JPS6094247A - 静電チヤツク - Google Patents
静電チヤツクInfo
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- JPS6094247A JPS6094247A JP20423983A JP20423983A JPS6094247A JP S6094247 A JPS6094247 A JP S6094247A JP 20423983 A JP20423983 A JP 20423983A JP 20423983 A JP20423983 A JP 20423983A JP S6094247 A JPS6094247 A JP S6094247A
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrostatic chuck
- wafer
- chuck
- dielectric
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業」二の利１１１分野〕
本発明は、静電チャックに係り、特に半導体ウェハのよ
うな自然状態において反っていることのある被チャック
物（以下ウェハとして説明する）を平坦などの所定形状
に矯正し７て支持固定するための静電チャックに関する
ものである。
うな自然状態において反っていることのある被チャック
物（以下ウェハとして説明する）を平坦などの所定形状
に矯正し７て支持固定するための静電チャックに関する
ものである。
従来、この種の静電チャックは、−第１図に示すように
、平板状の電極１の表面に、絶縁物からなる薄板ないし
は膜状の誘電体２を刺着さぜ、この誘電体２の表面（以
下チャック面という〕に置かれたウェハ３と電極１との
間に直流電源４を接続して両者の間に生ずる電位差にか
り吸引力を生じさせて、該ウェハ３をチャック面に密着
固定させるようになっていた。この静電チャックの吸引
力ｆは、下式で表わされる。
、平板状の電極１の表面に、絶縁物からなる薄板ないし
は膜状の誘電体２を刺着さぜ、この誘電体２の表面（以
下チャック面という〕に置かれたウェハ３と電極１との
間に直流電源４を接続して両者の間に生ずる電位差にか
り吸引力を生じさせて、該ウェハ３をチャック面に密着
固定させるようになっていた。この静電チャックの吸引
力ｆは、下式で表わされる。
たたし、Ｋは定数、ｎは誘電体２の誘電率、■は電極１
とウェハ３の間の電位差、ａ（は誘電体２の厚さ、ｌ）
は誘電体２とウェハ３の間のすき間である。
とウェハ３の間の電位差、ａ（は誘電体２の厚さ、ｌ）
は誘電体２とウェハ３の間のすき間である。
上式から明りつかなように吸引力は、電極Ｉとウェハ３
との間のすき間１）が小さいところほど大きくなる。そ
こで、第２図に示すようにウエノ・３′が中火より外方
が高くなるように反っている場合（佳問題ないが、第１
図に示す」：うに、中央が高くなるように反っている場
合には、周囲がチャック面に接触もしくＵ接近している
ためにより強い吸引力を受け、この周囲部分が先に吸引
固定されてし寸う。ウェノ・３の中火部（佳、その後、
吸引力によってチャック面に密着されようとするが、こ
の中央部が下降してチャック面に密着するために（は、
周囲部分が外方へすべＦ、）ｆＪ： ＜てにならない。
との間のすき間１）が小さいところほど大きくなる。そ
こで、第２図に示すようにウエノ・３′が中火より外方
が高くなるように反っている場合（佳問題ないが、第１
図に示す」：うに、中央が高くなるように反っている場
合には、周囲がチャック面に接触もしくＵ接近している
ためにより強い吸引力を受け、この周囲部分が先に吸引
固定されてし寸う。ウェノ・３の中火部（佳、その後、
吸引力によってチャック面に密着されようとするが、こ
の中央部が下降してチャック面に密着するために（は、
周囲部分が外方へすべＦ、）ｆＪ： ＜てにならない。
ところが、この周囲部分ｉｔ １）ｉｌ Ｒ＋２のよう
にすでにチャック面に密着１．でより強い吸引力を受け
ているため、すべることができす、したがってウニ／・
３の中央部をチャック面へ密着させることができず、ウ
ェハ３の反りを完全に矯庄することができない。本願発
明者の実験によれば、前記のように中央が高いウェハ３
の場合には、第３図に示すように、電極１′をウェハ３
の中央部にのみ対向するように小さくすると、ウェハ３
の反りを除去してより完全に矯正した状態でチャックで
きること全確認したが、このような静電チャック（は、
第４図に示すように、外方が高くなるように反っている
ウェハ３′の反りを矯正することはできない。なお、第
３図および第４図において、４は基板である。
にすでにチャック面に密着１．でより強い吸引力を受け
ているため、すべることができす、したがってウニ／・
３の中央部をチャック面へ密着させることができず、ウ
ェハ３の反りを完全に矯庄することができない。本願発
明者の実験によれば、前記のように中央が高いウェハ３
