JPH0141450Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、有機溶剤洗浄装置のガス回収装置に
関し、環境衛生の向上及び溶剤の有効利用を図る
よう企図したものである。

〈従来の技術〉 半導体製品やメツキ製品などを洗浄するのに、
第２図に示すような、洗浄装置が用いられる。

この洗浄装置では、洗浄槽１内に有機溶剤２を
貯溜し、この有機溶剤２をヒータ３により加熱し
て有機溶剤ガス４を発生させている。上記有機溶
剤２としては、トリクロロエチレン、メチレンク
ロライド、フロン等を用いる。

被洗浄物は、有機溶剤２中に浸漬して、その後
有機溶剤ガス４にさらすことにより洗浄される。

一方、洗浄槽１内に充満した有機溶剤ガス４
は、冷却管５に触れて凝縮し、液となつて回収樋
６を通つて回収される。

ところで、冷却管５で回収されなかつた有機溶
剤ガス４は、洗浄槽１の上面開口から外部に出て
いく。一般に、有機溶剤ガス４は有毒である。そ
こで作業者がこのガスを吸うことを防ぐためにフ
アン７及び排気ダクト８を設けている。つまり、
フアン７により、洗浄槽１外に出た有機溶剤ガス
４を吸引し排気ダクト８を通して大気中に放出し
ている。

〈考案が解決しようとする問題点〉 ところで上記従来技術では、有毒な有機溶剤ガ
ス４を大気中に放出しているので大気汚染の原因
となる。特に近年、フロンによる大気汚染による
地球環境の悪化が問題となつており、緊急な解決
が望まれている。

また上記従来技術では、有機溶剤ガス４を放出
しているため、有機溶剤３の蒸散量が多く有機溶
剤３の使用効率が悪い。この結果、洗浄するのに
大量の有機溶剤３を要し経済的損失が大きかつ
た。

本考案は、上記従来技術に鑑み、槽外に漏出し
た有機溶剤ガスを大気に放出することなく回収す
る有機溶剤洗浄装置のガス回収装置を提供するも
のである。

〈問題点を解決するための手段〉 上記問題を解決する本考案の構成は、冷却水の
流れを利用した負圧発生部によりガス回収部のガ
ス回収室内の気圧を減じさせ、これにより洗浄槽
内の有機溶剤ガスを、回収部のガス回収室内に吸
引して冷却・凝結させ、凝結した有機溶剤を洗浄
槽に戻すようにしたことを特徴とする。

〈実施例〉 以下に本考案の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。

第１図は本考案の実施例を示す。同図に示すよ
うに有機溶剤洗浄装置は、従来と同様に、洗浄槽
１に貯留した有機溶剤２をヒータ３で加熱して有
機溶剤ガス４を発生させており、この有機溶剤ガ
ス４の一部は冷却管５及び回収樋６により回収さ
れる。

本実施例では上記有機溶剤洗浄装置に、ガス回
収部、冷却液供給部及び負圧発生部で構成
したガス回収装置を備えている。

ガス回収部のガス回収室１０は密閉されてお
り、その内部に冷却コイル１１が配置されてい
る。吸引パイプ１２は、洗浄槽１内の空間（有機
溶剤２の存在しない部分）とガス回収室１０内の
空間（有機溶剤２の存在しない部分）とを連通し
ている。戻しパイプ１３は、ガス回収室１０内で
凝結した有機溶剤２を洗浄槽１に戻す役を果す。

冷却液供給部の冷却液タンク２０内には冷却
液２１が貯留されており、この冷却液２１は、冷
却機２２によりフロンガスが圧送されている熱交
換器２３により約−15℃に冷却されている。液送
ポンプ２４は、冷却パイプ２５を介して冷却コイ
ル１１に冷却液２１を供給するとともに図示しな
い冷却パイプを介して冷却管５に冷却液２１を供
給する。そして冷却コイル１１や冷却管５を通過
してきた冷却液２１は戻り用の冷却液パイプ２５
を介して冷却液タンク２０に戻る。冷却液パイプ
２５の一部には、冷却液２１を上方から下方に導
くよう鉛直となつている鉛直配管部２５ａがあ
る。この鉛直配管部２５ａは鉛直であつても又は
鉛直から少しずれて傾いていてもよい。要は冷却
液を上方から下方に導くような角度を有していれ
ばよい。

