JPS609358A - 半導体リニアモ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電気子又は界磁マグネットのいずれか一方を固
定子とし、他方を該固定子と相対的移動をなす移動子と
した半導体リニアモータに関する。

従来、この種の半導体リニアモータにあっては、移動子
の位置検知素子としてはホール素子やホールＩＣを電機
子コイルの数だけ設け、この位置検知素子によって駆動
用磁極である界磁マグネットのＮ、Ｓの磁イヘを検出し
、電機子コイルに所定方向の電流を通電することによっ
て、フレミングの左手の法則により移動子を所定方向に
駆動するようにしていた。

このような半導体リニアモーフは、電機子コイル１個に
つき１個の位置イλ知素子を用いなければならないため
、これらからは、例えば４木のリード線を必要とする。

電機ｒコイル群からなる電（；梵子が移動子の場合には
、当該リード線の数が少ないとはいえ、それでもリード
線の数は多い。しかし、電機子が固定子である場合には
、移動子の走・ｊ′７ 右方向に沿って多数の電機子コイルを配設しなければな
らず、リード線の配線等の処理がやっかいて、組の立て
に時間がかかり、量産に適さず、形成される半導体リニ
アモータが高価になる欠点がある。また電機子コイル１
個ｌどつき１個の位置検知素子が必要なため、電機子が
固定子となっている可動マグネット型半導体リニアモー
タにあっては非常に高価になる欠点がある。更にまた、
沢山のリード線が必要なことから、外観、が悪くなった
り、装置が大型化する欠点がある。

本発明は上記事情に基いてなされたもので、速度検出等
のために設けられる４Ｍエンコーダを利用し、該夫；フ
エンコーダの原点を利用することで、位置検知素子が不
要であるため安価に形成でき、また多数のリード線をな
くして外ｉａ７．のすっきりした半導体リニアモータを
容易に組み立゛Ｃられるようにして安価に量産できるよ
うにすることを目的と１７でなされたものである１、そ
のＥｌ！４の本発明の目的は、以下の説明で明らかとな
る。

かかる本発明の目的は、電椴を又は界ｆｙ４マグネット
のいずれか一方を固定子とし、他方を該固定子と相対的
移動をなす移動ｒとした゛１９ｊ′″！汁リニアモータ
において、ナＣ７エンコーダを設け、：；２λすニアエ
ンコーダの原点をさがし該原点１：？号位置から所定の
パルス数をカウントすることで、該）Ｊラント数に基づ
き所定の電機子・コイルに所定方向の電流を通電するこ
とで所定方向に（別ｊｉＩＩ子を移動するようにしたこ
とを特徴とする半導体リニアモータを提供することによ
って達成される。

以下図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。

第１図は、本発明の一実施例として示した可動マグネッ
）７Ｓシ半導体リニアモータ１の斜視図である。半導体
モータは、当然のことながら直流リニアモータで、パル
スリニアモータに比較して４１に力が大きく、効串良効
で、（ガー械的振動が著しく少ないという利点かある。

また炉＝；エンコーダを用いることで、低速から高速ま
で自由に回路膜Ｒ１できる。例えば、回路設計でパルス
リニアモータのようにステップ駆動できる。しかし、パ
ルスリニアモータと異なり、移動子を高速移動させても
脱工１．＋４現象を生じないという利点がある。更にま
た、４１１モ力リツプルは、推力リップル除去回路を使
用して除去することができ、移動子の型取を軽くでき、
設計仕様に基いて極めて小さいものも大きいものも容易
に形成でき、組み立や量産が容易で安価に形成でき、ま
たパルスリニアモータのような著しい桟械加丁精度が要
求されないという利点がある。

