JPS609828A - レ−ザ硬化方法及び装置 - Google Patents

レ−ザ硬化方法及び装置

Info

Publication number
JPS609828A
JPS609828A JP59085054A JP8505484A JPS609828A JP S609828 A JPS609828 A JP S609828A JP 59085054 A JP59085054 A JP 59085054A JP 8505484 A JP8505484 A JP 8505484A JP S609828 A JPS609828 A JP S609828A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
optical path
laser
cured
gear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59085054A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0124202B2 (ja
Inventor
ギヤリイ・エフ・ベネデイクト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Garrett Corp
Original Assignee
Garrett Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Garrett Corp filed Critical Garrett Corp
Publication of JPS609828A publication Critical patent/JPS609828A/ja
Publication of JPH0124202B2 publication Critical patent/JPH0124202B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06Surface hardening
    • C21D1/09Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0604Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
    • B23K26/0619Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams with spots located on opposed surfaces of the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067Dividing the beam into multiple beams, e.g. multi-focusing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/32Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for gear wheels, worm wheels, or the like
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/02Iron or ferrous alloys
    • B23K2103/04Steel or steel alloys

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Heat Treatment Of Articles (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザ硬化方法および装置に関する。
一般に航空機用の平歯車等の高品質の鋼製品にあっては
消耗を最小限にし耐久性を持たせるため他の歯車との接
触面を硬化する必要がある。一方、歯車の内部は衝撃を
受けて破損しないよう非硬化状態に置く必要がある。高
品質の歯車の製造には歯車の歯部の外形並びに歯高を損
わす且適切な硬度を与えるように浸炭、硬化若しくは誘
導硬化のいずれかの構成がとられる。
浸炭は炉中に低炭素鋼の部品を入れ炭素物質と接しせし
めて加熱することにより表層に炭素を浸入させるもので
あり、炭素は低炭素鋼の表面から内部に拡散し部品の表
層が高炭素鋼に変換される。
表層が高炭素鋼に変化した部品を次に炉より取り出して
冷却し、変換点以上の高温で迅速に熱処理して焼き入れ
をすることにより高炭素鋼表層をマルテンサイトを含む
硬質の層とすると共に、中心部は低炭素に維持して充分
な耐衝性を持たせる。
この場合加熱された部品に対しては周知の如く気体や液
体による急速冷却が必要であった。
また浸炭においては、硬化対象部分以外を硬化しないよ
うに部分的にマスキングする必要があり且このマスキン
グを化学的に除去する要があった。
更に焼き入れ工程において部品(二歪みが生じ、これを
矯正するため最終的に研磨処理が必要となり、特に極め
て高品質で製造公差の許容度が厳しい航空機用歯車では
高精度に研磨処理する必要があった。更にこの種の高品
質の歯車の製造時に+3焼き入れ作業時の歪みを最小限
にするために焼き入れダイスが用いられる。即ち歯車が
、これを完全に固定し得る焼き入れダイスに入れられて
変換点以上の温度で加熱される。これにより焼き入れ作
業が行なわれた後歯車は焼き入れダイスから取り出され
ることになる。
従って、浸炭による硬化方法はエネルギー消費量が大で
作業が煩雛である上、極めてコスト高になっていた。ま
