JPS608704A - ピツチ測定装置 - Google Patents
ピツチ測定装置Info
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- JPS608704A JPS608704A JP11726983A JP11726983A JPS608704A JP S608704 A JPS608704 A JP S608704A JP 11726983 A JP11726983 A JP 11726983A JP 11726983 A JP11726983 A JP 11726983A JP S608704 A JPS608704 A JP S608704A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野の説明）
本発明は直線状に配置されたマーク等のピンチを測定す
るピッチ測定装置に関する。
るピッチ測定装置に関する。
（従来技術の説ＦＩＪＪ）
平面上に形成された連続マークやさん孔のビノヂを測定
する方法とし一ζ、テレヒジヮン技術を応用したものが
ある。
する方法とし一ζ、テレヒジヮン技術を応用したものが
ある。
前記方法では撮像管を受光器として用いヒーム走査等に
よりビソヂ等を測定するのであるが、測定の対象物が高
速で移動する場合にはあまり有効でない。
よりビソヂ等を測定するのであるが、測定の対象物が高
速で移動する場合にはあまり有効でない。
直ｆＭ ５ ｍ ｍ位の物体が基準ピッチ長２ （ｌ
ｍ ｍで配置され、速度Ｖ＝５ｍ／秒位で移動するとき
に、精度±１％（±０．２ｍｍ）位で測定したい場合に
ついて考える。
ｍ ｍで配置され、速度Ｖ＝５ｍ／秒位で移動するとき
に、精度±１％（±０．２ｍｍ）位で測定したい場合に
ついて考える。
まず、走査周期を物体の移動による測定誤差を無視でき
る時間内に定める必要があるので走査周期を以下のよう
に定める必要がある。
る時間内に定める必要があるので走査周期を以下のよう
に定める必要がある。
走査周期≦精度／速度−０，２ｍｍ／ ５ （ｒｎ／秒
）＝４０μｓ・・・・■ この走査周期を実現するのは困Ｓｔであり、テレヒジョ
ン方式では前記測定は困ツｔである。
）＝４０μｓ・・・・■ この走査周期を実現するのは困Ｓｔであり、テレヒジョ
ン方式では前記測定は困ツｔである。
（本発明の詳細な説明）
本発明の目的は、光の入射点の位置に関する情報を出力
することができる半導体センサを用いることにより、移
動する物体上に存在するマーク等のピッチを測定するこ
とができるピッチ測定装置を提供することにある。
することができる半導体センサを用いることにより、移
動する物体上に存在するマーク等のピッチを測定するこ
とができるピッチ測定装置を提供することにある。
（構成の説明）
（実施例の説明）
以下図面等を参照して本発明による装置をさらに詳しく
説明する。
説明する。
この実施例に係るピッチ測定装置は、さん孔されたテー
プの孔間のピッチの測定をするものである。
プの孔間のピッチの測定をするものである。
第１図はこの実施例装置によるテープの孔間のピッチの
測定状態を示す略図である。
測定状態を示す略図である。
第２図は受光器の構成を示す略図である。
多数の孔がさん孔されたテープＩは第１図において矢印
の示す方向に移動する。
の示す方向に移動する。
このテープ１の一方の面側に投光器２、他方の面側に受
光器３が光軸を一致さ・けられて配置されている。制御
回路４には後述する演算回路が含まれており、演算結果
は出力装置５に出力される。
光器３が光軸を一致さ・けられて配置されている。制御
回路４には後述する演算回路が含まれており、演算結果
は出力装置５に出力される。
制御回路４にはさらに装置全体の順序制御回路が含まれ
ており、起動信号により投光器２の駆動、テープの走行
開始制御等の順序制御を行う。
ており、起動信号により投光器２の駆動、テープの走行
開始制御等の順序制御を行う。