ここにおいて、第１図に示した半導体リニアモータ１は
、コアレスタイプのものを示しているので、コキングが
な（、またボイスコイル型リニアモータでないタイプの
ものとなっているので、当該ボイスコイル型リニアモー
タが磁気回路が複、ｉ″１１であるために移動ストロー
クの長いものが得られないものと異なり、簡ｔｉｔな磁
気回路で、移動ストロークの極めて長いものが得られる
惜造となっている。

また、この半導体リニアモータ１は、ホール累了−やホ
ールＩＣ等の位置検知素子が不要なために、このための
リード線がなく、ずつきりと外ｐμをなしている。２は
固定子で、３は該固定子２と相対的移動をなす移動子で
ある。固定子２は長板状の部材からなり、その上に移動
子乙の走行方向に沿って互いに重畳しないように等間隔
配設された電機子コイル４群からなるステータ電機子５
を設けている。各電機子コイル４の上面にはそれぞれ略
電機子コイル４の幅ぐ、らいの幅のあるプリント基板６
を、隣接する電機子コイル４の上面にずれて若干乗るよ
うに貼着等の手段で固設している。このプリント基板６
の上面又は下面には適宜な配線用導氾パターンが形成さ
れ、この；ｊ、’（電パターンに’ｆ！２　’＋’：’
Ａ子コイル４の端子が小口１付けされ、該導電パターン
を介してじ傳’Ｊ１回路に接続されている。移動子６は
１′（方面コ字状の部材からなり、この１ｌｉｊ１面部
には図示しないカイトローラが回動自在に支持され、固
定子２に設けた図示しないガイドレールに沿って移動」
−６がガイドされて？ｉ’ｉらかに直、ｔ、！ｉｌ走行
する。

移動子６の木体部ろａのｒ面には後記する４極の昇磁マ
グネットがｊｉｌ設され、ステータ電促７−５のプリン
ト基板６に面対向している。７は固定子２の一方の側面
部に延長形１１児したリニアスケール支持部、８はリニ
アエンコーダで、９はりニアエン＝Ｉ−タ８の？、”＋
成要素をなすリニアスケールテする。

リニアエンコーダ８としては、リニアインダクトシン、
磁気的リニアエンコーダ等ｆ・Ｒ々のものがあり、必要
に応じて適したものを用いれば良いが、この例では、光
学的エンコーダを用いている。光学的リニアエンコーダ
８にも種々のものがあり、反射検出型のものと透過検出
型のものがあり、ここでは透過検出型のものを用いてい
る。従って、リニアスケール９は、その長手方向に交互
等間；７５に細かなスリット状の透明部と不１４明部を
形成したものを用いている。かかるリニアスケール９と
しては、鉄板等の不透明用（イＡにプレス等の手段によ
りスリット状透孔を形成することて上記透明部と不透明
部を多数形成したものが知られているが、ここではガラ
ス等でできた長板状３ル明部材にコーティング等の手段
にてスリット状の不透明部（又は同様な機能を果たす反
射部でも良い）を形成することで上記透明部と不透明部
を形成したものを用いている。１０は移動子３の側面部
に固設されて、移動７−５と一体的に動く位１１″’Ｉ
、、　’、４．度検出２仁ｒ支持部材で、−に記すニア
スケール９の１丁ＩＧ１と対向する側面部１０ａ、ＩＤ
ｂを有するｌ’ｌｊｒ而コ字状面ものとなっている。１
１１．１１−２はＣＩ）Ｓ、フォトトランジスタ、フォ
トダイオード等の光電変換素子で、Ａ相、Ｂ相の２相の
信号を得るために長手方向に適宜間「４位置をずらぜて
上記側面部１０ａに設けている。光電変１９−素了１１
１゜１１−２は後記する図示しない発光素子からの点灯
光をリニアスケール９を介し−Ｃ受光することができる
ように、その受光面はリニアスケール９に向けＣいる。

