-03-01 | 2005-09-09 | Ipasort, Intelligent Processes For Automated Sorting | Method and equipment for synchronising measured values associated with measured objects |
-
1983
- 1983-10-04 JP JP18531083A patent/JPS6076613A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005083367A1 (en) * | 2004-03-01 | 2005-09-09 | Ipasort, Intelligent Processes For Automated Sorting | Method and equipment for synchronising measured values associated with measured objects |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0360043B2 (ja) | 1991-09-12 |
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