受光器３は、第２図に示すように対物レンズ３１とハー
フミラ−３２を含んでいる。
フミラ−３２を含んでいる。
テープ１からの光は前記ハーフミラ−３２で分割されハ
ーフミラ−３２を透過した位置と反射した位置の２箇所
に結像させられる。
ーフミラ−３２を透過した位置と反射した位置の２箇所
に結像させられる。
ハーフミラ−３２を透過した光の結像面に先行する孔へ
の像を受けるように２端子のＰｓｉ）（光の入射点の位
置に関する情報を出力することができる半導体センサ、
ポジション・センシイティプ・ディテクタの略称）■、
ハーフミラ−３２で反射した光の結像面に次の孔Ｂの像
を受ける位置に２端子のＰＳＤ２が配置されている。
の像を受けるように２端子のＰｓｉ）（光の入射点の位
置に関する情報を出力することができる半導体センサ、
ポジション・センシイティプ・ディテクタの略称）■、
ハーフミラ−３２で反射した光の結像面に次の孔Ｂの像
を受ける位置に２端子のＰＳＤ２が配置されている。
なおこの実施例では前記ＰＳＤ ｉおよびＰＳＤ２とし
て、浜松ボトニクス株式会社の（Ｓｉ５４５を用いた現
在販売されている製品の型番なと）を使用している。
て、浜松ボトニクス株式会社の（Ｓｉ５４５を用いた現
在販売されている製品の型番なと）を使用している。
第２図においてテープ１は上方向に送られるものとし、
ｔｏの時点で先行する孔Ａは八。の位置にあり、孔Ｂば
ＢＯの位置にあるとする。
ｔｏの時点で先行する孔Ａは八。の位置にあり、孔Ｂば
ＢＯの位置にあるとする。
またｔｌの時点で孔ＡはＡ１の位置にあり、孔ＢはＢ１
の位置にあるとする。
の位置にあるとする。
ＰＳＤＩにはｔｏの時点で孔への像Ａ。■が形成され、
ｔ、の時点でＡ、Ｉが形成される。またＰＳＤ２にはｔ
ｏの時点で孔ＢのＩ象Ｂｏｌが形成され、ｔｌの時点で
Ｂ、Ｉが形成される。すなわらＰＳＤＩに形成される先
行する孔Ａの像は矢印への示すように上から下に移動し
、ＰＳＤ２に形成されるＢｏ）像は矢印Ｂの示すように
右から左に移動する。
ｔ、の時点でＡ、Ｉが形成される。またＰＳＤ２にはｔ
ｏの時点で孔ＢのＩ象Ｂｏｌが形成され、ｔｌの時点で
Ｂ、Ｉが形成される。すなわらＰＳＤＩに形成される先
行する孔Ａの像は矢印への示すように上から下に移動し
、ＰＳＤ２に形成されるＢｏ）像は矢印Ｂの示すように
右から左に移動する。
次に第３図を参照してＰＳＤＩとＰＳＤ２の関係を説明
する。
する。
第３図は各ＰＳＤの孔の像の移動方向を揃えてりＪ比し
たものである。
たものである。
各ＰＳＤの外形寸法はＷ（幅）’ ｘ １． （長さ）
、受光面長はＰＩ！、である。
、受光面長はＰＩ！、である。
「をＰＳＤ結像面上での測定物の対称軸からの区さとす
る。
る。
前述したレンズ３１により結像される像の倍率をＭ（通
常Ｍ〈１）とすると前記テープ１の孔の半１￥はｒ／Ｍ
である。
常Ｍ〈１）とすると前記テープ１の孔の半１￥はｒ／Ｍ
である。
なお前記孔はテープ１の移動方向に垂直な線に対して対
象な形状、例えば対向する二辺がテープ１の走行方向に
平行な矩形等、であれば円と同様な処理が可能である。
象な形状、例えば対向する二辺がテープ１の走行方向に
平行な矩形等、であれば円と同様な処理が可能である。
この配置におりる最小測定ピッチＬＭＩＮは測定物の孔
の像がＡＩとＢｌに現れるような場合で、２４７Ｍに相
当する。
の像がＡＩとＢｌに現れるような場合で、２４７Ｍに相
当する。
最大測定ピッチＩ１ＭＡＸば、測定物の孔の像がＡＩと
ＢＭＡＸＩに現れるような場合で ｆｆＭＡＸ ＝ （２Ｐｊ！−２ｒ） ／Ｍ−２（Ｐβ
−ｒ）／Ｍ となる。
ＢＭＡＸＩに現れるような場合で ｆｆＭＡＸ ＝ （２Ｐｊ！−２ｒ） ／Ｍ−２（Ｐβ
−ｒ）／Ｍ となる。
なお、測定ピッチ長＝Ｐβの時には、Ｍ＞１として拡大
結像させることにより測定が可能となる。
結像させることにより測定が可能となる。
前述のように各Ｐ Ｓ Ｄ上の像の移動方向をＸ方向と
し、各Ｉ） Ｓ Ｄの中心を原点とする。