た浸炭には作業に長時間を要する(9) 上、炉、各種の部品に適合させ得る多様の焼き入れダイ
ス、マスキング装置並びに研磨装置の如き別途の製造設
備が必要であり、多様な欠点を伴っていた。
浸炭に代わる硬化構成として誘導硬化が挙げられ、この
誘導硬化においては部品が交流電流の通電するコイル内
に置かれる。電磁誘導により部品内において急速に熱が
発生し硬化が生じ、この硬化層の厚さはコイル内の電流
の周波数により調節され得る。且部品は焼き入れされる
が誘導硬化において既に部品に歪みが生じ最終的に研磨
処理が必要となり、従って誘導硬化にあっても作業に長
時間を要する上、コスト高になっていた。
一方工業用のレーザの独特の特性を利用して鋼材等の部
品の表面の急速硬化を図ることができる。
レーザ光線が当てられる表面には前処理として吸収性の
被覆が施されレーザ光線により硬化される部品内部の熱
エネルギーの伝達が促進せしめられる。部品表面の急速
加熱にレーザな用いる場合、表層のみが加熱されるから
従来の硬化構成の如く(10) 気体若しくは液体による冷却が不要となる。部品におい
てはレーザにより加熱される表層と部品の大部分の他部
との間に極めて高い温度差が生じるから実際上焼き入れ
を行なったと同様になる。これにより部品は単一の作業
工程により加熱硬化され、浸炭や誘導硬化の如く気体若
しくは液体を利用して焼き入れする要がないから、極め
て簡便である。
従来歯車等の部品表面の熱処理(二工業用レーザを用い
る構成が、例えば米国特許第4,250,372’号並
びに4,250,374号に開示されている。米国特許
第4,250,374号には単一のレーザ光線を用いた
歯車の硬化構成が開示されており、一方米国特許第4,
250,372号には歯車の歯部を加熱するために2以
上のレーザ光線を用いる構成が開示されている。
しかしながら、上記の2件の米国特許には共通して実用
性に乏しい点がある。即ちこれらの硬化構成にあっては
歯車の−の歯部歯面とこれと隣接する歯面並びに両歯面
間の底部を含む歯部の7字状の谷部全体を硬化し、次い
で次段のV字状の谷部を硬化するが歯車の一つの歯部の
歯面を硬化した後反対側の歯面な硬化する際、この反対
側の歯面の硬化時に生じた熱により前段の歯面の一部の
強度が低下する危惧があった。従って低品質の歯車以外
には適用できなかった。
従って上記2米国特許によって浸炭に代わる構成を提供
できるものの低品質の歯車以外に適用できないから非実
用的であった。即ち航空機用の高品質が要求される歯車
は上記2米国特許に開示された構成によっては製造不可
能であった。
また米国特許第4,250,372号に開示された2つ
のレーザ光線を与える構成では極めて僅かな寸法誤差が
あっても2光線相互間の強度に差異を生じ、この2レー
ザ光線による加熱熱に差ができ不都合であった。且2つ
の別個のレーザ源を用いる場合、装置が煩雑となる上コ
スト高となっていた。
従ってレーザを歯車等の部品の表面硬化に適用する場合
はこれらの欠点を除去する新たな硬化構成が望まれてい
た。
しかして本発明においては単一のレーザ光線を正確に2
つの同一の光線に分割し、歯車の−の歯部の両歯面に2
つの光線を同時に照射する同期光線発生装置が適用され
る。歯車の−の歯部の両歯面を単一工程で硬化すること
により歯車の歯部に焼き戻しが生ずる危惧を除去できる
。また歯車の歯部を2つ置きに硬化させ、次いで硬化さ
れた歯部間の歯部な順次硬化することにより歯車の一部
(二熱が蓄積され、焼き戻しが生ずることも除去される
更に2つに分割された光線を用いることにより、光線を
正確に歯車の歯部に向けることができ、且2つの光線に
より歯車の歯部表面が均一に硬化されるように歯部を照
射できる。
本発明のレーザ硬化構成で硬化されず、所望に応じて浸
炭処理で硬化する必要のある部分は歯車の歯部間の歯部
の谷底部と歯先だけである。この場合硬化されない谷底
部は極めて狭い領域であり且歯車において9荷の力0わ
らない部分であると共(二歯先は実際上作用しない部分
であるから硬化しく13) なくとも問題はない。
本発明の同期光線発生装置には全面積の実質的に半分を
占める孔を有した回転ホイールが採用される。この場合
、レーザ光線は回転ホイールの表面1:向って照射され
たとき半分の光線がホイールを通過するように設けられ
る。またレーザ源に向いた回転ホイール表面は高反射機
能が持たせられ孔を通過しない実質的に半分の光線が回
転ホイールにより反射される。即ちレーザ源からのレー
ザ光線をある角度をもって置かれた回転ホイールに同一
の分割光線が得られることになる。
次いで2つの光線は焦点レンズと照射位置を定める鏡体
を経て、歯車の歯部の表面を照射する。
この場合一方の光線が歯車の−の歯部の一歯面を、また
他方の光線が同一の歯部の他面を照射する。
両光線は歯車の歯部の全てに当り得るように軸方向に対
し直角方向から歯車に対し照射される。
上述のような構成をとることにより、硬化され(14) る表面のみが加熱されるので、浸炭処理構成の如く多大
のコストがかからず、硬化表面のみ加熱されるため加熱
時に歪みを来たさず歪矯正のための研磨が不要である。
更にレーザ硬化構成によれば作業時間を短かくでき且単
−の作業で硬化を実現できるため時間と労力を太目〕に
低減し得る。またレーザ光線による硬化構成は浸炭、あ
るいは誘導硬化構成に比し廉価にできる。実際上本発明
により高品質の歯車の製造費用を40%低減し得た。
見本発明のレーザ光線による歯車等の硬化構成によれば
、上記米国特許第4,250,372号並びに第4,2
50,374号に開示された構成において生じていた焼
き戻し現象を完全に除去し得る。
本発明においては2つのレーザ光線を全く均一になし得
るから本発明による光線分割構成は極めて高度のものと
