JPH0364716B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0364716B2 JPH0364716B2 JP58114281A JP11428183A JPH0364716B2 JP H0364716 B2 JPH0364716 B2 JP H0364716B2 JP 58114281 A JP58114281 A JP 58114281A JP 11428183 A JP11428183 A JP 11428183A JP H0364716 B2 JPH0364716 B2 JP H0364716B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- refrigerator
- pump
- case
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超高真空を得るに使用されるクライ
オポンプに関する。
オポンプに関する。
一般にこの種ポンプは、ポンプケース内にステ
ンレス製シリンダケースを有する２段の冷凍機シ
リンダが設けられ、その第１段の冷凍機シリンダ
には銅製のシールド及びバツフルの熱伝導部材を
取付け、その第２段の冷凍機シリンダには同じく
銅製のクライオパネルの熱伝導部材を取付けて構
成される。而して、これら熱伝導部材は、銅の素
材そのままでは表面が酸化等により変色するので
ニツケルメツキが施されるが、メツキ層には肉眼
で見えない程度の細孔が存在し、腐蝕性雰囲気中
に於ては該細孔を通過して腐蝕性ガス或は液が銅
まで浸透し、銅が腐蝕されると共に錆（緑青）が
現れ、ポンプ内が汚染される欠点が生ずる。ま
た、熱伝導部材に錆が発生すると、ニツケルメツ
キ面の光沢が失われ輻射率が増大するので、ポン
プへの輻射による熱負荷も増大し、ポンプ性能が
低下して好ましくない。また、冷凍機シリンダの
シリンダケースは、ステンレス製であり腐蝕性雰
囲気に強いと思われたが、該ポンプでCl2、
CClF3、CF4等の塩素系やフツ素系のガス或はそ
の分解生成物を排気した場合、ステンレス銅も腐
蝕され、通常、伝熱量を最小限に制限すべく薄肉
で形成され内部に高圧のヘリウムガスが充填され
たシリンダの爆発の危険やガス洩れの危険を生ず
るので、短時間でシリンダを交換しなければなら
ず、耐久性が乏しい不都合がある。
ンレス製シリンダケースを有する２段の冷凍機シ
リンダが設けられ、その第１段の冷凍機シリンダ
には銅製のシールド及びバツフルの熱伝導部材を
取付け、その第２段の冷凍機シリンダには同じく
銅製のクライオパネルの熱伝導部材を取付けて構
成される。而して、これら熱伝導部材は、銅の素
材そのままでは表面が酸化等により変色するので
ニツケルメツキが施されるが、メツキ層には肉眼
で見えない程度の細孔が存在し、腐蝕性雰囲気中
に於ては該細孔を通過して腐蝕性ガス或は液が銅
まで浸透し、銅が腐蝕されると共に錆（緑青）が
現れ、ポンプ内が汚染される欠点が生ずる。ま
た、熱伝導部材に錆が発生すると、ニツケルメツ
キ面の光沢が失われ輻射率が増大するので、ポン
プへの輻射による熱負荷も増大し、ポンプ性能が
低下して好ましくない。また、冷凍機シリンダの
シリンダケースは、ステンレス製であり腐蝕性雰
囲気に強いと思われたが、該ポンプでCl2、
CClF3、CF4等の塩素系やフツ素系のガス或はそ
の分解生成物を排気した場合、ステンレス銅も腐
蝕され、通常、伝熱量を最小限に制限すべく薄肉
で形成され内部に高圧のヘリウムガスが充填され
たシリンダの爆発の危険やガス洩れの危険を生ず
るので、短時間でシリンダを交換しなければなら
ず、耐久性が乏しい不都合がある。
本発明は、こうした欠点等を解決することを目
的としたもので、ポンプケース内に、冷凍機シリ
ンダと該冷凍機シリンダに取付けた熱伝導部材と
を設け、冷却された該熱伝導部材にガス分子を凝
縮させて排気するようにしたものに於て、該ポン
プケース内の冷凍機シリンダ及び該熱伝導部材の
外面に、フツ素樹脂の薄膜を形成したことを特徴
とする。
的としたもので、ポンプケース内に、冷凍機シリ
ンダと該冷凍機シリンダに取付けた熱伝導部材と
を設け、冷却された該熱伝導部材にガス分子を凝
縮させて排気するようにしたものに於て、該ポン
プケース内の冷凍機シリンダ及び該熱伝導部材の
外面に、フツ素樹脂の薄膜を形成したことを特徴
とする。
本発明の実施例を別紙図面につき説明するに、
１はクライオポンプのポンプケース、２は２段に
構成された冷凍機シリンダ３ａ，３ｂと冷凍機駆
動部４とから成る冷凍機を示し、両シリンダ３
ａ，３ｂはポンプケース１内に、また、該駆動部
４は該ポンプケース１外に夫々位置して該ケース
１に取付けられる。５は両シリンダ３ａ，３ｂに
取付けされる熱伝導部材で、ポンプケース１の吸
気口１ａに向いた開口部６を有するシールド５ａ
と、該開口部６に取付けたバツフル５ｂと、該シ
ールド５ａの筒内の第２段の冷凍機シリンダ３ｂ
に取付けたクライオパネル５ｃとで構成され、該
冷凍機２が駆動されると、シールド５ａ及びバツ
フル５ｂは約70〓以下に冷却されて吸気口１ａか
らの水蒸気を凝縮排気すると共にクライオパネル
５ｃは約20〓以下に冷却されて窒素、アルゴン等
を凝縮排気する。而して、CCl2等の腐蝕性ガス
を排気した場合、ポンプケース１内に収容された
銅製の熱伝導部材５、ステンレス製の冷凍機シリ
ンダ３ａ，３ｂ等の部材に腐蝕性ガス等が付着す
ると前記したように腐蝕する不都合を生ずるの
で、これら熱伝導部材５及び冷凍機シリンダ３
ａ，３ｂの外面若しくは一部にフツ素樹脂の薄膜
７を形成し、直接腐蝕性ガス等が付着しないよう
