JPS6079532A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6079532A JPS6079532A JP18635783A JP18635783A JPS6079532A JP S6079532 A JPS6079532 A JP S6079532A JP 18635783 A JP18635783 A JP 18635783A JP 18635783 A JP18635783 A JP 18635783A JP S6079532 A JPS6079532 A JP S6079532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording media
- manufacturing magnetic
- vacuum
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は蒸着源として鉄を使用しつつも角型比が過小と
ならず性能の丁ぐれた磁気記録媒体を得ることができる
改良された磁気記録媒体の製造方法に関する。
ならず性能の丁ぐれた磁気記録媒体を得ることができる
改良された磁気記録媒体の製造方法に関する。
（従来技術）
近年、高密度磁気記録の要求の高まりに対応して真空蒸
着、スパッタリング、イオンブレーティング等の方法に
より非磁性基材上に強磁性金属からなる薄膜ン形成した
金属薄膜型の磁気記録媒体が開発されている。これら金
属薄膜型の磁気記録媒体は磁材をバインダー中に分散し
て塗布形成する塗布型の磁気記録媒体に比べて高密度の
記録が可能である上、更に種々の利点も有しているので
実用化への努力がなされている。
着、スパッタリング、イオンブレーティング等の方法に
より非磁性基材上に強磁性金属からなる薄膜ン形成した
金属薄膜型の磁気記録媒体が開発されている。これら金
属薄膜型の磁気記録媒体は磁材をバインダー中に分散し
て塗布形成する塗布型の磁気記録媒体に比べて高密度の
記録が可能である上、更に種々の利点も有しているので
実用化への努力がなされている。
一般的に金属薄膜型の磁気記録媒体を製造するためには
Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ５Ｃｒなどの強磁性金属や或いは
これらの金属を主体とする合金を使用し、中でもＣｏや
ＣＯを主体とする合金を使用することが多い。しかし、
上記の金属のうちでもＦｅはＣ。
Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｎｉ５Ｃｒなどの強磁性金属や或いは
これらの金属を主体とする合金を使用し、中でもＣｏや
ＣＯを主体とする合金を使用することが多い。しかし、
上記の金属のうちでもＦｅはＣ。
やＣｏを主体とする合金と（らべると低価格である上に
Ｓ／Ｎ歪率が低い利点を有する反面、角型比が小さいた
め、高密度記録用に利用することは困難であり、従って
高密度記録にＦｅを利用する試みはあまりなされなかっ
た。
Ｓ／Ｎ歪率が低い利点を有する反面、角型比が小さいた
め、高密度記録用に利用することは困難であり、従って
高密度記録にＦｅを利用する試みはあまりなされなかっ
た。
（発明の目的）
従って本発明はＦｅｔ使用する際の角型比の小さい点を
解消しようとすることを目的とする。
解消しようとすることを目的とする。
（発明の構成）
本発明の磁気記録媒体の製造方法は非磁性基材に真空中
で鉄を斜方蒸着して鉄薄膜を形成させるに際し、斜方蒸
着の雰囲気を水素ガス雰囲気とすること乞特徴とするも
のである。
で鉄を斜方蒸着して鉄薄膜を形成させるに際し、斜方蒸
着の雰囲気を水素ガス雰囲気とすること乞特徴とするも
のである。
第７図および第２図は本発明の方法に使用する装置の例
を示す模式図であり１．真空槽ｌは所定の真空度、例え
ばＳ Ｘ ／ ０−”Ｔｏｒｒ、以下になっており、巻
き出しロールコから繰り出された非磁性基材３は冷却ド
ラムダに巻き付けられながら搬送され、蒸着源Ｓにより
蒸着され、巻き取りロール乙によって巻き取られる。遮
蔽板７は蒸着物質が入射する際の入射角θン制御するも
のであり、遮蔽板７を第７図８よび第２図中で水平方向
に移動させるよう設置されている。こ゛こでバルブ１を
有するガス導入系デは蒸着雰囲気ン人為的に調整するｋ
めのものであって、適宜な流量のＨ２ガスを導入するこ
とにより、真空槽ｌ内のＨ２ガス分圧を高めることがで
きる。第２図中１０はノズ／’Ｙ示し、このようなノズ
ルを設けると、ノズルの出口付近、即ち、蒸着に直接関
与する領域のＨ２ガス分圧をより高めることができる。
を示す模式図であり１．真空槽ｌは所定の真空度、例え