尚、光電変換素γ１１−１．１１−２は、一体形成した
ものであっても良いことは言うＡ：でもない。」二記側
面部９１）には、−１−記光電変換素−ｒ−１１〜１．
ＩＬ−２それぞれにリニアスケール９を介して点灯光を
照射することができるように、」二記索子１１ｉ、１１
−２と対向して豆ランプ、が；光ダイオード等の２個の
発光素子（図示せず）を設けている。尚、発光素子は１
個としても良い。また、支持部材１０には、リニアスケ
ール９と同様にスリット状の透明部と不ｊλ明部を交互
に有する小さな図示しないインデックスが固設され、上
記リニアスケール９に対向している。

１２は上面にプリント基板６を有する電機子コイル４の
ユニットを第１図に示すように固定子２面に（％Ｈ：Ｊ
ｌ：、止め固定するための螺子で、６ａは上記螺子１２
等を押入するため等の理由で、プリント基板６に設けた
透孔である。１６は移動子原点信号位置復帰手段支持部
材、１４は」三ツ支持部材１６に支持固定された移動子
３を原点（これは、上記リニアエンコーダ８によって得
られる基挙信号位置点をいう）位置に引き戻すための移
ΦＩＩ子原点信号位置復帰手段で、その本体１５内には
移動子２を原点信号位置に復帰させるためのバネ？Ｆ　
ｐ：Ｈ’ｆｆが内蔵されている。１６はワイヤーで、そ
の−、Ｓｑａは移動子２に他端は上記図示しないバネ４
餌Ｘ’）に固定されている。１７は螺子である。第２図
は第１図の側縦断面図で、固定子２は、長板状のしんち
ゆ・５等の非磁性体１日の−Ｌ面に鉄板等の磁性体から
なるステータヨ〜り１９を固設してなる。移動子６は、
その外面部は非磁性体２０によって形成されその内面に
磁性体２１を螺子１７によって固定すると共に該磁性体
２１の内面に４イモの界磁マグネット２２を固定し７て
ステータ電Ｃ子５に面対向させている。２６は電機子フ
ィル４の枠内空胴部２４内に充填して固化したイ可脂（
第５ｒ゛１及び第６図をも参照）で、該同脂２３を上記
空圧・１部２４内に充填すると共にハブ２５をステーク
ヨーク１９に設けた螺子孔２６と一致さけて”ｌＩ！　
ｉｉ：Ｆ　ｔ／てなるっハブ２５の」−面にプリント、
’、”；　板６を固＋ｉｉ２することで、’ｉ”ｊ７　
Ｋ　！Ｊニアモータ川電電４ｉａ子コイルユニット２７
　全形成している。この重（；（子フィルユニット２７
を形成するに当っては、第３図以Ｆて説明する方法によ
るとよい。

第３図は゛１１専休リニアモータ用重（二；５子コイル
ユニット２７を形成するためのプリント基板６の下面図
で、このプリント基板６は上記したように略電機子コイ
ル４の幅と同じ幅となっており、その中心部に透孔６が
形成されている。プリント基板乙の下面にはエツチング
等により配線用導電パターン２Ｅｌ、２９が形成されて
いる。２８ａ、２８１）　、　２９　ａ　、　２９　ｂ
　ｌｅｔ半田部分で、半田部分２８ａには電機子コイル
４の巻始め端子を、半田部分２９Ｈには電機子コイル４
の巻終り端子を、半田部分２８ｂ、２９ｂにはそれぞれ
リード線３０゜第４図はハブ２５にプリント基板６を装
備したものの縦断面図を示している。ハブ２５には鍔２
５ａがあるので、上記導電パター７２８．２９を下面に
して鍔２５ａにプリント基板６を第４図に示すように係
合させることができる。

第５図は半導体リニアモータ用電機子コイルユニット２
７の下面図、第６図は第５図の縦断面図、第７図は第５
図の上面図である。

第４図のようにハブ２５にプリント基板６を装備させた
後、該基板６を下面にし、この面に第５図に示すように
、電機子コイル４を１−記基板６から少しはみでるよう
に上記基板乙の下面に貼着等の手段により固設する（第
５図、第７図）。