の場合には、第３図に示すように、電極１′をウェハ３
の中央部にのみ対向するように小さくすると、ウェハ３
の反りを除去してより完全に矯正した状態でチャックで
きること全確認したが、このような静電チャック（は、
第４図に示すように、外方が高くなるように反っている
ウェハ３′の反りを矯正することはできない。なお、第
３図および第４図において、４は基板である。
本発明の目的は、前述したような欠点を除去し、ウェハ
などの被チャック物が自然状態において前記のようにい
ずれの方向に反っていても該反りをより完全に矯正して
支持固定することのできる静電チャックを提供するにあ
る。
などの被チャック物が自然状態において前記のようにい
ずれの方向に反っていても該反りをより完全に矯正して
支持固定することのできる静電チャックを提供するにあ
る。
かかる目的を達成するための本発明（は、電極を被チャ
ック物に対向するチャック面の全面に及ぶように設ける
のではなく、該チャック面に沿った面内で部分的に電極
が存在しない空白部を適宜な割合で分散配置させたもの
であり、このような電極形態にすると外方が高く反って
いる場合はもちろん中央が高くなるように反っている場
合でもか−反りをより完全に矯正できる。
ック物に対向するチャック面の全面に及ぶように設ける
のではなく、該チャック面に沿った面内で部分的に電極
が存在しない空白部を適宜な割合で分散配置させたもの
であり、このような電極形態にすると外方が高く反って
いる場合はもちろん中央が高くなるように反っている場
合でもか−反りをより完全に矯正できる。
以下本発明の一実施例を示す第５図ないし第６図につい
て説明する。第５図（１電極ＩＩの形状を示すもので、
中火の円形部＋＋ａとそれ全同上・円状に囲む２つのリ
ング部１１ｂ、ＩＩｃおよびそれらを互いに連結する連
結部＋１ｄとからなっており、このようなパター７にな
された電極ＩＩが第６図に示すようにセラミック製の基
板１４の表面に４７１着されている。電極１１の−にに
はガラス板からなる誘電体１２が接着法によって貼付け
１）れている。なお、ｌ ｂ ｉｃＶ’ｌ［４’、極１
１への給電用のｌ）−ド線である（、） １ｉｉＪ記′
１（Ｌイ命１１の夕１径１） ＬＫ ｌ ２０＋？１ｍ
、中央の円形部１し１の直径ｃ１は３０箇とし、リン
グ状電１Ｎ’（ｌ Ｉｌ］、１１ ｔ： ：Ｆ、・よび
これらに隣接する空白部Ａの幅ｔ（第５図参照）はそれ
ぞれ等しい値に配分さｈている。
て説明する。第５図（１電極ＩＩの形状を示すもので、
中火の円形部＋＋ａとそれ全同上・円状に囲む２つのリ
ング部１１ｂ、ＩＩｃおよびそれらを互いに連結する連
結部＋１ｄとからなっており、このようなパター７にな
された電極ＩＩが第６図に示すようにセラミック製の基
板１４の表面に４７１着されている。電極１１の−にに
はガラス板からなる誘電体１２が接着法によって貼付け
１）れている。なお、ｌ ｂ ｉｃＶ’ｌ［４’、極１
１への給電用のｌ）−ド線である（、） １ｉｉＪ記′
１（Ｌイ命１１の夕１径１） ＬＫ ｌ ２０＋？１ｍ
、中央の円形部１し１の直径ｃ１は３０箇とし、リン
グ状電１Ｎ’（ｌ Ｉｌ］、１１ ｔ： ：Ｆ、・よび
これらに隣接する空白部Ａの幅ｔ（第５図参照）はそれ
ぞれ等しい値に配分さｈている。
前記のように構成されている静電チャックの誘電体１２
０表面すなわちチャック面に直径が１２５胴のウェハ１
３を載置し、電極（１とウェハＩ３との間に４００Ｖの
電位差を与えた。その結果、自然状態において約３０μ
ｍ中央が高くなるように反っていたウェハ１３は高低差
が約５μｍまで減少し、十分に反りが矯正されているこ
とが確認できた。なお、第１図に示すように、電極Ｉが
チャック面の全面に及んでいる静電チャックの場合には
高低差が約１５μｍであった。
０表面すなわちチャック面に直径が１２５胴のウェハ１
３を載置し、電極（１とウェハＩ３との間に４００Ｖの
電位差を与えた。その結果、自然状態において約３０μ
ｍ中央が高くなるように反っていたウェハ１３は高低差
が約５μｍまで減少し、十分に反りが矯正されているこ
とが確認できた。なお、第１図に示すように、電極Ｉが
チャック面の全面に及んでいる静電チャックの場合には
高低差が約１５μｍであった。
また、本発明の静電チャックによれば、第６図に示した
ウェハ１３と逆に反っているウェハｉｔより容易に反り
全矯正することができることは言うまでもない。
ウェハ１３と逆に反っているウェハｉｔより容易に反り
全矯正することができることは言うまでもない。
第７図ないし第９図は、電極パターンのそれぞ７’Ｌ異
なる例を／」＜すもので、第７図（−ｉ連結部を持た示
し、第８図および第９図は中火から放射状に伸びる複数
の突起３１ａ寸たは４１ａからなる電極３１と４１を示
している。
なる例を／」＜すもので、第７図（−ｉ連結部を持た示
し、第８図および第９図は中火から放射状に伸びる複数
の突起３１ａ寸たは４１ａからなる電極３１と４１を示
している。
