JPS6083339A - 樹脂封止半導体素子開封装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、従来型の樹脂封止半導体素子開封装置の吸引
部の気流ポンプ化をはかり、公害対策を行った装置に関
するものである。

〈従来技術〉 第１図に、水流ポンプを使用する従来型の樹脂封止半導
体素子の開封装置の構成図を示す。

図に於て、１は４＆Ｉ脂溶解剤（例えば、Ｈ２ＳＯ４゜
ＨＮＯ３）、はボトル、３は試料台、４は試料、５は水
流ポンプ（アスピレータ）、６Ｈつなぎパイプ、７は溶
解剤加熱器、８は水（市水等）であるＯこの開封装置の
動作原理は、３の試料台に試料である樹脂封止半導体デ
バイス４ｆＩ：載せ、水を流して、５の水流ポンプを働
かせると、■の樹脂溶解剤（液）（液を加熱すれば、反
応速度が高くなり、溶解時間が短縮できる）は、１→３
−→５の経路で吸い出される。そのとき、３の試料台の
ところで半導体デバイスの樹脂面が溶解液と接触し、そ
の結果、デバイスの樹脂は試料台の穴の寸法で開封され
る。

しかしながら、この装置には以下のような欠点がある。

（イ）水流ポンプを用いるために樹脂溶解に多量の水を
必要とする。

（ロ）　５の所で溶解使用済み液とポンプ水とが混合す
る。この溶解液は通常Ｈ２ＳＯ４、ＨＮＯ３等の強酸を
用いるので、混合液は酸性の液体になり、この状態では
下水道に簡単に放出できないｏｆた、この混合液を貯蔵
するには非常に大きな貯蔵タンクが必要となる０ 〈発明の目的〉 本発明の目的は、上記従来装置の欠点を除去した開封装
置を提供することにある。

〈実施例〉 第２図に本発明に係る樹脂封止半導体素子の開封装置の
構成図を示す。

図に於て、１１は樹脂溶解剤、１２はボトル、１３け試
料台、１４け試料、１５は溶解剤加熱器、１６は溶解剤
入口、１７は使用済み液貯蔵用タンク、１８はつなぎパ
イプ、１９は使用済み液取り出し口、２０け蒸気トラッ
プ、２１はトラップ材（ガラスウール、ガラス玉）、２
２は気流ポンプ、２３は排気ガス・ドラッグ、’２４Ｉ
ｉトラップ材、２５は溶解剤蒸気トラップ、２６は高圧
ガス（空気、Ｎ２）のボンベである。

この装置の特徴は、 （ａ）　水流ポンプを気流ポンプ（空気エジェクター又
はコンバムとも呼ばれている）に変更した点。

（ｂ）　使用済み液の貯蔵タンクを追加した点。

（ｃ）溶解液の蒸気ミストのトラップ１０，１３゜１５
を付加した点。

にあり、上記（ａ）　、　（ｂ）　、　（Ｃ）により公
害防止を行った樹脂溶解装置である。

この装置の動作原理は、半導体デバイスを１３の試料台
に載せ、２２の気流ポンプを動作させると、溶解剤は、
１１→１３→１７の経路で吸い出される。使用済み液は
７の貯蔵タンクに貯蔵される。その結果、溶解液は装置
外に出ることはなく、水質汚染を起こさない。また、こ
の貯蔵タンクは溶解液だけを貯蔵するので小さいタンク
で良い。

溶解時間を短縮するために溶解液を高温に加熱する方法
が一般的に取られている。溶解液を高温に加熱した場合
に、溶解液が蒸発したシ、或いは分解したりして、大気
中に飛散し、大気汚染を起こす。その発生場所は、工２
の溶解液ボトル及び１７の溶解使用済み液貯蔵タンクの
２箇所である。

そこで、上記１２．１７で発生する蒸気あるいは分解ガ
スを、２５，２０．２３の蒸気ミスト・トラップで除去
し、大気汚染を防止する。なお、２１．２４には、ガラ
ス玉、或いはガラスウール竺３トラップ内部に挿入し、
トラップ効率を上げている。

〈効　果〉 以上詳細に説明したように本発明によれば、従来装置の
欠点全除去できる、きわめて有用な樹脂封止半導体素子
開刺装Ｒを得ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来型の樹脂封止半導体素子開封装置の構成図
、第２図は本発明に係る樹脂制止半導体素子開封装置の
構成図である。 符号の説明 １１：樹脂溶解剤、１２：ボトル、１３：試料台、１４
：試料、１５：溶解剤加熱器、１６：溶解剤入口、１７
：使用済み液貯蔵用タンク、１８二つなぎパイプ、１９
：使用済み液取り出し口、２０′：蒸気ドラッグ、２１
：トラップ材、２２：気流ポンプ、２３：排気・ガス・
トラップ、２４ニドラツプ材、２５：溶解剤蒸気トラッ
プ、２６：高圧ガス・ボンベ１．。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、気流ポンプ、樹脂溶解済み液の貯蔵タンク及びその
   溶解剤の蒸気トラップをもつことで、大気汚染及び水質
   汚染を防止したことを特徴とする樹脂封止半導体素子開
   封装置。