いえる。また本発明によれば従来の伝導式光線分割装置
の如く光線の入射角の変化によって動作状態が大きく左
右されない。即ち角錐状反射体を用いて光線を分割する
というような周知の構成では入射角の変化により2つの
光線の特性が変化することになり、両光線の強さが均一
ではなくなる。実際上両光線のエネルギー差は全エネル
ギーの数パーセントに達することもある。
加えて本発明によれば大規模な装置を必要とせず、高コ
ストを招くことなく各種の部品の表面硬化に適用でき、
特にサイズの異なった歯車に迅速に対応でき、且、全機
構をコンピュータにより管理できる。総じて本発明によ
れば従来技術に比し低コストで、省エネルギー化を図る
と共に作業工数を大巾に低減し得、且製品の均一化を充
分に図る等々の顕著な効果を期待できる。
以下、本発明を添付の図面に沿って説明する。
先ず本発明の理解を図るために歯車等での機械部品にお
ける表面硬化の実現にレーザを使用した従来例について
述べる。第1図を参照するに単一のレーザ光線を用いて
−の歯部面毎に硬化するように歯車10の複数の歯のう
ち−の歯部12を硬化せしめる状態が示されている。歯
車の歯部12の右歯面14はレーザ照射によって既に硬
化され、図示の状態においては歯部12の左歯面16が
レーザ光線20の照射により硬化されている。この場合
歯車10の歯部の巾が不充分であると、歯部12の左歯
面16を硬化する際レーザ光線20により発生する熱に
よって前記歯部12の既に硬化された右歯面14の一部
22が焼き戻しされること(二なる。従ってこの焼き戻
しされた部分22は所定の硬度を持たなくなり、過度の
負荷が加わらなくとも通常の作業状態で摩耗し易くなる
。即ち第1図に示す如く個別に歯部の面毎に硬化を図る
構成においては充分な硬化作用を得れなかった。
第2図を参照するに、米国特許第4,250,374号
に開示された歯車の歯部の硬化構成が示されている。こ
の構成においては歯車3oの7字状の谷部全体が1回で
硬化されるものであり、これと同様の構成が米国特許第
4,250,372号にも開示されている。第2図に示
されている硬化工程の前段においては第1の歯部34と
第2の歯部36間の第1のV字状の谷部32がレーザ光
線の照射1票よって硬化されている。
(17) 図示の状態ではレーザ光線4oにより第2の歯部36と
第3の歯部44間の第2のV字状の谷部42が照射され
ている。即ち第2の歯部36と第3の歯部44間の第2
のV字状の谷部42がレーザ光線40による発生熱で硬
化せしめられるが、一方第2のV字状の谷部42の焼き
入れ後冷却する際、硬化時に発生した熱により先に硬化
された7字状の谷部32の一部46が焼き戻しされる。
この焼き戻しを受けた部分46は充分な耐力が損われる
。従って第2図に示されるような上記2件の米国特許に
開示された構成によっても高品質の、歯車を提供できな
い危惧があった。
しかして第3図を参照し本発明の詳細な説明するに、本
構成においては歯車5oを第1のレーザ光線52と第2
のレーザ光線54で硬化せしめる。
第3図に示される硬化工程の前段においては第1の歯部
60はその一右歯面62と左歯面64の両方が対をなす
第1のレーザ光線52と第2のレーザ光線54の照射に
より既に硬化されている。
図示の状態では、第1のレーザ光線52と第2(18) のレーザ光線54により第2の歯部74の右歯面70と
左歯面72が照射されている。この場合第2の歯部74
の両歯面70 、72は第1.第2のレーザ光線52 
、54により同時に加熱されるため、両歯面70 、7
2はいずれも焼き戻しを来たさず適切に硬化され得る。
ここで焼き入れ時に外部から空気あるいは水液を導入す
ることは、非常に精巧な歯車の硬化時り、外では不要で
ある。
このとき第1の歯部60と第2の歯部74間の谷底部8
0が焼き戻しされる危惧がある。即ち第2の歯部74の
右歯面70に第1のレーザ光線52を照射する際第1の
歯部60の左歯面64の硬化部分の僅かの部分が焼き戻
しされる可能性がある。
しかしながら谷底部80に焼き戻しが生じても谷底部は
機械的な接触面を構成せず、負荷は左、右歯面に力口わ
るから大きな問題とはならない。
上述から明らかなように歯車の歯部な硬化する最良の構
成は両歯面に2レーザ光線をもって同時に照射すること
、即ち機能上重要な硬化部分の焼き戻しを避けるため各
歯面な同一作業工程において硬化せしめることにある。
歯車に1対の光線を照射する構成の第1の方法は2つの
レーザ装置を使用することが挙げられる。
しかしながらこの構成では2つのレーザ装置を有するか
ら製造コストが過大となり且装置が大型化する欠点があ
った。また歯車の歯部の均一な外形、歯の深さを損なわ
す且硬度の一定した歯面を与えるには一対のレーザ光線
52と54の物理的特性をでき得る限り同一に近い状態
にする必要がある。この場合単一のレーザ光線を1対の
光線に完全に分割することにより実質的に同一の物理的
特性を有する2つの光線を得ることは理解されよう。
単一のレーザ光線を2分割するものとして高精度のピラ
ミッド型の分割器が既に提案されている。
このような機械的な分割器においては分割器によリレー
ザ光線の中心点を定める必要がある。レーザ光線が高精
度に2分割されず、両者間に若干の誤差があっても分割
された2つの光線相互にνす硬化作用を与える際大きな
差異となる。従って実際上この種の既提案の分割器は工
場生産が不可能であり、実験室段階にとどまらざるを得
なかった。
本発明によれば、これらの欠点を解決し且第3図の如き
1対のレーザ光線52 、54により歯車等を硬化可能
な構成が提供され得る。
本発明の好適な実施例を示す第4図を参照してこれを詳
述するに、本発明のレーザ硬化装置には同期光線発生機