電機子コイル４の巻始め端子６２は半田部分２８ａに接
続し、電機子コイル４の図示しない巻終り端子は半ＩＴ
１部分２９ａに接続する。また半１０部分２８ｂ、２９
ｂにはそれぞれリード線３０．３１を接続する（第６図
）。しかる後、電機ｒ−コイル４の枠内空胴部２４内に
樹脂２６を充」眞し、これを固化することで、第５図乃
至第７図Ｃ示すような半導体リニアモータ川電機子コイ
ルユニット２７を容易に形成できる。この電４？１２子
フィルユニット２７から明らかなように、通常ホール素
子等の位１・゛〔検知素子のＩＪ　Ｉ　腺が少なくても
２本は必要なのであるが、これを不要にし、電源供給用
のり一ド１４ｉ５０．”＞１のみとしている。従って、
外征！がすっきりするし、又、釦、立工程の容易化が図
れる。尚、更に外観のすっきりしたもので且つ組（：）
能を采ず導電パターンをプリント基板６に形成しでおけ
ば良い。

第８図は電機子コイル４の斜視ト１で、この電機子コイ
ル４は推力に寄与、する導体部４ａと４ｂとの開角が後
記する界磁マグネット２２の磁極幅に略等しく巻回形成
された矩形枠状のものを用いている。導体部４ｃ、４ｄ
は推力に寄与しない導体部である。この電機子コイル４
はプリントパターンによって形成したものを用いても良
いことは言うまでもない。

第９図は半尋体すニアモータ用電機子コイルユニッ）　
２７２７７によってステータ電機子５を形成する場合の
説明図である。電機子コイルコーニット２７は、第１図
、第２図及び第９図に示すように。

界磁マグネット２２と相対的移動をなすように平面隣接
して配設されている。このようにしやすくするため等の
理由により、電機子コイル４を基板６の一方にずらせて
配設し、コイル４からはみ出る。このようにすることで
、所定の長さのステータ電機子５を容易に形成できる。

第１０図はＮ、Ｓの磁極を交互に有する４極の界磁マグ
ネット２２の斜視図で、該界磁マグネ・ソト２２は厚手
方向に着磁された長方形板状のＮ極の界磁マグネットセ
グメント２２ａとＳ極の界磁マグネットセグメント２２
ｂとを交互にＦ？！Ｆ　’Ｍ　Ｅ置して形成したものを
用いているが、一体形成したものを用いても良い。

第１１図は半導体リニアモータの通電制御回路のブロッ
ク図である。この第１１図の通電制御回路６６を説明す
るために第１２図以下の図面を参照しつつ説明する。

６６−１はリニアエンコーダ８から得られるＡ相信号出
力、６６−２はリニアエンコーダ８から／１．ｊられる
Ｂ相信号出力、６４は」二記出力３３　１゜６６−２か
らの信号を入力することで移動子２が左右いずれの方向
に動いているかを知るために波形を方向弁別する方向弁
別口ｆｆ１）−３５は方向弁別回路３４からのパルスを
分周する分周器、３６は分周器６５が所定のパルス数の
分周を行なうように分周器６５にデータを与える分周比
データ、」１記分周器３５−１　、　：６５−２　、　
５５−５　、　３５−４は界磁マグネット２２のＮ極２
２ａ又はＳ極２２ｂの磁極幅ＭＷだけカウントすると１
パルス出力するようになっている。上記方向弁別回路ろ
４の出力５８−１はそれぞれの分周器３５−１゜のアッ
プ端子３９ａに入力され、出力６８−２はダウン端子３
９ｂに入力されるようになっている。

