JPS6078402A - カラ−化固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
カラ−化固体撮像装置およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6078402A JPS6078402A JP58186466A JP18646683A JPS6078402A JP S6078402 A JPS6078402 A JP S6078402A JP 58186466 A JP58186466 A JP 58186466A JP 18646683 A JP18646683 A JP 18646683A JP S6078402 A JPS6078402 A JP S6078402A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- solid
- spectral characteristics
- film pattern
- color filter
- Prior art date
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- Granted
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- Optical Filters (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラー化固体撮像装置およびその製造方法に
関する人のである。さらに詳しくは、固、体撮像素子上
へ色フィルタを直接形成する際、形成された色フィルタ
の分光特性の測定を容易に、しかも精度よく行う方法お
よびそれを可能とす素子構造を提供するものである。
関する人のである。さらに詳しくは、固、体撮像素子上
へ色フィルタを直接形成する際、形成された色フィルタ
の分光特性の測定を容易に、しかも精度よく行う方法お
よびそれを可能とす素子構造を提供するものである。
従来例の構成とその問題点
一般に、固体撮像素子をカラー化するためには。
素子の画素部前面に複数色の色フィルタを装着する必要
がある。ところが色フィルタを接着する方法に代り、素
子上へ直接形成する方法では、°色フィルタの位置合せ
精度は大幅に向上するが分光特性の測定が難しく、従っ
て分光特性の制（ａ１ｉｄ容易ではなかった。
がある。ところが色フィルタを接着する方法に代り、素
子上へ直接形成する方法では、°色フィルタの位置合せ
精度は大幅に向上するが分光特性の測定が難しく、従っ
て分光特性の制（ａ１ｉｄ容易ではなかった。
例えば、素子上に形成された色フィルタの分光特性をモ
ニタする方法としては、素子といっしょにガラス板上に
色フィルタを形成して、これを色モニタとして間接的に
分光特性を測定する方法や、素子上に形成された色フィ
ルタを直接反射分光測光法により測定して計算処理して
分光特性をめる方法が用いられている。
ニタする方法としては、素子といっしょにガラス板上に
色フィルタを形成して、これを色モニタとして間接的に
分光特性を測定する方法や、素子上に形成された色フィ
ルタを直接反射分光測光法により測定して計算処理して
分光特性をめる方法が用いられている。
ところが、ガラス板上に色フィルタを形成する方法では
、素子と比べて基板表面の凹凸形状が異るため形成時の
色フィルタの膜厚の違いが大きく有効な分光特性データ
は得られなかった。
、素子と比べて基板表面の凹凸形状が異るため形成時の
色フィルタの膜厚の違いが大きく有効な分光特性データ
は得られなかった。
一方、素子上に形成された色フィルタを直接測定する方
法では、第１図に示すような装置が用いられ直接シリコ
ンホトダイオード上の色フィルタの分光特性を反射測光
し、計算により必要とする透過分光特性を得る方法が用
いられていた。この方法では、Ｓｉホトダイオード面よ
、り反射して帰ってくる光の分光測光を行うことになる
が、一般にＳｉ の可視光反射率が低いため、色フイル
タ構成膜の干渉が大きく作用して正確な反射分光が行な
えながった。反射測光データを第２図に示すがこのデー
タより透過分光特性（第３図）をめることが容易でない
ことは明らかであろう。
法では、第１図に示すような装置が用いられ直接シリコ
ンホトダイオード上の色フィルタの分光特性を反射測光
し、計算により必要とする透過分光特性を得る方法が用
いられていた。この方法では、Ｓｉホトダイオード面よ
、り反射して帰ってくる光の分光測光を行うことになる
が、一般にＳｉ の可視光反射率が低いため、色フイル
タ構成膜の干渉が大きく作用して正確な反射分光が行な
えながった。反射測光データを第２図に示すがこのデー
タより透過分光特性（第３図）をめることが容易でない
ことは明らかであろう。
なお、第１図において、１は固体撮像素子、２はホトダ
イオード、３は人ｌ配線、４はパッシベーション膜、６
はンアン（Ｃｙ）フィルタ、６はイエロー（７）フィル
タ％７は透明色分離膜％８はポンディングパッドを示し
、カラー化固体撮像素子人を構成し、９は対物レンズ、
１０はフィルター、１１は光源、１２はコリメータ、１
３はスリット、１４は反射鏡％ １５は接眼レンズ、１
６はスリット、１７は検知器、１８は凹面回折格子を示
し、反射型スポット分光機Ｂを構成している。
イオード、３は人ｌ配線、４はパッシベーション膜、６
はンアン（Ｃｙ）フィルタ、６はイエロー（７）フィル
タ％７は透明色分離膜％８はポンディングパッドを示し
、カラー化固体撮像素子人を構成し、９は対物レンズ、
１０はフィルター、１１は光源、１２はコリメータ、１
３はスリット、１４は反射鏡％ １５は接眼レンズ、１
６はスリット、１７は検知器、１８は凹面回折格子を示