なお、前述したような電極パターンは、電極が中央で密
ノ及がｌ’ｉ ＜ 、周辺部で低くなる（第９図参照）
ように形成すノしに１、中央が高いウェノ・の反り矯正
がより確つノＬにできる。
ノ及がｌ’ｉ ＜ 、周辺部で低くなる（第９図参照）
ように形成すノしに１、中央が高いウェノ・の反り矯正
がより確つノＬにできる。
以」二述べたように本発明によれば、チャック面に沿っ
た面内て部分的に空白部を有するように電極パター７を
・形成することにより、外方が高くなるように反っｌζ
ウェノ・などの被チャック物と中央が高くなるように反
ったＸ被チャック物との両方の反りをより完全に矯正し
て支持固定することができる。
た面内て部分的に空白部を有するように電極パター７を
・形成することにより、外方が高くなるように反っｌζ
ウェノ・などの被チャック物と中央が高くなるように反
ったＸ被チャック物との両方の反りをより完全に矯正し
て支持固定することができる。
第１図および第２図は従来の静電チャックとそれに対す
る被チャック物との関係を示す概要断面図、第３図およ
び第４図は実験に用いた静電チャックとそれに対する被
チャック物との関係を示す概要断面図、第５図は本発明
による静電チャックの電極パターンの一例を示す平面図
、第６図Ｉ−１第５図のＶＩ−ＶＩ線による静電チャッ
クとそれに対する被チャック物の関係を示す概要断面図
、第７図ないし第９図は本発明による静電チャックのそ
れぞれ異なる電極パターンの例を示す平面図である。 １ 、ｌ １．２＋ 、３１．４１・・・電極、２．１
２・・・誘電体、 ３．３’、１３・・・被チャック物
、４．１４・・・基板、１５・・リード線。 出願人 東芝機械株式会社 第１区 才２図 才５図 矛７図 才８図 才９図 手 続 捕 正 １ １、事件の表示 昭和５８年特許願第２０４２３９号 乙発明の名称 静電チャック ３、補正をする者 特許出願人 〒１０４ 住 所 東全部中央区銀座４丁目２蚕１１号４、補正の
対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ｂ 補正の内容 １）［り１細書第２頁下から４行
る被チャック物との関係を示す概要断面図、第３図およ
び第４図は実験に用いた静電チャックとそれに対する被
チャック物との関係を示す概要断面図、第５図は本発明
による静電チャックの電極パターンの一例を示す平面図
、第６図Ｉ−１第５図のＶＩ−ＶＩ線による静電チャッ
クとそれに対する被チャック物の関係を示す概要断面図
、第７図ないし第９図は本発明による静電チャックのそ
れぞれ異なる電極パターンの例を示す平面図である。 １ 、ｌ １．２＋ 、３１．４１・・・電極、２．１
２・・・誘電体、 ３．３’、１３・・・被チャック物
、４．１４・・・基板、１５・・リード線。 出願人 東芝機械株式会社 第１区 才２図 才５図 矛７図 才８図 才９図 手 続 捕 正 １ １、事件の表示 昭和５８年特許願第２０４２３９号 乙発明の名称 静電チャック ３、補正をする者 特許出願人 〒１０４ 住 所 東全部中央区銀座４丁目２蚕１１号４、補正の
対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ｂ 補正の内容 １）［り１細書第２頁下から４行
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 絶縁物で形成さ７Ｌａ面に被チャック物を吸着する
誘電体と、同誘電体の裏面側に配置された電極とからな
る静電チャックにおいて、前記電極をチャック面に沿っ
／こ面内で部分的に空白部を有するように形成し７たと
と’：ｘ ’ｌ”ｆ徴とする静電チャック。 ２、電４１計がリングを含む略同心円状の、Ｃターンに
形成されている市１；′１品求の範囲第１項記載の静電
チャック０ ３、電極が略放射状に伸びる複数の突起からなるパター
ンに形成さ７Ｌでいる特許請求の範囲第１項記載の静電
チャック。 ４、電極が中火部で密ＩＷが高く周辺部で低くなるよう
に形成さ）１ている特ｉｔ’ｌ請求の範囲第１，２また
（は３項記載の静電チャック。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204239A JPH0615130B2 (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 静電チヤツク |
| US06/664,408 US4692836A (en) | 1983-10-31 | 1984-10-24 | Electrostatic chucks |
| DE19843439371 DE3439371A1 (de) | 1983-10-31 | 1984-10-27 | Elektrostatische aufspannvorrichtung |
