JPH0519930Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔分野の概要〕 本考案は電磁石の磁極部と真空箱とを一体化構
造とした、ビーム分析用電磁石、或いはビーム偏
向電磁石に係り、特に真空箱の役割も兼ねている
磁極部を、電磁石を分解せずに取り外し可能とし
た電磁石磁極部の構造に関するものである。

〔従来技術の内容と問題点〕

磁極部と真空箱が一体化した構造の電磁石は、
磁極部が真空箱の上下板を兼ねているので、真空
箱をはさみ込むタイプの電磁石に比べて磁極間隙
を小さくすることができる。

従つて、このような構造の電磁石は、電磁石が
置かれるスペースに制約があつたり、重量が制限
される場合等、電磁石の小型化を計る時に用いら
れる。しかし、長時間使用していくにつれて、真
空室内面に不要のガスが吸着し真空度が低下して
くるので、時々真空度を向上する目的で真空室を
200ないし300℃に加熱し、真空に引く所謂真空引
きを行なう必要があるが、従来この様な構造の電
磁石は、真空引きを行なうために電磁石を分解し
て磁極部を取り出さねばならず、真空引きの度に
電磁石の分解、組立を行なわねばならない欠点が
あつた。

〔考案の目的〕

本考案はこのような欠点を除去するため、電磁
石全体の分解を行なうことなく磁極部のみの取り
外しが可能になるようにしたもので、容易に真空
引きができる構造の電磁石を提供することを目的
とする。

〔考案の構成〕

本考案は容易に真空引きができるように、磁極
部のみの着脱が可能になるよう構成したもので、
磁極部の着脱部をはめ合い方式とし、またその位
置決めにピンを使用していることを特徴とする。

〔実施例〕

以下本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図に、磁極部と真空箱が一体化した構造の
電磁石の一例を示す。第１図ａはその平面図、ｂ
はＡ−Ａ部における断面図を示す。上下磁極は真
空箱の上下板に相当し、真空箱の側板は磁極部に
直接非磁性板の真空シール用ステンレス板４を溶
接により固定し内部を密封しており、上下の磁極
２と真空シール用ステンレス板４に囲まれた空間
は真空に引かれ、内部を原子ビームが走行する。
第２図は第１図Ｂ部の拡大図で上下磁極間には溶
接等の影響によつて、磁極間隙寸法が狂わないよ
う、例えばステンレスのSUS304で作つた非磁性
のスペーサ５を挿入し、また上下磁極間は真空シ
ール用非磁性板４を用い、板幅の両側は磁極に溶
接し真空室を形成している。非磁性板にはステン
レスのSUS304の板を使用している。さらに、磁
極部全体は、第３図に示すようテーパ、又は平行
構造のはめ合い方式となつており、第３図は第１
図に於ける磁極２の部分の端面を示す図であり、
磁極を含む真空室７はピン６を利用することによ
り磁極の位置決めができる構造としてある。ま
た、第４図は電磁石装置の側面から見た図である
が、側面側もピン６を用い電磁石を真空室に固定
する。従つてこのピン６を取り外し、電磁石本体
側を移動することにより真空を保持したまま、一
部の磁極部を取り付けた真空室を取り出し真空引
きを行なうことが可能となる。

尚、このような磁極部構造は、磁極が平行な構
造のものだけでなく、傾斜した構造の磁極にも適
用できる。

〔考案の効果〕

以上述べたごとく本考案によれば、電磁石全体
を分解せずに磁極部の一部を取り外すのみで、容
易に磁極部の上下面を真空室の一部に利用した電
磁石装置の真空引きを行なえる小型、軽量化した
ビーム分析用、或いはビーム偏向用電磁石が提供
できるようになつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、磁極部と真空箱が一体化した構造の
電磁石の一例を示す図で、ａは電磁石全体の平面
図、ｂはａのＡ−Ａ断面図である。第２図は、第
１図のＢ部の詳細を示す図。第３図は、分離可能
な磁極部（真空室）の着脱のしくみを示した図
で、第１図に於ける電磁石端面の図。第４図は、
分離可能な磁極部（真空室）を電磁石の磁極にピ
ンで取り付けた図。 １……コイル、２……磁極、３……フランジ、
４……真空シール用非磁性板、５……非磁性スペ
ーサ、６……ピン、７……磁極、真空シール用非
磁性板を含む真空室。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鉄芯・磁極・コイル・真空箱を具備し、上下磁
   極面が真空箱の一部を構成する構造のビーム用電
   磁石において、コイル間隙内で真空箱を兼ねる上
   下磁極面を構成する磁極部を、平行またはテーパ
   ー状の結合面として分離し、取り外し、取り付け
   可能な構造とした事を特徴とする電磁石装置。