分周器３５　１．・・・は電機子コイル４の数だけ設け
られるが、第１１図においては図面の都合上、４個のろ
描いている。次に第１１図の説明の都合上、第１２図及
び第１３図を説明すると、第１２図は界磁マグネット２
２と電（；ン子コイル４−１゜・・・、４−５との展開
図で、第１３図は屯（；１．ｉ子コイル４群の通電タイ
ミングチャートである３、この第１２図においては５個
の７ｒＬ４Ｑ　”Ｔコイル４７１　、・４−５しか描い
ていないが、電イ１ｊ−了一コイル４−１゜・・・は推
力に寄与する導体部４ａと４ｂとの開角が界磁マグネ′
ツト２２の磁極幅ＭＷと略々等しくなっていることがわ
かる。また電７０１、−ｆ−コイル４−１゜・・群は斤
いに重畳しない等間隔配置とｌｊっでいる。

−の電ｆｉ？＝　ｒ−コイル４　（例えば４−１）の推
力に寄与する導体部４ａから同段する他の電１戊子コイ
ル４（例えば４−２）の推力に寄与する導体部４ａまて
の距離（以下、電眠子コイルピッチという）をＣＰとす
ると、界磁マグネット２２が矢印Ａ方向へ移動していく
と、電機子コイル４−ｉ、４−２．４−５への通電タイ
ミングチャートはそれぞれ第１３図（ａ）、　［ｂ）、
　（ｃ）ノようニナル。ｌｉ　ノｒＵ　ｌｊ％　了’コ
イル４−４等についても同様の原理に基いて順次通電さ
れ、所定の１ｆｒ力を得、フｌ／　ミングの左手の法Ｉ
ｌｌに従って界磁マグネット２２を有する移動子６を矢
印Ａ方向に走行させる。このことにより、上記エンコー
ダ８からＡ相出力５６１．Ｂ相出力ろ６−２がＩｌ’ｐ
られる。尚、移動子２・は移動子原点信吟装置？ηＪ７
ｊ）　、、Ｔ、段１４によフて、常に予め設定されたり
ニアスケール９の原点信号１１′Ｌ置に後部しているの
び（第１図参照）、電’＋’；”Ｓ　１−コイル４−１
等には、所定方間の電流が通電されて矢印Ａ方向（第１
２図参照）の推力が得られ、界磁マグネット２２を矢印
Ａ方向に移動させることができる。

この結果、１−記したよう【こ分周器５５−１　、・・
・は界磁マグネット２２の磁極幅ＩＶＩ　Ｗだけカウン
トするたびにシフトレジスタ４０−１．・・・に１パル
ス出力する。４　ｌ　ａ　ｅ　４１　ｌ）；オゴエはそ
れぞれシフトレジスタ４０−１．・・・のアップ人力、
ダウン入力こ犬土ｚ士大力である。シフトレジスタ４０
−１．・−・は分周器３５−１．・・・の数と同数あり
、シフト１／ジスク４０−１．・・・の出力端子４２ａ
、４２ｂ・・・は電機子コイル４−１．４−２・・・の
敗と同数１４あるものとなっている。、４６−Ｌ、・・
・。

４６−４はそれぞれ分周器３５−Ａ、・・・、６５−１
、・・・はシフトレジスタ４０−１．・・・の初ＪｔＪ
ｌ　状ｅをプリセットするプリデータである。ここで、
第１２図で示すよう審こ、界磁マグネット２２が矢印Ａ
方向に推進してい（と、電機ｒ−コイに４−１゜・・・
は界磁マグネット２２のＮ極、Ｓｔ”ｉと交互に対応し
ていくことになる。ここに電４：″Ｓ、子コイル４−１
、・・・への通電は、界磁マグネット２２のＮ　ｔＴｊ
　。