100が包有されており、同期光線発生機100はレー
ザ源106から放射される高出力のレーザ光線104を
分割し、焦点の合った一対のレーザ光線110 、11
2として出力する部材群が組み込まれたハウジング10
2を具備している。前記レーザ光線110 、112は
歯車116の歯部114表面を硬化すべく歯部114の
歯面に照射される。
この場合レーザ源106から放射されたレーザ光線10
4は第6図に詳示するような回転ホイール120に向け
られる。回転ホイール1201体はその中心124を貫
通する軸124に装着されている。また第6図に示す如
く回転ホイール120には扇状部132によって区画さ
れた3つの扇状の孔130が具(21) 備され、且夫々の扇状部132と孔130とは中心12
4を挾んで対称に位置する、即ち中心124に対し回転
対称をなすように設けられている。回転ホイール120
の扇状部132は鏡面の如き高反射性を持つように設け
られ、特に高反射性の金若しくは銀メッキされるかある
いは回転ホィール120全体を銅、タングステン又はモ
リブデンで形成することが好ましい。実際上は反射性物
質であっても極く少量(即ち1〜2x)レーザ光線10
4を吸収してしまうので、扇状の孔130は扇状部13
2より面積が僅かに小さくされている。これにより回転
ホイール120がレーザ光線104の放射路において回
転される時、2つの等しいレーザ光線、即ち回転ホイー
ル120の孔130を通過する第1の光線170と回転
ホイール120の扇状部132により反射された第2の
光線172が発生され得る。
回転ホイール120を固設した軸122は、第5図に示
す如き回転支持体140に回転可能に装着される。即ち
回転支持体140は底部142とアーム呻144 、1
46とが包有され、且アー′ム部144 、146(2
2) には各々軸受150 、152が装着されている。従っ
て回転ホイール120は軸122を介して回転支持体1
40に付設された軸受150 、152間に回転自在に
装荷されることになる。また回転支持体140の底部1
42には6L数の取付穴154が具備されており、取付
穴154にボルト156を挿通させて回転支持体140
をハウジング102に固定され得る。
またこの場合回転ホイール120は、軸122の一端に
装荷されたプーリ164に懸架される駆動ベルト162
を介してモータ(図示せず)により回転される。モータ
は回転ホイール120を毎分1000回転以上の極めて
高速で回転させ得る。
上述の構成によりレーザ源106から放射されたレーザ
光線104は、2つの同一の光線として回転ホイール1
20を通過する第1の光線170と回転ホイール120
の反射面により反射される第2の光線172に円滑に分
割されることになる。次いで第1の光線170と第2の
光線172は各々焦点レンズ174 、176を通過す
るように設けられている。、この焦点レンズ174 、
176には光束が円筒状に集中されるように機能する球
面状若しくは光束が線状に集中されるように機能する円
筒状のものかあるいは光束が線状に集中されると共にこ
の集中される位置を変化し得るよう機能する球面状のも
のと円筒状のものの組合体のいずれも採用できるが、前
述の組合体の焦点レンズ174 、176を用いること
が好ましい。
第1.第2の光線170 、172は夫々焦点レンズ1
74 、176を通過した後平坦な鏡体に向って照射さ
れこの鏡体はコンピュータにより調節される水平器台上
に装着される。即ち第1の光線170はモータ184に
より位置決めされる水平器台182に装着された鏡体1
80において反射される。一方第2の光線172は、七
−夕194により位置決めされる水平器台192上に装
着された鏡体190で反射される。また各モータ184
 、194は形状の異なる歯車に適用し得るように光線
の位置を迅速に修正可能にコンピュータにより調節され
得る。
更に第1.第2の光線170 、172は孔196を通
ってハウジング102外に送出され、各々光線110゜
112として歯部114に照射される。この場合光線1
10 、112は歯部114の歯面1インチ(254嗣
)平方に対し1,000〜100 、000ワツトの出
力をもって照射されるように、焦点を合わせて照射位置
が特定される。
また光線110 、112は歯車116にその軸方向に
対し直角に照射され、−の歯部114全体が照射される
ことになる。レーザの光線110 、112を歯車11
6に対しその軸線に直角に照射するにはレーザ源106
側を変位させることなく、歯車116を軸回転させれば
よい。光線は歯部114の角隅部を溶融しないように歯
車11Gの端部から約百インチ(約0.3濡)手前にお
いて焦点が合うように設定される。これにより歯車11
6の歯部全体が熱伝導により充分硬化され得る。且歯車
116は適切な位置決めしてからレーザ源106を付勢
すると同時に回転される。周知のコンピュータシステム
に簡単にプログラムできる歯車の構成に応じて全作業工
程をコンピュータ(二より調節しつつ実行できる。
また焼き戻しを避けるためには第1図の回転時(25) に歯車116の歯部114を2つおきに硬化し、次に第
2図の回転時に第1図の回転時に硬化せしめた歯部の隣
りの歯部のみを硬化し更に第3図の回転時に残りの歯部
を硬化することが好ましい。各歯部な順次硬化せしめな
いことにより歯車の小さな領域に過熱を生じることが避
けられ得、歯部の歯面の焼き戻しの危惧を払拭できる。
またこの構成により歯車の歯部は自然冷却で充分冷却さ
れ得、極めて精巧な歯車に対してのみ気体や水液による
冷却作用が必要となる。
しかして本発明によれば浸炭、硬化作業において消費エ
ネルギーを増大させず、且設備に掛る費用も最少限に抑