し、各Ｉ） Ｓ Ｄの中心を原点とする。
今テープ１の孔の連続する孔の関係を孔入と孔Ｂの間隔
がある標準ピンチであるときには、孔への像ＡＩがＰＳ
ＤＩの原点にあれば孔Ｂの像ＢｌばＰＳＤ２の原点にあ
るとする。
がある標準ピンチであるときには、孔への像ＡＩがＰＳ
ＤＩの原点にあれば孔Ｂの像ＢｌばＰＳＤ２の原点にあ
るとする。
第４図に各Ｐ Ｓ ＤとＸ軸および原点の関係を示しで
ある。
ある。
ＰＳＤＩの原点の左側にある端子■をＰＳＤＩの第１の
端子、右側にある端子■を第２の端子とする。同様にＰ
ＳＤ２の原点の左側にある＆ｌｉｌ子■をＰＳＤ２の第
１の端子、右側にある端子■を第２の端子とする。
端子、右側にある端子■を第２の端子とする。同様にＰ
ＳＤ２の原点の左側にある＆ｌｉｌ子■をＰＳＤ２の第
１の端子、右側にある端子■を第２の端子とする。
テープ１の孔Ａおよび孔Ｂの像Δ１．Ｂｌが第４図のｘ
ｌ、およびｘ２にあるときのＰ Ｓ Ｉ） ］の第１の
端子および第２の端子に流れる電流を１１゜Ｉ２とし、
ＰＳＤ２の第１の端子および第２の端子に流れる電流を
１．’、１２’とする。
ｌ、およびｘ２にあるときのＰ Ｓ Ｉ） ］の第１の
端子および第２の端子に流れる電流を１１゜Ｉ２とし、
ＰＳＤ２の第１の端子および第２の端子に流れる電流を
１．’、１２’とする。
第５図に前記各Ｐ Ｓ Ｉ）の出力を７．１ Ｗしてピ
ンチに関するデータを出力する回路、第６図は前記回路
の動作を説明するための波形図である。
ンチに関するデータを出力する回路、第６図は前記回路
の動作を説明するための波形図である。
ＰＳＤＩの第１の出力端子は減算器５１および加算器５
２の一方の入力端子に接続されている。ＰＳＤＩの第２
の出力端子は前記′／１ｊ、算器５１および加算器５２
の他の入力端子に接続されている。
２の一方の入力端子に接続されている。ＰＳＤＩの第２
の出力端子は前記′／１ｊ、算器５１および加算器５２
の他の入力端子に接続されている。
１） Ｓ Ｄ ２の第１の出力端子ば減算器５３および
加算器５４の一方の入力端子に接続されている。ＰＳＤ
Ｉの第２の出力端子は前記減算器５３および加算器５４
の他の入力端子に接続されている。
加算器５４の一方の入力端子に接続されている。ＰＳＤ
Ｉの第２の出力端子は前記減算器５３および加算器５４
の他の入力端子に接続されている。
減算器５１はＩ、−１２、減算器５３は■、Ｌ、、−■
２′を演算して出力する。
２′を演算して出力する。
加算器５２は１１＋Ｉ２、加算器５４はｉ、ｌ→−■２
′を演算して出力する。
′を演算して出力する。
減算器５１の出力および加算器５２の出力は割算器５５
に接続されており、この割算器５５により（１＋ Ｉ
２ ） ／ （Ｉ ＋ ＋ Ｉ ２ ）の演算が旬われ
れる。減算器５３の出力および加算器５４の出力は割算
器５６に接続されており、この割算器５６により（ＩＩ
’ １２ ’）／ （１１’＋Ｉ２ ’）の演算が行
われれる。
に接続されており、この割算器５５により（１＋ Ｉ
２ ） ／ （Ｉ ＋ ＋ Ｉ ２ ）の演算が旬われ
れる。減算器５３の出力および加算器５４の出力は割算
器５６に接続されており、この割算器５６により（ＩＩ
’ １２ ’）／ （１１’＋Ｉ２ ’）の演算が行
われれる。
割算器５５の出力電圧をＶＤ、、割算器５６の出力電圧
をＶＤ２とするとＶＤ１およびＶＤ２は次の式で惇えら
れる。
をＶＤ２とするとＶＤ１およびＶＤ２は次の式で惇えら
れる。
ＶＤ、−
ｋ・ （ＩＩ Ｉ２ ）／ （＋１ １１２ ）ＶＤ２
＝ ｌ（・ （１，−１２’）／ （Ｉ、＋ １．’）ただ
しｋは定数である。
＝ ｌ（・ （１，−１２’）／ （Ｉ、＋ １．’）ただ
しｋは定数である。
割算器５５の出力電圧ＶＤ、、割算器５Ｇの出力電圧Ｖ
Ｄ、ば減算器５７に接続され、この減算器５７によりＶ
Ｄ、−ＶＤ２の／１ｉｉＷ、が行われる。
Ｄ、ば減算器５７に接続され、この減算器５７によりＶ
Ｄ、−ＶＤ２の／１ｉｉＷ、が行われる。
このＶＤ、−ＶＤ２と前記各Ｐ Ｓ Ｉ）上の光点の庫
