JPS6085581A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
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- JPS6085581A JPS6085581A JP19379183A JP19379183A JPS6085581A JP S6085581 A JPS6085581 A JP S6085581A JP 19379183 A JP19379183 A JP 19379183A JP 19379183 A JP19379183 A JP 19379183A JP S6085581 A JPS6085581 A JP S6085581A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- circuit
- laser tube
- timer circuit
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- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241000270708 Testudinidae Species 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明に、イオンレーザ装置に関し、特にレーザ管の封
入ガスの減少を補給する工うにしたイオンレーザ装置に
関する。
入ガスの減少を補給する工うにしたイオンレーザ装置に
関する。
従来のこの種のイオンレーザ装置ぼ、レーザ管口の封入
希ガス全イオン化するために大電流のアーク放ｔｔｉｒ
させる。そのため、ガスクリーンアップ作用に工９レー
ザ管内のガスが減少する。レーザ管封入ガスが減少する
と、レーザ管アノード電圧が減少し、それとともに出力
の減少が起り、さらにガス減少が進むと正常な放電が行
なわれなくなり、管の動作が停止して使用不能ＩＣ７ｊ
る。
希ガス全イオン化するために大電流のアーク放ｔｔｉｒ
させる。そのため、ガスクリーンアップ作用に工９レー
ザ管内のガスが減少する。レーザ管封入ガスが減少する
と、レーザ管アノード電圧が減少し、それとともに出力
の減少が起り、さらにガス減少が進むと正常な放電が行
なわれなくなり、管の動作が停止して使用不能ＩＣ７ｊ
る。
本発明の目的に前記レーザ管のガスの減少金目動的に適
正化補給し、よって長期問丸わたり安定に動作するイオ
ンレーザ装置を提供するにある。
正化補給し、よって長期問丸わたり安定に動作するイオ
ンレーザ装置を提供するにある。
次ｖｃ第１図に示した笑施例にエリ本発明の詳細な説明
する。図において、ｌは、レーザ管２の放電を維持させ
るための主直流電源で、正極出力はレーザ管２のアノー
ド３に負極にアースされるとともに直流検出抵抗１１４
通してレーザ管２のカソード４ｒｃ啜続されているｏ５
と５′ぼレーザ管２全問ｖｃＩＪさんで対同配置の共振
器ミラーであり、６ｒｒレーザ管２と支管７Ｖｃニジ接
続された補助ガスボンベで、支管７ｒｃげ電磁弁８が設
けられて、。
する。図において、ｌは、レーザ管２の放電を維持させ
るための主直流電源で、正極出力はレーザ管２のアノー
ド３に負極にアースされるとともに直流検出抵抗１１４
通してレーザ管２のカソード４ｒｃ啜続されているｏ５
と５′ぼレーザ管２全問ｖｃＩＪさんで対同配置の共振
器ミラーであり、６ｒｒレーザ管２と支管７Ｖｃニジ接
続された補助ガスボンベで、支管７ｒｃげ電磁弁８が設
けられて、。
レーザ管２と補助ガスボンベ６との間を仕切っている０
そして電流検出抵抗１１の出力端に直流電源ｌだ帰還さ
れて、直流電源ｌ全足電流電源とする。また電流検出抵
抗１１７ｃ発生する篭流検出屯圧Ｖｍと、レーザ管２の
アノード電圧Ｅｂ４抵抗９．１０によって分圧した検出
罎圧Ｖｏとの差電圧全比較増幅１２で増幅し、その出力
