JPS6096820U - 気相成長用ノズル - Google Patents
気相成長用ノズルInfo
- Publication number
- JPS6096820U JPS6096820U JP1983189542U JP18954283U JPS6096820U JP S6096820 U JPS6096820 U JP S6096820U JP 1983189542 U JP1983189542 U JP 1983189542U JP 18954283 U JP18954283 U JP 18954283U JP S6096820 U JPS6096820 U JP S6096820U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- nozzle
- growth nozzle
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は縦形気相成長装置に従来ノズルを適用した場合
の断面図、第２図ａ、 ｂはそれぞれ従来ノズルの正面
図及びその■−■線断面図、第３図ａ、 ｂはそれぞれ
本考案ノズルの第１実施例の正面図及びその■−■線断
面図、第４図ａ、 ｂはそれぞれ第２実施例の正面図及
びそのＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図ａ、 ｂはそれぞれ
第３実施例の正面図及びその■−■線断面図である。 １・・・ウェーハ、２・・・サセプタ、３・・・ワーク
コイル、４ａ〜４ｃ・・・本考案ノズル、５・・・反応
室、７・・・スリット、８・・・支柱、９・・・ツバ、
１ｏ・・・垂直支柱、１１・・・被い板、１２・・・水
平支柱。 寡３副 箋ｑ 目 箋■
の断面図、第２図ａ、 ｂはそれぞれ従来ノズルの正面
図及びその■−■線断面図、第３図ａ、 ｂはそれぞれ
本考案ノズルの第１実施例の正面図及びその■−■線断
面図、第４図ａ、 ｂはそれぞれ第２実施例の正面図及
びそのＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図ａ、 ｂはそれぞれ
第３実施例の正面図及びその■−■線断面図である。 １・・・ウェーハ、２・・・サセプタ、３・・・ワーク
コイル、４ａ〜４ｃ・・・本考案ノズル、５・・・反応
室、７・・・スリット、８・・・支柱、９・・・ツバ、
１ｏ・・・垂直支柱、１１・・・被い板、１２・・・水
平支柱。 寡３副 箋ｑ 目 箋■
Claims (1)
- 気相成長用ノズルより原料ガスを反応室内に供給し、反
応室内のサセプタ上に置かれて加熱された半導体ウェー
ハ表面に気相成長膜を生成する装置において、前記気相
成長用ノズルを、被い板を有する筒部分をノズル先端部
とする複数の筒部分と、隣接する筒部分間にスリットを
形成するべ（各筒部分間を連接する複数本の支柱とより
構成した気相成長用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983189542U JPS6096820U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 気相成長用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983189542U JPS6096820U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 気相成長用ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6096820U true JPS6096820U (ja) | 1985-07-02 |
Family
ID=30408631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983189542U Pending JPS6096820U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 気相成長用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6096820U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62171113A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 縦型ｃｖｄ装置 |
-
1983
- 1983-12-07 JP JP1983189542U patent/JPS6096820U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62171113A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 縦型ｃｖｄ装置 |
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