し、反射型スポット分光機Ｂを構成している。
発明の目的
オ歴咽１コ
づべてきた従来法の色フイルタ分光特性モニタリング方
式の欠点に鑑み、固体撮像素子上へ直接色フィルタを形
成した場合にでも、色フイルタ構成膜の干渉をできるだ
け低減し、より高精度な色フィルタの分光特性が測定で
きる素子構造およびその製造方法を提供することを目的
とする。
式の欠点に鑑み、固体撮像素子上へ直接色フィルタを形
成した場合にでも、色フイルタ構成膜の干渉をできるだ
け低減し、より高精度な色フィルタの分光特性が測定で
きる素子構造およびその製造方法を提供することを目的
とする。
発明の構成
本発明は、カラー化固体撮像素子およびその製造方法に
関するものであり、特に、固体撮像素子上へ直接色フィ
ルタを形成する場合に、前記色フィルタの分光特性の測
定が高精度に行なえるようにするため、色キニタをあら
かじめ作られた光反射率の良い金属反射膜パターン上に
形成することを特徴とする。
関するものであり、特に、固体撮像素子上へ直接色フィ
ルタを形成する場合に、前記色フィルタの分光特性の測
定が高精度に行なえるようにするため、色キニタをあら
かじめ作られた光反射率の良い金属反射膜パターン上に
形成することを特徴とする。
実施例の説明
固体撮像素子上−・色フイ、ルタを直接形成する際、あ
らかじめ色フイルタ形成前に第４図に示すように金属反
射膜パターン２ｏをホトダイオード２上に形成しておき
、この金属反射膜パターン上に形成された色フィルタ（
以下、色モニタという）の分光特性を１反射分光特性と
して測定、する。第４図では、色モニタは、画素部周縁
のホトダイオード上に、…薄膜よりなる反射膜パターン
２ｏを介して形成されているが、これは、有効画素部の
色フイルタ分光特性をより高精度に得るためになされた
ものであり、それ程高精度を必要としない場合には１周
縁部の画素をつぶすことなく、色モニタを駆動部の空い
た場所に形成しても良い。次に。
らかじめ色フイルタ形成前に第４図に示すように金属反
射膜パターン２ｏをホトダイオード２上に形成しておき
、この金属反射膜パターン上に形成された色フィルタ（
以下、色モニタという）の分光特性を１反射分光特性と
して測定、する。第４図では、色モニタは、画素部周縁
のホトダイオード上に、…薄膜よりなる反射膜パターン
２ｏを介して形成されているが、これは、有効画素部の
色フイルタ分光特性をより高精度に得るためになされた
ものであり、それ程高精度を必要としない場合には１周
縁部の画素をつぶすことなく、色モニタを駆動部の空い
た場所に形成しても良い。次に。
この反射分光データを計算機処理して、第３図に示すよ
うなガラス板上に形成した場合の透過分光特性を得る。
うなガラス板上に形成した場合の透過分光特性を得る。
なお、このとき、透過分光特性を見ながら、所定の分光
特性を持つよう色フィルタの濃度を制（財）する。
特性を持つよう色フィルタの濃度を制（財）する。
第５図に、本発明の素子構造より得られる反射分光特性
を示しておくが、第２図に比して、光の干渉が大幅に少
くなっていることが明らかであろう。つまり、本発明の
方法を用いれば、色フィルタを直接固体撮像素子上へ形
成する場合、より高精度に色フ・イルタの分光特性を測
定することができるので、結果として、色フィルタの分
光特性の制御性が大幅に向上される。
を示しておくが、第２図に比して、光の干渉が大幅に少
くなっていることが明らかであろう。つまり、本発明の
方法を用いれば、色フィルタを直接固体撮像素子上へ形
成する場合、より高精度に色フ・イルタの分光特性を測
定することができるので、結果として、色フィルタの分
光特性の制御性が大幅に向上される。
以下、同じ方法で他の色の色フィルタを形成して行けば
、カラー化固体撮像素子を製造できる。
、カラー化固体撮像素子を製造できる。
発明の効果
本発明のカラー化固体撮像素子構造により、色フィルタ
が直接素子上へ形成される場合にも、色フィルタの透過
分光特性を高梢度にしかも再現性良くめることができる
ので、色フィルタの分光特性の制御性が向上し、結果と
してカラー固体撮像素子の色特性を大幅に向上できる。
が直接素子上へ形成される場合にも、色フィルタの透過
分光特性を高梢度にしかも再現性良くめることができる
ので、色フィルタの分光特性の制御性が向上し、結果と
してカラー固体撮像素子の色特性を大幅に向上できる。
第１図は従来より用いられている色フィルタの分光特性
の反射測光方式の概念を示すための図であり、Ａ部はカ
ラー化固体撮像素子の画素部の拡大断面であり、Ｂ部は
測定系の模式図、第２図は従来法により得られた色フィ
ルタの反射分光特性図、第３図は透過分光特注を示す図
、第４図は本発明の一実施例の素子構造を説明するだめ
の画素周縁部の色モニタ及び金属反射膜パターンの書か
れた素子断面図、第５図は本発明の構造の素子より得ら
れた反射分光特性を示す図である。 ２０・・・・・・金属反射膜パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 第５図
の反射測光方式の概念を示すための図であり、Ａ部はカ
ラー化固体撮像素子の画素部の拡大断面であり、Ｂ部は
測定系の模式図、第２図は従来法により得られた色フィ
ルタの反射分光特性図、第３図は透過分光特注を示す図
、第４図は本発明の一実施例の素子構造を説明するだめ
の画素周縁部の色モニタ及び金属反射膜パターンの書か
れた素子断面図、第５図は本発明の構造の素子より得ら
れた反射分光特性を示す図である。 ２０・・・・・・金属反射膜パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 第５図
Claims (3)
- （１） 色フィルタと１画素部および駆動部よりなる固
