JPS609200U - 中性粒子入射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は中性粒子入射装置の概略を示す断面図、第２図
はそれに採用される従来の中性化セルの平面図、第３図
は第２図のＡ−Ａ断面図、第４図は本考案の一実施例を
示す中性化セルの平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ断面
図、第６図は本考案の中性化セルと中性化セル磁気シー
ルドの組合せ概略断面図、第７図は第６図のＰ方向から
見た側面図である。 １・・・・・・イオン源、２−−−−−−イオンビーム
、３・・・・・・中性化セル、４・・・・・・偏向磁石
、５・・・・・・中性化されたビーム、６・・・・・・
プラズマ、７・・・・・・真空容器、８・・・・・・真
空容器、９・・・・・・中性化されなかったビーム、１
０・・・・・・ビームダンプ、３ａ・・・・・・中性化
セル板、３ｂ・・・・・・中性化セル板、３ｃ・・・・
・・冷却管、３ｄ・・・・・・冷却管、３ｅ・・・・・
・支持金具、３ｆ・・・・・・ボルト、３ｇ・・・・・
・マニホールド、３ｈ・・・・・・変形時の中性化セル
、１１・・・・・・イオン源接続フランジ、１２・・・
・・・中性化セル磁気シールド、１３・川・・スペーサ
ー、１４・・・・・・スペーサー。 第５　図 著２　拐 ＪＪ　　　　　　　但 ′″　−”　　　　１ｔ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. イオン源と、該イオン源から発射されたイオンビームを
   中性化する中性化セルと、該中性化セルをおおい外部磁
   場から遮蔽する中性化セル磁気シールドと、前記中性化
   セル、および中性化セル磁気シールドが入っている真空
   容器と、該真空容器に中性化セルと中性化セル磁気シー
   ルドを取付けるためのイオン源接続フランジとよりなり
   、前記イオン源接続フランジに片端部のみ固定されると
   ・共に、真空容器内で長さ方向に片持ち梁構造を有する
   中性粒子入射装置用中性化セルにおいて、前記中性化セ
   ルが固定されている反対方向の四隅に非磁性支持金具を
   設け、該非磁性支持金具の上に該非磁性支持金具間をス
   ペーサーで連絡し、かつ、中性化セルと中性化セル磁気
   シールド間を軸方向に移動可能にしたことを特徴とする
   中性粒子入射装置用中性化セル。