裏ＸＩ、Ｘ２の間に次の関係が成立する。
裏ＸＩ、Ｘ２の間に次の関係が成立する。
Ｇ （ＶＤ７ ＶＤｌ）＝ （Ｘ２ ＸＩ ）／Ｍただ
しＧは定数である。
しＧは定数である。
１／ （Ｇ−Ｍ）＝にとすると
（■ｎ ２−Ｖｌ）、）＝Ｋ （ｘ２−ｘ、）となり、
減算器５７から（ｘ２−ｘＩ）に比例する電圧がとりだ
されていることが理解できる。
減算器５７から（ｘ２−ｘＩ）に比例する電圧がとりだ
されていることが理解できる。
減算器５７の出力は加算器５８の入力端子に接続され、
この加算器５８の他の入力端子に接続されている定電圧
ＶＢが加算され以下に示す電圧Ｖ。
この加算器５８の他の入力端子に接続されている定電圧
ＶＢが加算され以下に示す電圧Ｖ。
が出力される。
Ｖｏ＝Ｋ （ｘ２ ＸＩ ） ＋ＶＢ ・・・（１１サ
ンプリング信号発生器５９の入力端子はＰＳＤｌの第１
の出力端子に接続されており、電流■１に同期したサン
プリングパルスφＸを発生ずる。
ンプリング信号発生器５９の入力端子はＰＳＤｌの第１
の出力端子に接続されており、電流■１に同期したサン
プリングパルスφＸを発生ずる。
テープ１の孔に原因する光束がＰＳＤ Ｉの測定領域に
入っても電流１１は急には立ち上がらない。
入っても電流１１は急には立ち上がらない。
ＶＤ、、ＶＤ２も第６図に示されているように、ｘＩ＋
Ｘ２に対して非直線領域が現れる。測定は直線領域にお
いて行われる必要がある。したがってサンプリングパル
スφＸは、電流１１の立ち上がり終了時点以降に発生さ
せられるように構成されている。
Ｘ２に対して非直線領域が現れる。測定は直線領域にお
いて行われる必要がある。したがってサンプリングパル
スφＸは、電流１１の立ち上がり終了時点以降に発生さ
せられるように構成されている。
サンプルボールド回路６０は前記サンプリングパルスφ
Ｘに基づいて加算器５８の出力をサンプルホールドする
。
Ｘに基づいて加算器５８の出力をサンプルホールドする
。
次に前記回路の動作例を説明する。
今、前記テープｌの孔のピンチの最小値をＩｌＭＩＮと
すれば、ピッチｅは以下の式で与えられる。
すれば、ピッチｅは以下の式で与えられる。
β−β旧Ｎ ＋ （Ｘ２ ＸＩ ） ／Ｍ・・１２１し
たがって、前記（１）式のＶＢを７！ＭＩＮに対応する
電圧に設定し、前記（１）式の定数Ｋを１／Ｍにするこ
とにより、加算器５８の出力■０ばピッチｅに対応する
電圧となる。
たがって、前記（１）式のＶＢを７！ＭＩＮに対応する
電圧に設定し、前記（１）式の定数Ｋを１／Ｍにするこ
とにより、加算器５８の出力■０ばピッチｅに対応する
電圧となる。
なおこの実施例ではＸ ２ Ｘ Ｈは必ず零または正で
ある。ｘ２−Ｘｌ ＝ｏはβ−／ Ｍｉｌｌであること
を意味する。
ある。ｘ２−Ｘｌ ＝ｏはβ−／ Ｍｉｌｌであること
を意味する。
このことはまず■１が発生した時点には］、′がずでに
発生していることを意味するものであるから前記サンプ
リングパルスは１１のピーク発生以後にして良いことが
理解できる。
発生していることを意味するものであるから前記サンプ
リングパルスは１１のピーク発生以後にして良いことが
理解できる。
ＰＳＤＩの第１の端子側にテープ１のＴＬＡに原因する
光束が現れると第６図に示すように電流１１は急激に増
加し、光束がＸ方向に移動するにしたがって電流■１ば
次第に減少する。
光束が現れると第６図に示すように電流１１は急激に増
加し、光束がＸ方向に移動するにしたがって電流■１ば
次第に減少する。
サンプリング信号発生器５９はＰ Ｓ Ｉ） １の信号
の立上がり完了以降に第６図に示すサンプリングパルス
φＫを発生する。
の立上がり完了以降に第６図に示すサンプリングパルス
φＫを発生する。
このサンプリングパルスφＸにより加算器５８の出力Ｖ
ｏがサンプルボールド回路６ｏによりサンプルホールド
される。
ｏがサンプルボールド回路６ｏによりサンプルホールド
される。
この電圧Ｖｏは次のサンプリングパルスφＸが現れるま
