JPS6093641A - テ−プ製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はテープに金属蒸気を蒸着するテープ製造方法
に関する。

〔従来技術〕

従来のテープ製造装置を第１図に示す。図において、＋
１１は真空容器、（２１は送出しローラ、（３）〜１ｅ
ｌＩ／ｉガイドローラ、ｉｌｌ　（８）は張力調整ロー
ラ、＋９１　Ｆｉ蒸着ローラ、叫は巻取シローラ、ｕ＋
１は噴出孔（ｌｌａ）を何するるっは、α匂は噴出孔（
ｌｌａ）から噴出した金属蒸気、　ＤＩは静電除去装置
、θ荀はテープである・ 次に動作ｔ−説明する。第１図において、送出しローラ
（２）に巻かれている素材テープ（９）全蒸着ローラ（
９）を経由して巻取シローラ（１ｏ）に巻き取る。

この場合、真空容器ｉｌｌ内を真空にした状態で、るつ
は（１１）の温度を上げてるつぼ（１す内部の金属を溶
かして、噴出孔（ｌｌａ）から金属蒸気（１２１をテー
プ（９１に向けて噴射させる。クラスターイオンビーム
の場合には、金属蒸気？イオン化して加速することによ
って、蒸着膜の付着性を向上さぜる。金属蒸気Ｑりが蒸
着された磁気テープは巻取シローラｔｌｏｌ　Ｉｃ巻き
収られる。

このように、巻取シローラが回転するように構成されて
いるので、装置全体が大きくなるという欠点があった＠ 〔発明の概要〕 この発明は、熱伝導率の高い冷却体の曲面部をテープが
滑動するようにしたことによって、装置の小型化が図れ
るテープ製造方法を提供する。

〔発明の実施例〕

以下、図について説明する。第２図におｈて、＋Ｉｌ　
〜（８１、ｔｌｏｌ　〜ＩＪ４１は従来と同ｔｉテある
ｏｔ１５１Ｈ所定の曲率を何する冷却体で、テープＱ４
１が滑動可能な曲面部（１５ａ）を有する。

次に動作を説明する。第２図において、真空容器１１】
内金真空状態にして、噴射孔（ｌｌａ）から金属蒸気ｕ
２Ｊを噴出させる。巻取りローラ（１０）でテープ−を
巻き駅って、テープθ尋が曲面部（１５ａ）を滑動する
ように移動させる。この場合、冷却体０５１内に冷却液
を流通させて、テープＩを冷却させる。

〔発明の効果〕

この発明によると、冷却体の曲面部をテープが滑動する
ようにしたので、冷却体の小形化を図れる。

【図面の簡単な説明】

オ五図は従来のテープ製造装置を示す構成図、第２図は
この発明の一実施例による。構成図であ口０図において
、１１１は真空容器、（１１）はるつｔＬａ２は金属蒸
気、Ｉはテープ、μ６）は冷却体、（１５ａ）は曲面部
である。 なお各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　大暑　増雄 第１図 第２図 第１頁の続き ０発　明　者　出画　健一部　尼崎市塚口本町器研究所
内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｆｉｌ　真空中で金属蒸気をイオン化してテープに蒸着
   するテープ製造方法において、熱伝導率の高い冷却体に
   所定の曲率の曲面部を形成し、上記テープを上記曲面部
   を滑動させながら、上記テープに上記金属蒸気を蒸着さ
   せるテープ製造方法。 （２）　曲面部は円弧状であることを特徴とする特許請
   求の範囲オ１項記載のテープ製造方法。