Ｓ極対向状態によりてそれぞれ正方向通電、負方向通電
を行なう必要がある。各電機子コイル４−１、・・−へ
の通電時間幅は界磁マグネット２２の磁極幅である。電
機子コイル４−１．・・・は第１２図に示すように等間
隔に配置されているので、各電機子コイル４−１．・・
・への通電タイミングは第１３図に示すように相をずら
せて行なう必要がある。従来、この各’ｉ、ｉ子コイル
４−１　、・・・への通電タイミングを得るにはホール
素子等の位置検知素子を各コイルごとにｎＱ＋−Ｊでい
たが、上記したような欠点が生ずるので、本発明におい
ては位置検知素ｒを用いないで、エンコーグ８の人相、
Ｂ相の信号を用いて第１３図に示す各電機子コイル４−
１．・−・への通電タイミングをデジタル回路によって
めている。このために分周器３５１．・・。

シフトレジスタ４０−１．・・・を用いている。第１４
図（Ａ）、・・・、（Ｄ）はそれぞれシフトレジスタ４
０−１．・・・、４０〜４の出力波形図で、（ａｌはシ
フトレジスタ４０．−１　、・・・、４０−４の出力４
２−１の出力波形図、ｔｂｌは同じく出力４２−２の出
力波形図、（Ｃ１は同じく出力４２−６の出力波形図で
ある。第１４図（八、（Ｃ）・・は電（浅手コイル４−
１．・・・に正方向通電するための出力波形を示してお
り、第１４図（Ｔ３．　（１）ｌ・・・は電′４ブｌｉ
子コイル４−２．・・・に逆方向通電するための出力波
形を示している。これで、位置検知素子 ４−１．・・・に順次適した方向の電流がＪ１ｎ電され
る。

このように各電機子コイル４−１．・・に適した電流を
通電するためにオアゲート回路４６を設けている。オア
ゲート回路４６はオアゲー）４６１゜・・・群からなる
。上記したように、界磁マグネット２２が矢印Ａ方向に
推進していくと、例えば、電機子コイル４−１は順次Ｓ
ａ２２　ｂ　、　Ｎｔｒ’ｆｉ２２ａに対応する。この
対応関係によっで電４Ａｔ了・コイル４−１に正方向流
流又は負方向電流を通電する必要がある。例えば電機子
コイル４−１の一方の打ｒ力に寄与する導体部４１）が
界磁マグネット２２のＳ極２ｂに、他方の導体部４ａが
ＮｔＭに対応しているとき、正方向通電を、逆のときは
負方向；：ｎ電をするものとする。すると電機子コイル
４−１を考えると、この電機子コイル４〜１には、第５
図（Ａ、ｌに示すように正方向通電する時間は、磁極幅
ＭＷ幅で、このＭＷＷ時間通電した後、ＭＷ幅逆通電ず
（この時間にあっては逆方向通電する必要があるので第
１５図Ｂ）のような出力タイミング波形で行なう）、こ
の通電しないＭＷＷ時間経過後、また正方向通電を行う
ことになる。、負方向通電の場合にも同様に考えること
ができるので、第１５図Ｂ）のような出力波形を得る必
要がある。この第ｊ５ト４１（Ａ）、　（１３）の出力
波形を？ｑるためにオアゲー・−ト回路４６を設けてい
る。第１５Ｆ４（Ａ＋の波形をつくるために、極性切換
のための電（乙子コイル４−１を考えてるると、シフト
レジスタ４０−１の出力０ｉｉＦＪ−４２１とシフトレ
ジスタ４０−６の出力端子４２−１との出力信号を人力
してオアゲート４６−１でオアをとっている。同じく、
第１５図（Ｂｌの波形をつくるためには　シフトレジス
タ４〇−２の出力嵯ｊ子４２−１とシフトレジスタ４０
−４の出力端子４２−１との出力信号を入力してオアゲ
ー）４６−２でオアを通っている。上記オアマイナス人
力４８−２に入力され、この２つの人力波形？、こより
電（１′２子コイル４−１に正逆に通電すような電機子
コイル４−１の正逆通電波形が得られる。第」６図の通
電波形は第７図（ａ）示したものと同じである。電機子
コイル４−２．４〜６についても上記同様に考えていき
、電（４１を了コイル４−１２．４−．１５の正逆通電
波形を形成する。すると電機子コイル４−２は電機子コ
イル４−１からコイルピッチＣＰだけずれており、また
電機ｒコイル４−６は電機子コイル４−２からピッチＣ
Ｐだけずれているので、電機子コイル４−２．４−３の
正逆通電波形はそれぞれ電機子コイル４−１゜４−２か
らピッチＣＰだけずれて第１７図（ｂ）、　（ｃｌのよ
うに得られる。この第１７図ｔａ＋、　（ｂ）、　ｆｃ
）の正逆通電波形は第１３図の各電機子コイル４−１゜
・−・の通電タイミングチャートとまさに一致し、従っ
て、各電機子コイル４−１．・・・には位置検知素子が
なくても第１３図に示すタイミングで適宜通電され、移
動子（マグネット２２側）を所定方向源極性を切換える
ためのものである。５０１゜各型（；１翫子コイル４−
１．４−２．・・・に所定方向の対質を行なう一相分の
電（：ζｒ−コイル駆動回路である。５１はグランド端
子であるうこのように、」１記すニアモーク１において
停動子原点信号位置手段１４を設けているので、駆動当
初から原点が判明するので、原点を基準にエンコ〜り１
６号を分周できるので電機子コイル４−１．・−・には
適した位置で、位置検知素子がなくても正逆方向の通電
が行なえる。