適圧にタイマー回路１３゜アラーム回路１４を経て、′
電磁弁駆動回路１５゜タイマー回路２０Ｖｃ加えられそ
の出力ＩＣＣエフ亀磁弁８に開閉動作を行ない、補助ガ
スボンベ６のガスをレーザ管２（供給丁べく制御する手
段であり、その制御方法に次の通りである。
そして電流検出抵抗１１の出力端に直流電源ｌだ帰還さ
れて、直流電源ｌ全足電流電源とする。また電流検出抵
抗１１７ｃ発生する篭流検出屯圧Ｖｍと、レーザ管２の
アノード電圧Ｅｂ４抵抗９．１０によって分圧した検出
罎圧Ｖｏとの差電圧全比較増幅１２で増幅し、その出力
適圧にタイマー回路１３゜アラーム回路１４を経て、′
電磁弁駆動回路１５゜タイマー回路２０Ｖｃ加えられそ
の出力ＩＣＣエフ亀磁弁８に開閉動作を行ない、補助ガ
スボンベ６のガスをレーザ管２（供給丁べく制御する手
段であり、その制御方法に次の通りである。
抵抗９．ｌｏ’に調節し、前記Ｅｂ検出゛屯圧ＶＯと電
流検出電圧ＶｍＱ差が０になるよう足しておく。
流検出電圧ＶｍＱ差が０になるよう足しておく。
このときアノード延圧Ｅｂ、アノード電流１ｂの関係ａ
第２図のレーザ管２の正規のＥｂ−１ｂ曲線１６上にあ
る。このレーザ管２が動作をし続けているうち丸、前述
のガスクリーンアップ作用により管内の封入希ガスが減
少し、アノード屯田Ｅｂ−アノード電流ＩＭ）笑効抵抗
特注が第２図の曲線１６の下＠にずれればＶｍに対しＹ
Ｏに小さくなり、したカニっで、比較増幅器１２ｃ＋の
出力が現われその出力ａ、タイマー回路１３がＯＮ Ｋ
なっていればアラーム回路１４を通って′亀磁弁駆拗回
路１５力ｘｆｌｌ：動し、タイマ回路２０が一定時間Ｏ
Ｎ Ｌ、 Ｋ磁弁會一定時間開いてガスを補給し、ガス
補給の結果Ｅｂ −Ｉｂ笑効抵抗特註が曲線１６の上側
（米るとＶｍ （Ｖ ｏとなム比較増幅器１２にマイナ
ス（−）出力が生じ、タイマ回路１３アラーム回路１４
．電磁弁駆動回路１５、タイマ回路２０全通して、′電
磁弁８に閉じるＯしかし、レーザ管２汀冷状態力＼らス
イッチオンされて動作開始後、管内温度７５Ｅ徐々に上
昇し、レーザ管２のＥｂ−１ｂ特註が安定するまで汀数
十分の時間？要する０第３図にこの工うな起勲特注全示
すもので、横軸 汀勤咋開始力）らの経過時間、縦軸ａ
アノード電圧Ｅｂｊ−示す。この図で、特注曲線１９げ
放電電侃１０Ａ一定に保持シｆｃ ト＠ Ｖ） モノ、
曲線ｔｓｒｒ２ｏＡ、曲線１７Ｈ３０へのときの特注で
、定常値に達するに汀それぞれ約２０分を要しているＯ
したがってスイッチＯＮ後−足時間ＯＦＦするタイマー
回路１３なしに比較増幅器１２の出力（工Ｖ電磁弁８を
駆動し７ｔならば、レーザ管２にば適正量のガスが封入
されているとしてもスイッチオン直後にアノード電圧検
知出力ＶＯに゛１流検出奄圧Ｖｍエクも低いので、比較
増幅器１２の出力にに正の信号が現われ電磁弁８が開き
ガス補給動作をしてしまう０このような不都合にスイッ
チＯＮ後一定時間（２０分程度ン信号２ ＯＦＦするタ
イマ回路１３ｒｃ！り解消されＪｂＯまたタイマ回路２
０ａ、電磁弁８が開きガス補ｌ＠され前記の工うにアノ
ード電圧Ｅｂが上昇するまでの応答速度遅れによるガス
の補給し丁ぎ奮防止するため、一定時間（０，５秒程度
）ＯＮするタイマーであ／）０ 工って前記レーザ管２のガスの減少が防止され、アノー
ド電圧Ｅｂ、アノード電流Ｉｂｒｒはぼ正規のＥｂ−１
ｂ曲１ｉ１６上に保たれ、レーザ出力の安定化と寿命を
長くすることかで＠る０
第２図のレーザ管２の正規のＥｂ−１ｂ曲線１６上にあ
る。このレーザ管２が動作をし続けているうち丸、前述
のガスクリーンアップ作用により管内の封入希ガスが減
少し、アノード屯田Ｅｂ−アノード電流ＩＭ）笑効抵抗
特注が第２図の曲線１６の下＠にずれればＶｍに対しＹ
Ｏに小さくなり、したカニっで、比較増幅器１２ｃ＋の
出力が現われその出力ａ、タイマー回路１３がＯＮ Ｋ
なっていればアラーム回路１４を通って′亀磁弁駆拗回
路１５力ｘｆｌｌ：動し、タイマ回路２０が一定時間Ｏ