え得る歯車の硬化構成を実現できる。
また本発明の硬化構成は例えばベアリングなど他の部品
の硬化にも適用可能である。且上述の同期光線発生機1
00は好適な一実施例を示すものに過ぎず、例えばその
光学系は同一の機能を有する他の構成に置換できる。例
えば、鏡体を焦点機能を持つ鏡体に替えれば焦点レンズ
は不要となる。
(26) また焦点レンズは鏡体と歯車との間の反射路に設置する
ことも可能である。
上述のように構成された本発明によれば、歯車の歯部の
硬化に適用して従来の欠点を実質的に不利益を生ずるこ
となく除去でき、浸炭、硬化に要するエネルギーも最少
限にし得、実際上高品質の歯車を40%コストダウンし
て製造可能である。
即ち本発明によれば所定の形状を損うことなく充分な強
度と耐久性を持つ高品質の硬化面を供することができ、
総じて量産性に富み、生産性が高く安価にできる等々の
顕著な効果を実現する。
本発明の実施態様を簡略に記載すれば次の通りである。
1、レーザ光線を送出する工程と、レーザ光線を周期的
に機械的に遮断し、且レーザ光線を第1の部分として周
期的に通過させる工程と、レーザ光線の機械的に遮断さ
れた部分を反射してレーザ光線の第1の部分と実質的に
同一の強さの第2の部分を得る工程と、レーザ光線の第
1の部分を焦点合せして硬化対象部の第1の面を照射す
る工程とレーザ光線の第2の部分を焦点合せして硬化対
象部の第2の面を照射する工程と、硬化対象部の第1、
第2の面を横切る方向にレーザ光線を当て第1、第2の
面の表層を熱する工程とを包有してなる、第1の面と第
2の面とが離間した硬化対象部第1、第2の面を同時に
硬化するレーザ硬化方法。
2硬化対象部が歯車の歯部であり、第1の面が歯部の作
用面であり、第2の面が歯部の他の作用面である上記第
1項記載のレーザ硬化方法。
3、上記第1項記載の全工程を歯車の複数の歯部な硬化
するように繰り返してなる上記第2項記載のレーザ硬化
方法。
4、歯車の全歯部を3歯部1組にして第2の歯部、第3
の歯部を第1の歯部の硬化に続き順次硬化し歯車の一部
に熱が蓄積することを防ぎっ\−は歯部な他の歯部の加
熱時に硬化してなる上記第3項記載のレーザ硬化方法。
5上記第2項記載の方法により硬化された作用面を有す
る歯車の歯部。
6 レーザ光線を送出する工程と、前記レーザ光線を2
つの実質的に同一の光線に分割する工程と、前記の実質
的に同一の2つのレーザ光線を歯車の歯部の作用面に焼
きもどしを起こすことなく照射して歯車のm部を硬化す
る工程とを包有してなる歯車の歯部のレーザ硬化方法。
Z第1レーザ光線を送出する工程と、第1のレーザ光線
の光路を選択的に且周期的に遮断して第1のレーザ光線
を実質的に同−強さの第2のレーザ光線並びに第3のレ
ーザ光線に分割する工程と、第2のレーザ光線の焦点合
せを行ない歯車の歯部の一側を照射する工程と、第3の
レーザ光線の焦点合せを行ない歯車の歯部の他側を照射
する工程と、第2のレーザ光線と第3のレーザ光線を歯
車の歯部な横切るように当て歯部の凹表面を一様に熱す
る工程とを包有してなる歯車の歯部のレーザ硬化方法。
8、レーザ光線を送出する工程とレーザ光線の光路に、
レーザ光線の第1の部分が通過する孔を有し且孔間の部
分の高反射性面によりレーザ光線め第2の部分を反射せ
しめると共に第1、第2の部(29) 分を同一の強さになすように回転ホイールを挿入する工
程と、レーザ光線の第1の部分の焦点合せを行ない歯車
の歯部の一側を照射する工程と、レーザ光線の第2の部
分の焦点合せを行ない歯車の歯部の他側を照射する工程
とを包有してなる歯車の歯部のレーザ硬化方法。
9、回転ホイールと、レーザ光線源からのレーザ光線の
第1部分並びに第2の部分を、焦点合せを行なって歯車
の各歯部の第1の側面並びに第2の側面に照射する装置
と、レーザ光線の第1部分並びに第2の部分の焦点合せ
され照射されたレーザ光線を歯車の歯部な横切る方向に
当てる装置とを備え、前記回転ホイールは孔を有すると
共にレーザ光線源からのレーザ光線の光路に位置し、レ
ーザ光線の第1の部分が孔を通過せしめられ、レーザ光
線の第2の部分が回転ホイールの孔と別表面部で反射さ
れ、レーザ光線の第1、第2の部分が実質的に同一の強
さにされてなるレーザ硬化装置。
10実質的に同一の強さのレーザ光線を送出する工程と
、2つの実質的に同一の強さのレーザ光線(30) を歯車の歯部の両作用面に同時に照射して歯車の歯部の
作用面に焼きもどしを起こすことなく硬化する工程を包
有する歯車の歯部のレーザ硬化方法。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来例の説明図、第3図は本発明の
原理説明図、第4図は本発明による装置の一実施例の簡
略平面図、第5図は同部分拡大斜視図、第6図は同部分
拡大平面図である。 】0・・・歯車、12・・・歯部、14・・・右歯面、
16・・・左向ifa、20・・・レーザ光線、22・
・・部分、30・・・歯車、32・・・V字状部、34
・・・紀1の歯部、36・・・第2の歯部、40・・・
レーザ光線、42・・・第2のV字状の谷部、44・・
・第3の歯部、46・・・部分、50・・・歯車、52
・・・第1のレーザ光線、54・・・第2のレーザ光線
、60・・・第1の歯部、62・・・右歯面、64・・
・左歯面、70・・・右南面、72・・・左歯面、74
・・・歯部、80・・・谷底部、1.00・・・同期光
線発生機、102・・・ハウジング、104・・・レー
ザ光線、106・・・レーザ源、110 、112・・
・レーザ光線、114・・・歯部、116・・・歯車、
120・・・回転ホイール、122・・・軸、124・
・・中心、130・・・孔、132・・・扇状部、14