尚、上記において移動ｒ原点信号位置手段１４がない場
合には、エンコーダ８のＺ信号を原点として利用すれば
良い。従って、移動子をパルスｆ７．　図７動しで、左
又は右方向（第１図において）に少しづつ動かすことで
、エンコーダ８のＺ信号をさがすことで容易に原点を定
めることができる。尚、エンコーダ８にＺ信号がないと
きには、他にリミットスイッヂ等原点決定スイッチを設
けておけばよい。また上記実施例のりニアモータは可動
マグネット型の場合を示したが、可動コ、イル型であっ
′Ｃも良いことは言うまでもなく、更に又、他の形は、
少；伊エンコーダを用い、この坂＝４エンコーダの原点
を検出することでパルス信阿を分周して適した位置で適
した方向の電流を通？ｒ＋、するようにしているので、
従来多数必要した位置検知素子が不要となるので安価に
形成でき、また多数のり−ＦＫ３’、（がなくなるので
外観のすっきりしたものとなり、容易に組立てら′Ｉ″
Ｌるので安価に量産できる効采がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例として示した可動マグネット
型半尋体リニアモータの斜視図、第２図は第１図の側根
断面図、第３図は電付」′−コイルユニットを形成する
だめのプリント基板のＦ面図、第４図はハブにプリント
基板を装置１ｉｉＩ　Ｌだものの縦断面図、第５図は半
導体リニアモーフ用’ｌｊ、に’！、イコイルユニット
の下面図、第６図は第５図の縦断面図、第７図は第５図
の」二面図、第８図は電機子・コイルの斜視図、第９図
（Ｊ半導体リニアモータ用型（幾重・コイルユニット群
によってステータ電機子を形成する１局舎の斜視図、第
１０図は４極の界磁マクネットの斜視図、第１Ｌ図は゛
ト導体リニアモータの；ｉｊＪ電制開制御回路ロック図
、第１２図は界磁マグネットと７（７ｆＱ　ｊ”−コイ
ル群との展開図、第１３図は各型（戊子コイルへの通電
タイミングチャート［１、第１４図（Ａ）〜（Ｉ））は
各シフトｌ／ジスタの出力波形図、第１５図＋Ａ）、　
＋１３＋はそれぞれＯＲゲートζこより得られる−の電
（１“Ｌ子コイルの正方向通電波形図。 負方向通電波形図、第１６図は第１５図（５）及びｆＢ
）の２つの入力波形により得られる−の環１ｆｉ子コイ
ルの正負方向通電波形図、第１７図は各電機子コイルの
正ｆ１方向通電波形タイミンク図である。 （符号の説明） １・・可動マグネット型半導体リニアモータ、２・・固
定子、３・・移動子、４−・電機子コイル、５・・ステ
ーク電機子、　６・・・プリント基板、７・・リニアス
ケール支持部、　８・・・リニアエンコーダ、９・・・
リニアスケール、１１−１゜１１−２　・光電変換素子
、１４−・（′！、動ｒ・原点信号位置復帰手段、１６
・・・ワイヤー、　２２・・界磁マクネット、　２７・
・・半導体リニアモータ用電機子コイルユニット、５６
−・半導体ＩＪニアモータの通電制御回路、５３−１・
−・インクリメンタルｔエンコーダから得られる人相信