負圧発生部は、ガス回収室１０内の空間（有
機溶剤２の存在しない部分）から導出した負圧発
生パイプ３０の先端を鉛直部２５ａに接続して構
成している。負圧発生パイプ３０は先端部３０ａ
が上方から下方に降りてくるよう折れ曲がつてお
り、しかも先端部３０ａと鉛直配管部２５ａとの
なす角度が鋭角となるようにしている。

かかる構成となつている本実施例の動作を次に
説明する。まず液送パイプ２４により冷却液２１
を送給すると、冷却コイル１１及び冷却管５によ
る冷却が行なわれる。更に、鉛直配管部２５ａを
流通する冷却液２１により、ちようどアスピレー
タと同様な作用により、負圧発生パイプ３０を通
してガス回収室１０内の気体が抜かれていきガス
回収室１０内が減圧される。このようにしてガス
回収室１０内の圧力が低減すると、洗浄槽１内の
有機溶剤ガス４は、洗浄槽１の上面開口から外に
出ることなく、吸引パイプ１２を通つてガス回収
室１０内に吸引される。吸引された濃厚な有機溶
剤ガス４は冷却コイル１１により冷却され、ガス
中の有機溶剤成分は凝結して液体である有機溶剤
２となる。

このようにして回収・凝結した有機溶剤２は戻
しパイプ１３を通つて洗浄槽１内に戻され再利用
される。一方、有機溶剤成分がほとんど取られた
気体（希釈ガス）は、負圧発生部により、冷却
液２１中に入り、希釈ガス中にわずかに残留した
有機溶剤成分は冷却液２１中に解け込む。冷却液
２１が冷却液タンク２０に戻ると、解け込んだ有
機溶剤成分は冷却液タンク２０の底側に冷却液２
１は上側に分離する。よつて長期間使用して冷却
液タンク２０中に有機溶剤成分がたまつたら必要
に応じて冷却液タンク２０の底面から有機溶剤成
分を抜き取つてもよい。

〈考案の効果〉 以上実施例とともに具体的に説明したように本
考案によれば次のような効果を奏する。

(i) 有機溶剤ガスを大気中に放出することなく回
収するので、作業者が有機溶剤ガスを吸い込む
ことがなくなり安全かつ衛生的に仕事をするこ
とができ、また公害防止にも寄与する。

(ii) 回収した有機溶剤ガスを回収して凝結させ有
機溶剤として再利用するため、有機溶剤の消費
量が節約され、経費削減ができる。

(iii) 冷却液を利用して負圧を発生させるため、負
圧発生部の構成はきわめて簡単なものでよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図
は従来技術を示す構成図である。 図面中、はガス回収部、は冷却液供給部、
は負圧発生部である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 密閉されたガス回収室と、このガス回収室内に
   配置されており冷却液が流される冷却コイルと、
   有機溶剤洗浄装置の洗浄槽内空間と前記ガス回収
   室内空間とを連通する吸引パイプと、前記ガス回
   収室内で回収された有機溶剤を前記洗浄槽内に戻
   す戻しパイプとを有するガス回収部と、 冷却液パイプを介して少なくとも前記冷却コイ
   ルに冷却液を供給するとともに、前記冷却液パイ
   プの一部が冷却液を上方から下方に導くよう鉛直
   配管されている冷却液供給部と、 前記ガス回収室の内部空間から導出した負圧発
   生パイプの先端部を上方から下方に降ろしてきて
   前記冷却液パイプの鉛直配管部に接続し、しかも
   負圧発生パイプの先端部と冷却液パイプの鉛直配
   管部とのなす角度を鋭角にして構成した負圧発生
   部と、 を具備したことを特徴とする有機溶剤洗浄装置の
   ガス回収装置。