JPS608481A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
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- JPS608481A JPS608481A JP11428183A JP11428183A JPS608481A JP S608481 A JPS608481 A JP S608481A JP 11428183 A JP11428183 A JP 11428183A JP 11428183 A JP11428183 A JP 11428183A JP S608481 A JPS608481 A JP S608481A
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- Japan
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- pump
- refrigerator
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- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超高真空’ｆｆ１ｌるに使用されるクライオポ
ンプに関する。
ンプに関する。
一般にこの種ポンプはポンプケース内に、ステンレス製
シリンダケースを有する２段の冷凍機シリンダが設けら
れ、その第１段の冷凍機シリンダには銅製のシールド及
びノ々ツフルの熱伝導部材を取付け、その第２段の冷凍
機シリンダには同じく銅製のクライオツクネルの熱伝導
部材を取付けて構成される。而してこれら熱伝導部材は
銅の素材そのままでは表面が酸化等によシ変色するので
ニッケルメッキが施されるが、メッキ層には肉眼で見え
ない程度の細孔が存在し。
シリンダケースを有する２段の冷凍機シリンダが設けら
れ、その第１段の冷凍機シリンダには銅製のシールド及
びノ々ツフルの熱伝導部材を取付け、その第２段の冷凍
機シリンダには同じく銅製のクライオツクネルの熱伝導
部材を取付けて構成される。而してこれら熱伝導部材は
銅の素材そのままでは表面が酸化等によシ変色するので
ニッケルメッキが施されるが、メッキ層には肉眼で見え
ない程度の細孔が存在し。
腐蝕性雰囲気中に於ては該細孔を通過して腐蝕性ガス或
は液が銅まで浸透し、銅が腐蝕さ九ると共に錆（緑青）
が現れ、ポンプ内が汚染される欠点が生ずる。また熱伝
導部材に錆が発生９−るとニッケルメッキ面の光沢が失
なわれ輻射率が増大するのでポンプへの輻射による熱負
荷も増大し、ポンプ性能が低下して好ましくない。
は液が銅まで浸透し、銅が腐蝕さ九ると共に錆（緑青）
が現れ、ポンプ内が汚染される欠点が生ずる。また熱伝
導部材に錆が発生９−るとニッケルメッキ面の光沢が失
なわれ輻射率が増大するのでポンプへの輻射による熱負
荷も増大し、ポンプ性能が低下して好ましくない。
また冷凍機シリンダのシリンダケースはステンレス製で
あｐ腐蝕性雰囲気に強いと思われたが。
あｐ腐蝕性雰囲気に強いと思われたが。
該ポンプでＯｔ２ ｓ ００ Ｚｒ２ ｓ ＣＦ４等の
塩素系やフッ素系のガス或はその分解生成物を排気した
場合。
塩素系やフッ素系のガス或はその分解生成物を排気した
場合。
ステンレス鋼も腐蝕され２通常伝熱量を最小限に制限す
べく薄肉で形成され内部に高圧のヘリウムガスが充填さ
れたシリンダの爆発の危険やガス洩れの危険を生ずるの
で短期間でシリンダを交換しなければならず耐久性が乏
しい不都合がある。
べく薄肉で形成され内部に高圧のヘリウムガスが充填さ
れたシリンダの爆発の危険やガス洩れの危険を生ずるの
で短期間でシリンダを交換しなければならず耐久性が乏
しい不都合がある。
本発明はこうした欠点等を解決することをその目的とし
たもので、クライオポンプのパッフルその他のポンプケ
ース内に収容されるべきｅ材の外面に、フッ素系樹脂そ
の他の樹脂の薄膜を形成したととを特徴とする。
たもので、クライオポンプのパッフルその他のポンプケ
ース内に収容されるべきｅ材の外面に、フッ素系樹脂そ
の他の樹脂の薄膜を形成したととを特徴とする。
本発明の実姉例を別紙図面につき説明するに。
（１）はクライオポンプのポンプケース、（２）は２段
に構成された冷凍機シリンダ（３ａ）（３ｂ）と冷凍機
駆動部（４）とから成る冷凍機を示し１両シリンダ（３
ａ）（３ｂ）はポンプケース（１）内にまた該駆動部（
４）は該ポンプケース（１）外に夫々位置して該ケース
（１）に取けけられる。（５）は両シリンダ（３ａ）（
３ｂ）に取付けされる熱伝導部材で、ポンプケース（１
）の吸気口（１ａ）に向いた開口部（６）ヲ有するシー
ルド（５ａ）と、該開口部（６）に取付けたバッフル（
５ｂ）と、該シールド（５ａ）の筒内の第２段の冷凍機
シリンダ（３ｂ）に取けけたクライオノ々ネル（５ｃ）
とで構成され、該冷凍機（２）が駆動されるとシールド
（５ａ）及びバッフル（５ｂ）は約７０°に以下に冷却
されて吸気口（１ａ）からの水蒸気を凝縮排気すると共
にクライオＩ？ネル（５ｃ）は約２０°に以下に冷却さ
れて窒素、アルゴン等を凝縮排気する。而してａｃｔ２
等の腐蝕性ガスを排気した場合、ポンプケース（１）内
に収容された銅製の熱伝導部材（５）。
に構成された冷凍機シリンダ（３ａ）（３ｂ）と冷凍機
駆動部（４）とから成る冷凍機を示し１両シリンダ（３
ａ）（３ｂ）はポンプケース（１）内にまた該駆動部（
４）は該ポンプケース（１）外に夫々位置して該ケース
（１）に取けけられる。（５）は両シリンダ（３ａ）（
３ｂ）に取付けされる熱伝導部材で、ポンプケース（１
）の吸気口（１ａ）に向いた開口部（６）ヲ有するシー
ルド（５ａ）と、該開口部（６）に取付けたバッフル（
５ｂ）と、該シールド（５ａ）の筒内の第２段の冷凍機
シリンダ（３ｂ）に取けけたクライオノ々ネル（５ｃ）
とで構成され、該冷凍機（２）が駆動されるとシールド