で保持される。
で保持される。
次のサンプリングパルスφＸの発生を第２図を参照して
説明する。テープ１の孔Ｂが第２図のＡＯの示す位置に
達すると、ＰＳＤ ＩのＡｏ Ｉの示す位置、つまりＰ
ＳＤＩの第１の電極の近くに現れる。この近辺で次のサ
ンプリングパルスφＸが発生する。このときテープ１の
孔Ｃがｒ’ｓＤ２に現れており、次のＢとＣ間のピンチ
の測定結果のサンプルホールドが行われる。
説明する。テープ１の孔Ｂが第２図のＡＯの示す位置に
達すると、ＰＳＤ ＩのＡｏ Ｉの示す位置、つまりＰ
ＳＤＩの第１の電極の近くに現れる。この近辺で次のサ
ンプリングパルスφＸが発生する。このときテープ１の
孔Ｃがｒ’ｓＤ２に現れており、次のＢとＣ間のピンチ
の測定結果のサンプルホールドが行われる。
このサンプルホールド結果は図示しないΔＤ変換器によ
りディジタル変換され記憶装置に記憶される。
りディジタル変換され記憶装置に記憶される。
以上詳しく説明した実施例についてこの発明の範囲内で
種々の変形が可能である。
種々の変形が可能である。
前記孔はテープの移動方向に垂直な線に対して対象な形
状であるときはｎ１述した実施例と全く同し処理で測定
できるが、孔の形状が一定であれば、前記条件は必ずし
も不要である。この場合ＰＳＤの出力に基づく演算処理
の結果をその図形の重心の位置であると言うことを配慮
するごとによりピッチの測定が可能となる。
状であるときはｎ１述した実施例と全く同し処理で測定
できるが、孔の形状が一定であれば、前記条件は必ずし
も不要である。この場合ＰＳＤの出力に基づく演算処理
の結果をその図形の重心の位置であると言うことを配慮
するごとによりピッチの測定が可能となる。
（効果の説明）
本発明によるピッチ測定装置は以上のように構成されて
いるので、ＰＳＤの応答遅れを無視できる範囲内ではテ
ープ等の移動速度に全く依存しない測定が可能である。
いるので、ＰＳＤの応答遅れを無視できる範囲内ではテ
ープ等の移動速度に全く依存しない測定が可能である。
ＰＳＤの表面での光束の移動速度が１０ｍ／ｓｅｃのと
きに、±１％の精度で測定することができた。
きに、±１％の精度で測定することができた。
またハーフミラ−等の光分割器を用いることにより検出
部を小形にまとめることができる。
部を小形にまとめることができる。
第１図はこの実施例装置によるテープの孔間のピンチの
測定状態を示す略図である。 第２図は受光器の構成を示す略図である。 第３図は第２図に示したＰＳＤＩとＰＳＤ’２を光束の
移動方向に整列させて示した説明図である。 第４図はＰＳＤＩとＰ Ｓ ］） ２と座標の関係を示
す説明図である。 第５図はＰＳＤＩとＰ Ｓ ｌ） ２の出力を／１１１
算してピンチを演算する回路の実施例を示す回路図であ
る。 第６図は前記回路の動作を説明するための波形図である
。 １・・・テープ ２・・・投光器 ３・・・受光器 ３１・・・対物レンズ ３２・・・ハーフミラ− ＰＳ・ＤＩ、ＰＳＤ２・・・光の入射点の位置に関する
情報を出力することができる半導体センサ４・・・制御
回路 ５１．５３・・・減算器 ５２．５４・・・加算器 ５５．５６・・・割算器 ５７・・・減算器 ５８・・・加算器 ５９・・・ザンプリング信号発生器 ６０・・・ザンブルボールド回路 特許出願人 浜松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 （山
測定状態を示す略図である。 第２図は受光器の構成を示す略図である。 第３図は第２図に示したＰＳＤＩとＰＳＤ’２を光束の
移動方向に整列させて示した説明図である。 第４図はＰＳＤＩとＰ Ｓ ］） ２と座標の関係を示
す説明図である。 第５図はＰＳＤＩとＰ Ｓ ｌ） ２の出力を／１１１
算してピンチを演算する回路の実施例を示す回路図であ
る。 第６図は前記回路の動作を説明するための波形図である
。 １・・・テープ ２・・・投光器 ３・・・受光器 ３１・・・対物レンズ ３２・・・ハーフミラ− ＰＳ・ＤＩ、ＰＳＤ２・・・光の入射点の位置に関する