体撮像素子とが一体化され、前記色フィルタの一部が分
光特性測定用の色モニタとして金属反射膜パターンを介
して前記素子上に形成されていることを特徴としたカラ
ー化固体撮像装置。 - （２）分光特性測定用の色モニタが、画素部周縁のホト
ダイオード上に形成された金属反射膜パターンを介して
形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のカラー化固体撮像装置。 - （３）画素部および駆動部よりなる固体撮像素子上の一
部分に色モニタ形成用の金属反射膜パタ゛−ンを形成す
る工程と、前記金属反射膜パターン上および画素部上に
色フィルタを形成し、前記金属反射膜パターン上の前記
色フィルタを色モニタとして反射測光しながら、形成す
る色フィルタの分光特性を制御する工程、以下同様にし
て他の色の色フィルタを形成し、分光特性を測定・制御
する工程をくり返すことを特徴としたカラー化固体撮像
装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186466A JPS6078402A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | カラ−化固体撮像装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186466A JPS6078402A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | カラ−化固体撮像装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078402A true JPS6078402A (ja) | 1985-05-04 |
| JPH0541962B2 JPH0541962B2 (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=16188958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58186466A Granted JPS6078402A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | カラ−化固体撮像装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078402A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63264103A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Agency Of Ind Science & Technol | 置換アセチレンポリマ−の液体分離膜 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51143540A (en) * | 1975-06-05 | 1976-12-09 | Sony Corp | Method of forming transparent films of fine patterns |
| JPS547005A (en) * | 1977-06-14 | 1979-01-19 | Westinghouse Electric Corp | Rotor cooling device of one directional and two directional axiallflow turbine |
| JPS576083A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-12 | Kiyomi Ikejima | Double-layer fitting |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP58186466A patent/JPS6078402A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51143540A (en) * | 1975-06-05 | 1976-12-09 | Sony Corp | Method of forming transparent films of fine patterns |
| JPS547005A (en) * | 1977-06-14 | 1979-01-19 | Westinghouse Electric Corp | Rotor cooling device of one directional and two directional axiallflow turbine |
| JPS576083A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-12 | Kiyomi Ikejima | Double-layer fitting |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63264103A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Agency Of Ind Science & Technol | 置換アセチレンポリマ−の液体分離膜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0541962B2 (ja) | 1993-06-25 |
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