| FR848416701A FR2554288B1 (fr) | 1983-10-31 | 1984-10-31 | Mandrins electrostatiques |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204239A JPH0615130B2 (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 静電チヤツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094247A true JPS6094247A (ja) | 1985-05-27 |
| JPH0615130B2 JPH0615130B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16487148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204239A Expired - Lifetime JPH0615130B2 (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 静電チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615130B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015515123A (ja) * | 2012-02-29 | 2015-05-21 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 静電クランプ |
| JP2022136872A (ja) * | 2021-03-08 | 2022-09-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板支持器 |
| EP4227984A4 (en) * | 2020-10-12 | 2024-04-10 | Raycer Advanced Materials Technology Co., Ltd. | PATTERN STRUCTURE OF ELECTROSTATIC CHUCK ELECTRODE HAVING CONCENTRIC CIRCLE STRUCTURE |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57161241U (ja) * | 1981-04-03 | 1982-10-09 | ||
| JPS6013740U (ja) * | 1983-07-06 | 1985-01-30 | 日本電子株式会社 | 試料保持装置 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP58204239A patent/JPH0615130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57161241U (ja) * | 1981-04-03 | 1982-10-09 | ||
| JPS6013740U (ja) * | 1983-07-06 | 1985-01-30 | 日本電子株式会社 | 試料保持装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015515123A (ja) * | 2012-02-29 | 2015-05-21 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 静電クランプ |
| EP4227984A4 (en) * | 2020-10-12 | 2024-04-10 | Raycer Advanced Materials Technology Co., Ltd. | PATTERN STRUCTURE OF ELECTROSTATIC CHUCK ELECTRODE HAVING CONCENTRIC CIRCLE STRUCTURE |
| US12224197B2 (en) | 2020-10-12 | 2025-02-11 | Raycer Advanced Materials Technology Co., Ltd | Electrode pattern structure of concentric-circular-structured electrostatic chuck |
| JP2022136872A (ja) * | 2021-03-08 | 2022-09-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板支持器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615130B2 (ja) | 1994-03-02 |
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