にした。該薄膜７の樹脂としては、例えば耐薬
性、非粘着性に優れた四フツ化系のフツ素樹脂を
使用することが好ましく、腐蝕性ガスが付着して
もその汚れを簡単にクリーニングすることが出来
る。
１はクライオポンプのポンプケース、２は２段に
構成された冷凍機シリンダ３ａ，３ｂと冷凍機駆
動部４とから成る冷凍機を示し、両シリンダ３
ａ，３ｂはポンプケース１内に、また、該駆動部
４は該ポンプケース１外に夫々位置して該ケース
１に取付けられる。５は両シリンダ３ａ，３ｂに
取付けされる熱伝導部材で、ポンプケース１の吸
気口１ａに向いた開口部６を有するシールド５ａ
と、該開口部６に取付けたバツフル５ｂと、該シ
ールド５ａの筒内の第２段の冷凍機シリンダ３ｂ
に取付けたクライオパネル５ｃとで構成され、該
冷凍機２が駆動されると、シールド５ａ及びバツ
フル５ｂは約70〓以下に冷却されて吸気口１ａか
らの水蒸気を凝縮排気すると共にクライオパネル
５ｃは約20〓以下に冷却されて窒素、アルゴン等
を凝縮排気する。而して、CCl2等の腐蝕性ガス
を排気した場合、ポンプケース１内に収容された
銅製の熱伝導部材５、ステンレス製の冷凍機シリ
ンダ３ａ，３ｂ等の部材に腐蝕性ガス等が付着す
ると前記したように腐蝕する不都合を生ずるの
で、これら熱伝導部材５及び冷凍機シリンダ３
ａ，３ｂの外面若しくは一部にフツ素樹脂の薄膜
７を形成し、直接腐蝕性ガス等が付着しないよう
にした。該薄膜７の樹脂としては、例えば耐薬
性、非粘着性に優れた四フツ化系のフツ素樹脂を
使用することが好ましく、腐蝕性ガスが付着して
もその汚れを簡単にクリーニングすることが出来
る。
該フツ素樹脂の薄膜７は、一般にニツケルメツ
キ面よりも輻射率が大きいが、ニツケルメツキ面
に錆が現れたときの輻射率よりも大幅に小さく、
余りクライオポンプの性能に影響を与えることが
ない。また、シリンダ３ａ，３ｂは腐蝕による肉
厚の減少がなく爆発等の危険も少なくなる。
キ面よりも輻射率が大きいが、ニツケルメツキ面
に錆が現れたときの輻射率よりも大幅に小さく、
余りクライオポンプの性能に影響を与えることが
ない。また、シリンダ３ａ，３ｂは腐蝕による肉
厚の減少がなく爆発等の危険も少なくなる。
このように本発明によるときは、クライオポン
プのポンプケース内の該冷凍機シリンダ及び該熱
伝導部材の外面に、フツ素樹脂の薄膜を形成した
ので、腐蝕により安全性や性能が低下する不都合
が解消され、フツ素樹脂の薄膜を形成するだけで
あるので製作も容易であり、メンテナンスも簡略
化出来る等の効果がある。
プのポンプケース内の該冷凍機シリンダ及び該熱
伝導部材の外面に、フツ素樹脂の薄膜を形成した
ので、腐蝕により安全性や性能が低下する不都合
が解消され、フツ素樹脂の薄膜を形成するだけで
あるので製作も容易であり、メンテナンスも簡略
化出来る等の効果がある。
図面は本発明の実施例の截断側面図である。
１…ポンプケース、３ａ，３ｂ…冷凍機シリン
ダ、５…熱伝導部材、７…フツ素樹脂の薄膜。
ダ、５…熱伝導部材、７…フツ素樹脂の薄膜。
Claims (1)
- １ ポンプケース内に、冷凍機シリンダと該冷凍
機シリンダに取付けた熱伝導部材とを設け、冷却
された該熱伝導部材にガス分子を凝縮させて排気
するようにしたものに於て、該ポンプケース内の
該冷凍機シリンダ及び該熱伝導部材の外面に、フ
ツ素樹脂の薄膜を形成したことを特徴とするクラ
イオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428183A JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11428183A JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608481A JPS608481A (ja) | 1985-01-17 |
| JPH0364716B2 true JPH0364716B2 (ja) | 1991-10-08 |
Family
ID=14633901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11428183A Granted JPS608481A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608481A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9032741B2 (en) | 2009-11-09 | 2015-05-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and vacuum pumping method |
| JP5553638B2 (ja) | 2010-02-19 | 2014-07-16 | 住友重機械工業株式会社 | コールドトラップ、及び真空排気装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884902A (ja) * | 1972-02-15 | 1973-11-10 |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP11428183A patent/JPS608481A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS608481A (ja) | 1985-01-17 |
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