Ｎ Ｌ、 Ｋ磁弁會一定時間開いてガスを補給し、ガス
補給の結果Ｅｂ −Ｉｂ笑効抵抗特註が曲線１６の上側
（米るとＶｍ （Ｖ ｏとなム比較増幅器１２にマイナ
ス（−）出力が生じ、タイマ回路１３アラーム回路１４
．電磁弁駆動回路１５、タイマ回路２０全通して、′電
磁弁８に閉じるＯしかし、レーザ管２汀冷状態力＼らス
イッチオンされて動作開始後、管内温度７５Ｅ徐々に上
昇し、レーザ管２のＥｂ−１ｂ特註が安定するまで汀数
十分の時間？要する０第３図にこの工うな起勲特注全示
すもので、横軸 汀勤咋開始力）らの経過時間、縦軸ａ
アノード電圧Ｅｂｊ−示す。この図で、特注曲線１９げ
放電電侃１０Ａ一定に保持シｆｃ ト＠ Ｖ） モノ、
曲線ｔｓｒｒ２ｏＡ、曲線１７Ｈ３０へのときの特注で
、定常値に達するに汀それぞれ約２０分を要しているＯ
したがってスイッチＯＮ後−足時間ＯＦＦするタイマー
回路１３なしに比較増幅器１２の出力（工Ｖ電磁弁８を
駆動し７ｔならば、レーザ管２にば適正量のガスが封入
されているとしてもスイッチオン直後にアノード電圧検
知出力ＶＯに゛１流検出奄圧Ｖｍエクも低いので、比較
増幅器１２の出力にに正の信号が現われ電磁弁８が開き
ガス補給動作をしてしまう０このような不都合にスイッ
チＯＮ後一定時間（２０分程度ン信号２ ＯＦＦするタ
イマ回路１３ｒｃ！り解消されＪｂＯまたタイマ回路２
０ａ、電磁弁８が開きガス補ｌ＠され前記の工うにアノ
ード電圧Ｅｂが上昇するまでの応答速度遅れによるガス
の補給し丁ぎ奮防止するため、一定時間（０，５秒程度
）ＯＮするタイマーであ／）０ 工って前記レーザ管２のガスの減少が防止され、アノー
ド電圧Ｅｂ、アノード電流Ｉｂｒｒはぼ正規のＥｂ−１
ｂ曲１ｉ１６上に保たれ、レーザ出力の安定化と寿命を
長くすることかで＠る０
Claims (1)
- 電磁弁にＸ、り仕切られた補助ガスボンベを備えたレー
ザ管と、このレーザ管の動作電圧全供給する直流電源と
、前記レーザ管のアノード電圧検知出力と基準電圧全比
較する比較増幅器と、この比較増幅器の出力信号を一定
時間ＯＦＦする第１のタイマ回路と、この第１のタイマ
回路の出力九より駆動されるアラーム回路と、このアラ
ーム回路の出力にニジ駆動され、％磁弁駆動回路と、こ
の電磁弁駆動回路の出力ｖｃエク一定時間寛磁弁を駆動
する第２のタイマー回路とを備えたことを特徴とするイ
オンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19379183A JPS6085581A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19379183A JPS6085581A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085581A true JPS6085581A (ja) | 1985-05-15 |
| JPH0121637B2 JPH0121637B2 (ja) | 1989-04-21 |
Family
ID=16313846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19379183A Granted JPS6085581A (ja) | 1983-10-17 | 1983-10-17 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6085581A (ja) |
-
1983
- 1983-10-17 JP JP19379183A patent/JPS6085581A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0121637B2 (ja) | 1989-04-21 |
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