号、３３−２・・・インクリメンタル−エンコーダから
得られるＢ特許出願人 高　僑　義　照ら鍛 Ｉ！ＩＰＪ１５図（Ａ） 第１５図（Ｂ） 第１６図 第１７図 （Ｃ）□ 手絖補正書（自発） 昭オロ５８年ｒ月２２日 １、事件の表示 昭和５８年６月２７日提出の特許劇（１）１１ｉ昭ｓｓ
−／／＜ｔｔｐＥ　号 ２、＠明の名称 半導体リニアモータ ３、補正をする者 ４、　補正の対酸 明＋ＴＪ　％ｆの「発明の詳細な説明」の植；６及び回
向 ５、補正のＩＦ５容 （１）明細書第５典第５行「半導体」の稜に「リニア」
ｔ″挿入る。 （２１同第６頁第１０行「すっきりと」の後にｒした」
忙挿入する。 ′３）同第７頁Ｊ１７行「光学的」の後に「リニア」を
挿入する。 （４）　同４９頁第５行ｒ９ｂＪｔｒｌｌｂＪに訂正す
る。 （５）　ｌ’ｉｌ第１５員第５行及びｆＪＪ１７頁ｉ目
４行１”移幼子２Ｊｋ：ｒｇ動子６」に訂正する。 （６）同書第２０貞第１２行ｒ２ｂ」・とｒ２２ｂＪに
訂正する。 ｌグ）同書第２０貞第１５行「ｊル５図Ｊ　−、ｃ　Ｉ
ｔ’　ｉｒル１５図」に訂正する。 ）　同８８ｇ２２頁ｉｇ２行「！ｄ７図」τ「梢１７図
１に訂正する。 （９）　＋゛杓肉面第１１因別紙のとおり訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電機子又は界磁マグネットのいずれか一方を固定子
   とし、他方を該固定子と相対的移動をなす移動子とした
   半導体リニアモータにおいて、町；了エンコーダを設け
   、該力ニエエンコーダの原点をさがし、該原点信号位置
   から所定のパルス数をカウントすることによって、該カ
   ウント数に基づき所定の電機子フィルに所定方向の電流
   を通電することで所定方向に移動子を移動するようにし
   たことを特徴とする半導体リニアモータ。 ２、上記界磁マグネットはＮ、Ｓの磁極を有するｐ（ｐ
   は７以上の正の整数）極からなり、上記電機子は推力に
   寄与する導体部の開角が上記界磁マグネットの磁極幅と
   略等しく形成された電機子コイルＩ’ｒからなることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導体リニアモ
   ータ。 ３、上記電機子コイル群は等間隔配置であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の半導体リ
   ニアモータ。 ４、上記電機子はコアレスであることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項乃至第３項いずれかに記載の半導体リ
   ニアモータ。 ５　上記半導体リニアモータは移動子を原点信号位置に
   復帰させる手段を具備してなるものであることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項乃至第５項いずれかに記載の
   半導体リニアモータ。