0・・・回転支持体、】42・・・底部、144 、1
46・・・アーム部、150 、152・・・軸受、1
54・・・取付穴、】56・・・ボルト、162・・・
駆動ベル)、164・・・プーリ、170・・・第1の
光線、172・・・第2の光線、174 、176・・
・焦点レンズ、180・・・鏡体、182・・・水平器
台、184・・・モータ、190・・・鏡体、192・
・・水平器台、194・・・モータ、196・・・孔 特許出願人 ザ ギヤレット コーポレーション

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、レーザ光線を送出する工程と、レーザ光線を実質的
    に周期的に遮断するように機械的な遮蔽体− を高速でレーザ光線の光路挿入する工程と、レーザ光線
    を遮蔽体により遮断しないときレーザ光線を第1の光路
    に進行させる工程と、遮蔽体に具備された反射面により
    遮断したレーザ光線を第2の光路に進行させると共に第
    1の光路におけるレーザ光線と第2の光路におけるレー
    ザ光線とを実質的に同一の強さを持たせて進行させる工
    程と、第1の光路のレーザ光線を硬化対象部の一側に向
    ける工程と、硬化対象部の一側に向ける第1の光路のレ
    ーザ光線に対し所定の強さと大きさを持たせるように焦
    点合せを行なう工程と、第2の光路のレーザ光線を硬化
    対象部の他側に向ける工程と、硬化対象部の他側に向け
    る第2の光路のレーザ光線に対し所定の強さと大きさを
    持たせるように焦点合せを行なう工程と、第1.第2の
    レーザ光線を硬化対象部に対し横切る方向に当て\なる
    工程とを包有してなる、硬化対象部の二側を同時に硬化
    するレーザ硬化方法。 2遮蔽体をレーザ光線の光路に挿入する工程はレーザ光
    線の光路上に位置せしめた、少くとも1つの孔を有する
    回転ホイールを高速で回転させる工程を包有し、レーザ
    光線を回転ホイールの孔を経て通過させて第1の光路へ
    送ると共に、回転ホイールに具備させた孔以外の部分で
    なる反射面をレーザ光線の光路に対しある角度をもって
    配設し、前記レーザ光線を反射して第2の光路へ送って
    なる特許請求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 3、銅、タングステン、モリブデンのいずれか−でなる
    回転ホイールを回転してなる特許請求の範囲第2項記載
    のレーザ硬化方法。 4、反射面に金、銀メッキのいずれか−を施した遮蔽体
    をレーザ光路に挿入してなる特許請求の範囲第1項記載
    のレーザ硬化方法。 5、第1の光路のレーザ光線を硬化対象部に向ける工程
    には第1の光路上に鏡体を置き、第1の光路を進行する
    レーザ光線を硬化対象部に向けて反射する工程と、硬化
    対象部品の大きさに合わせてコンピュータにより調節さ
    れるモータにより鏡体を位置決めする工程とを包有して
    なる特許請求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 6第2の光路のレーザ光線を硬化対象部に向ける工程に
    は第2の光路上に鏡体を置き、第2の光路を進行するレ
    ーザ光線を硬化対象部に向けて反射する工程と、硬化対
    象部品の大きさに合わせてコンピュータにより調節され
    るモータにより鏡体を位置決めする工程を包有してなる
    特許請求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 l第1の光路のレーザ光線に対し焦点合せを行なう工程
    には第1の光路に円筒状レンズと球面状レンズの両方を
    置き、円筒状レンヌと球面状レンズとにより硬化対象部
    に照射されるレーザ光線の焦点合せを行ない且光束が線
    状で且長さが可変のレーザ光線になしてなる工程を包有
    する特許請求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 8、第2の光路のレーザ光線に対し焦点合せを行なう工
    程には第2の光路に円筒状レンズと球面状レンズの両方
    を置き、円筒状レンズと球面状レンズにより硬化対象部
    に照射されるレーザ光線の焦点合せを行ない且光束が線
    状で且長さが可変のレーザ光線になしてなる特許請求の
    範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 9、焦点合せを行なう工程並びにレーザ光線を硬化対象
    部に向ける工程を鏡体によって同時に行なってなる特許
    請求の範囲第1項記載の方法。 10、レーザ光線を硬化対象部に向ける工程には硬化対
    象部の端縁部の溶融を避けるように端縁部から離れた個
    所にレーザ光線を照射する工程が包有されてなる特許請
    求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 11゜レーザ光線を送出する工程はレーザ光線を硬化対
    象部品上に照射するとき開始し、硬化完了時に終了して
    なる特許請求の範囲第1項記載のレーザ硬化方法。 12硬化対象面を光吸収物質により被覆し、第1゜第2
    のレーザ光線から硬化対象部へのエネルギー伝達を促進
    する工程を包有してなる特許請求の範囲第1項記載のレ
    ーザ硬化方法。 13 レーザ光線源から送出されるレーザ光線を高反復
    速度で周期的に遮断し且レーザ光線の一部を第1の光路