情報を出力することができる半導体センサ４・・・制御
回路 ５１．５３・・・減算器 ５２．５４・・・加算器 ５５．５６・・・割算器 ５７・・・減算器 ５８・・・加算器 ５９・・・ザンプリング信号発生器 ６０・・・ザンブルボールド回路 特許出願人 浜松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 （山
Claims (5)
- （１）移動する物体上に形成された連続する多数のマー
クに含まれる任意の第１のマークおよび続く第２のマー
クから入射する移動する２つの光束を一定の倍率で結像
させる光学系と、前記光学系を透過した光を分割する光
分割器と、前記光舅割器で分割された一方の光が結像す
る面の前記第１のマークから入射する光束の移動域に測
定面が配置されこの光束が入射した位置に関する情報を
出力することができる第１の半導体センナと、前記光分
割器で分割された他方の光が結像する面の前記第１のマ
ークから入射する光束の移動域に測定面が配置されこの
光束が入射した位置に関する情報を出力することができ
る前記第１の半導体センサと同じ特性を持つ第２の半導
体センタと、前記第１の半導体センサの出力から入射位
置を演算する第１の演算回路と、前記第２の半導体セン
サの出力から入射位置を？ｊｉ、Ｗ、する第２の演算回
路と、前記第１および第２の演算回路の出力を減浣する
減算回路と、前記第１または第２の半導体センサの出力
に同期して減算結果をザンブルポールトするサンプルボ
ール１−回路とから構成したピンチ測定装置。 - （２）前記移動する物体はテープ状であり、前記マーク
は前記テープの移動方向に沿って形成された多数の孔で
ある特許請求の範囲第１項記載のピンチ測定装置。 - （３）前記孔はテープの移りＪ方１ｉｉ４ ｔこ垂直な
線に対して対象な形状である特許請求の範囲第２項記載
のピンチ測定装置。 - （４） 前記マークに原因する光束はテープに対して前
記光学系の反対にある投光器か前記テープのｒしを照射
することにより形成される特許請求の範囲第２項記載の
ピンチ測定装置。 - （５）前記光分割器はハーフミラ−である特許請求の範
囲第１項記載のピンチ／Ｊｌ１１定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726983A JPS608704A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | ピツチ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11726983A JPS608704A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | ピツチ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608704A true JPS608704A (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=14707571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11726983A Pending JPS608704A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | ピツチ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608704A (ja) |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11726983A patent/JPS608704A/ja active Pending
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