ばＳ Ｘ ／ ０−”Ｔｏｒｒ、以下になっており、巻
き出しロールコから繰り出された非磁性基材３は冷却ド
ラムダに巻き付けられながら搬送され、蒸着源Ｓにより
蒸着され、巻き取りロール乙によって巻き取られる。遮
蔽板７は蒸着物質が入射する際の入射角θン制御するも
のであり、遮蔽板７を第７図８よび第２図中で水平方向
に移動させるよう設置されている。こ゛こでバルブ１を
有するガス導入系デは蒸着雰囲気ン人為的に調整するｋ
めのものであって、適宜な流量のＨ２ガスを導入するこ
とにより、真空槽ｌ内のＨ２ガス分圧を高めることがで
きる。第２図中１０はノズ／’Ｙ示し、このようなノズ
ルを設けると、ノズルの出口付近、即ち、蒸着に直接関
与する領域のＨ２ガス分圧をより高めることができる。
以下、実施例及び比較例を用いて本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
実施例
第１図の装置を用い、ガス導入系？よりＨ２ガスを５ｏ
ｃｃ１分の流量で導入し、一方、バルブＩＯを介して真
空排気することにより、槽１円の真空度ｔｇ Ａ、ＯＸ
／ Ｏ−１′Ｔｏｒｒ、に保ちつつ、ポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に最小入射角ｌＩ！’で斜方魚
屑することにより、厚み１０００ＸのＦｅ蒸着膜を形成
した。
ｃｃ１分の流量で導入し、一方、バルブＩＯを介して真
空排気することにより、槽１円の真空度ｔｇ Ａ、ＯＸ
／ Ｏ−１′Ｔｏｒｒ、に保ちつつ、ポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に最小入射角ｌＩ！’で斜方魚
屑することにより、厚み１０００ＸのＦｅ蒸着膜を形成
した。
比較例
第１＠の装置ン用い、外部からのガス導入は行なわず、
真空度をす、ＯＸ ／ ０−”Ｔｏｒｒ、に保ちつつそ
の他は実施例と同様に行なった。
真空度をす、ＯＸ ／ ０−”Ｔｏｒｒ、に保ちつつそ
の他は実施例と同様に行なった。
上記の実施例および比較例で得られた磁気記録媒体の静
磁気特性を表にまとめて示す。
磁気特性を表にまとめて示す。
上記の表から明らかなように本発明によって得られる磁
気記録媒体はその静磁気特性、中でも角型比が向上して
いる。
気記録媒体はその静磁気特性、中でも角型比が向上して
いる。
第１図および第一図は本発明の方法に使用する装置の例
な示す模式図である。 ｌ・・・・・・・・・・・真 空 槽 コ・・・・・・・・・・・巻き出しロール３・・・・Φ
・・・・・・非磁性基材 ダ・・・・・・・・・・ｅ冷却ドラム ！・・・・・・・・・・・蒸 着 源 ６０・・・００・・巻き取り口＋ル ア ・・・・・・・・・・・遮 蔽 板ｔ、 ｉｏ−＠
・・・・・バ ル ブ ９・・・・・・・・・・・ガス導入系
な示す模式図である。 ｌ・・・・・・・・・・・真 空 槽 コ・・・・・・・・・・・巻き出しロール３・・・・Φ
・・・・・・非磁性基材 ダ・・・・・・・・・・ｅ冷却ドラム ！・・・・・・・・・・・蒸 着 源 ６０・・・００・・巻き取り口＋ル ア ・・・・・・・・・・・遮 蔽 板ｔ、 ｉｏ−＠
・・・・・バ ル ブ ９・・・・・・・・・・・ガス導入系
Claims (1)
- （１）非磁性基材に真空中で鉄を斜方蒸着して鉄薄膜を
形成させるに際し、斜方蒸着の雰囲気を水素ガス雰囲気
とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18635783A JPS6079532A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18635783A JPS6079532A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079532A true JPS6079532A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16186947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18635783A Pending JPS6079532A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079532A (ja) |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP18635783A patent/JPS6079532A/ja active Pending
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