    に通過可能な遮蔽装置と、遮蔽装置に付設されレーザ光
    線を遮断すると共に第2の光路に反射せしめ、第2の光
    路に進行するレーザ光線の他部を第1の光路に進行する
    レーザ光線の一部に対し実質的に同−強さにする反射装
    置と、第1−ザ光線の焦点合せを行なって所定の強さに
    し第1の光路のレーザ光線を歯車の歯部の一側に対し横
    切る方向に当てると共に第1の光路のレーザ光線を所定
    の断面を持つようになす第1のレンズ装置と、第2の光
    路のレーザ光線を歯車の歯部の−の歯部の他側に照射す
    る第2の照射装置と、第2の光路におけるレーザ光線の
    焦点合せを行なって所定の強さにし第2の光路のレーザ
    光線を歯車の(5) 歯部の他側に対し横切る方向に当てると共に第2の光路
    のレーザ光線を所定断面を持つようになす第2のレンズ
    装置と、歯車の歯部と第1.第2光路とを所定の位置関
    係にする作動装置とを備えてなるレーザ硬化装置。 14、遮蔽装置は少くとも1つの孔を有する回転ホイー
    ルを備え、回転ホイールがレーザ光線の光路に挿入され
    、第1の回転角位置(二ある時にレーザ光線が孔を通過
    し第1の光路に進行可能に設けられてなる特許請求の範
    囲第13項記載のレーザ硬化装置。 15、反射装置はレーザ光線源からのレーザ光線の光路
    に向いた鏡面を有し、鏡面は回転ホイールが第2の回転
    角位置書=ある時にレーザ光線を遮断し、第2の光路へ
    と反射するように設けられてなる特許請求の範囲第14
    項記載のレーザ硬化装置。 1a鏡面は高反射性の金、銀のいずれか−でメッキされ
    てなる特許請求の範囲第15項記載のレーザ硬化装置。 1z銅、タングステン、モリブデンの−で形成さく6) れた回転ホイールを具備してなる特許請求の範囲第14
    項記載のレーザ硬化装置。 18複数の孔を有し、少くとも毎分1000回転の速度
    で回転される回転ホイールを具備してなる特許請求の範
    囲第14項記載のレーザ硬化装置。 19第1の照射装置は変位可能な鏡体を備え、第1の光
    路からのレーザ光線を寸法の異なる歯車に合わせて歯車
    の歯部に照射可能に設けられてなる特許請求の範囲第1
    3項記載のレーザ硬化装置。 20、第2の照射装置は変位可能な鏡体を備え、第2の
    光路からのレーザ光線を寸法の異なる歯車に合わせて歯
    車の歯部に照射可能に設けられてなる特許請求の範囲第
    13項記載のレーザ硬化装置。 21、第1のレンズ装置は円筒状レンズと球面状レンズ
    を組合せてなり、歯車の歯部に光束が線状で長さが可変
    のレーザ光線を照射可能に設けられてなる特許請求の範
    囲第13項記載のレーザ硬化装置。 22第2レンズ装置は円筒状レンズと球面状レンズを組
    合せてなり、歯車の歯部に光束線状で長さが可変のレー
    ザ光線を照射可能に設けられてなる特許請求の範囲第2
    1項記載のレーザ硬化装置。
JP59085054A 1983-06-29 1984-04-26 レ−ザ硬化方法及び装置 Granted JPS609828A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/509,530 US4533400A (en) 1983-06-29 1983-06-29 Method and apparatus for laser hardening of steel
US509530 1983-06-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS609828A true JPS609828A (ja) 1985-01-18
JPH0124202B2 JPH0124202B2 (ja) 1989-05-10

Family

ID=24027008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59085054A Granted JPS609828A (ja) 1983-06-29 1984-04-26 レ−ザ硬化方法及び装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4533400A (ja)
EP (1) EP0130749B1 (ja)
JP (1) JPS609828A (ja)
CA (1) CA1244325A (ja)
DE (1) DE3476224D1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415314A (en) * 1987-07-09 1989-01-19 Sonoike Mfg Low strain quenching method by pulse laser
JP2009235490A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Hitachi Constr Mach Co Ltd レーザ熱処理装置
JP2017119903A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社Subaru 歯車の熱処理方法及び歯車の熱処理装置

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0129603A4 (en) * 1982-12-17 1985-06-10 Inoue Japax Res CUTTING DEVICE WITH LASER.