（５ａ）及びバッフル（５ｂ）は約７０°に以下に冷却
されて吸気口（１ａ）からの水蒸気を凝縮排気すると共
にクライオＩ？ネル（５ｃ）は約２０°に以下に冷却さ
れて窒素、アルゴン等を凝縮排気する。而してａｃｔ２
等の腐蝕性ガスを排気した場合、ポンプケース（１）内
に収容された銅製の熱伝導部材（５）。
ステンレス製の冷凍機シリンダ（３ａ）（３ｂ）等の部
材に腐蝕性ガス等が付着すると前記したように腐蝕する
不都合金主ずるのでこれら熱伝導部け（５）及び冷凍機
シリンダ（３ａ）（３ｂ）の外面若しくは一部に樹脂の
薄膜（７）を形成し、直接腐蝕性ガス等が酊着しないよ
うにした。該薄膜（７）の樹脂としては例えば耐薬性、
非粘着性に優れた四フッ化系のフッ素樹脂を使用すると
とが好ましく。
材に腐蝕性ガス等が付着すると前記したように腐蝕する
不都合金主ずるのでこれら熱伝導部け（５）及び冷凍機
シリンダ（３ａ）（３ｂ）の外面若しくは一部に樹脂の
薄膜（７）を形成し、直接腐蝕性ガス等が酊着しないよ
うにした。該薄膜（７）の樹脂としては例えば耐薬性、
非粘着性に優れた四フッ化系のフッ素樹脂を使用すると
とが好ましく。
腐蝕性ガスが酊着してもその汚れを簡単にクリーニング
することが出来る。
することが出来る。
樹脂の薄膜（７）は一般にニッケルメッキ面よりも輻射
率が大きいが、ニッケルメッキ面に錆が現れたときの輻
射率よりも大幅に小さく、余りクライオポンプの性能に
影響を与えることがない。
率が大きいが、ニッケルメッキ面に錆が現れたときの輻
射率よりも大幅に小さく、余りクライオポンプの性能に
影響を与えることがない。
またシリンダ（３ａ ）（３ｂ ）は腐蝕による肉厚の
減少がなく爆発等の危険も少なくなる。
減少がなく爆発等の危険も少なくなる。
このように本発明によるときは、パンフル、冷凍機シリ
ンダ等のポンプケース内に収容されるべき部材の外面に
フッ素樹脂等の薄膜を形成したので耐蝕性が向上し、安
全且つ性能低下の少ないクライオポンプが潜られ、樹脂
膜を形成するだけであるので製作も容易であシ、メンテ
ナンスも簡略化出来る等の効果がある。
ンダ等のポンプケース内に収容されるべき部材の外面に
フッ素樹脂等の薄膜を形成したので耐蝕性が向上し、安
全且つ性能低下の少ないクライオポンプが潜られ、樹脂
膜を形成するだけであるので製作も容易であシ、メンテ
ナンスも簡略化出来る等の効果がある。
図面は本発明の実施例の截断側面図である。
（１）・・・ポンプケース
Claims (1)
- クライオポンプのノ々ｙフルその他のポンプケース内に
収容されるべき部材の外面に、フッ素系樹脂その他の樹
脂の薄膜を形成したことを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428183A JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428183A JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608481A true JPS608481A (ja) | 1985-01-17 |
| JPH0364716B2 JPH0364716B2 (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=14633901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11428183A Granted JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608481A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8572988B2 (en) | 2010-02-19 | 2013-11-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cold trap and vacuum evacuation apparatus |
| US9032741B2 (en) | 2009-11-09 | 2015-05-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and vacuum pumping method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884902A (ja) * | 1972-02-15 | 1973-11-10 |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP11428183A patent/JPS608481A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884902A (ja) * | 1972-02-15 | 1973-11-10 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9032741B2 (en) | 2009-11-09 | 2015-05-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and vacuum pumping method |
| US8572988B2 (en) | 2010-02-19 | 2013-11-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cold trap and vacuum evacuation apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0364716B2 (ja) | 1991-10-08 |
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