GB8626051D0 (en) * 1986-10-31 1986-12-03 Seguin H J J Laser surface hardening of rails
US4872429A (en) * 1987-12-14 1989-10-10 Ford Motor Company Method of making low friction finger follower rocker arms
US5073212A (en) * 1989-12-29 1991-12-17 Westinghouse Electric Corp. Method of surface hardening of turbine blades and the like with high energy thermal pulses, and resulting product
US5164957A (en) * 1991-08-20 1992-11-17 Westinghouse Electric Corp. Energy beam director apparatus
US5417132A (en) * 1993-01-19 1995-05-23 Alan R. Pfaff Rotary cutting dies
JP2000502149A (ja) * 1995-12-19 2000-02-22 バイエリッシェ モートーレン ウエルケ アクチエンゲゼルシャフト 構成部品、特に内燃機関の連接棒の折断分離のための裂け目位置を形成する方法
US5865284A (en) * 1996-06-21 1999-02-02 Dana Corporation Formlock shoes with flats
EP0835714A1 (en) * 1996-10-09 1998-04-15 LVD Company NV Laser focusing unit for laser beam devices
AU5146798A (en) * 1996-10-15 1998-05-11 Zenith Sintered Products, Inc. Surface densification of machine components made by powder metallurgy
EP0860230B1 (fr) * 1997-02-19 2003-10-22 Lasag Ag Dispositif d'usinage laser, notamment pour l'usinage de bielles
US6139462A (en) * 1998-08-27 2000-10-31 American Axle & Manufacturing, Inc. Differential with laser hardened case
US6218642B1 (en) 1999-07-12 2001-04-17 J. F. Helmold & Bro., Inc. Laser hardened steel cutting rule
US20030132399A1 (en) * 2002-01-16 2003-07-17 Stefan Dietrich Method and apparatus for laser processing
JP2004035953A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Thk Co Ltd レーザー光を利用した焼入れ方法及び装置
DE10315957A1 (de) * 2003-04-08 2004-10-28 Ejot Gmbh & Co. Kg Schraube mit einer partiell gehärteten Funktionsspitze und Verfahren zu ihrer Herstellung
US20040226637A1 (en) * 2003-05-13 2004-11-18 Lsp Technologies, Inc. Method, system and article employing laser shock processing of threads and keyways
US7687151B2 (en) 2005-04-12 2010-03-30 General Electric Company Overlay for repairing spline and seal teeth of a mated component
US7591057B2 (en) 2005-04-12 2009-09-22 General Electric Company Method of repairing spline and seal teeth of a mated component
US20060266436A1 (en) * 2005-05-26 2006-11-30 Fett Gregory A Carburizing method
US7416621B2 (en) * 2005-07-22 2008-08-26 Gkn Sinter Metals, Inc. Laser rounding and flattening of cylindrical parts
US20070116889A1 (en) * 2005-11-18 2007-05-24 Federal Mogul World Wide, Inc. Laser treatment of metal
US20070254111A1 (en) * 2006-04-26 2007-11-01 Lineton Warran B Method for forming a tribologically enhanced surface using laser treating
DE102006050799A1 (de) * 2006-10-27 2008-05-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Randschichthärten formkomplizierter Bauteile
DE102010009818A1 (de) 2010-03-02 2011-09-08 Gerhard Mangold Zange mit partiell gehärteten Schneidenbereich
DE102014109535A1 (de) * 2013-07-30 2015-02-05 Rothenberger Ag Presswerkzeug sowie Verfahren zur Herstellung eines Presswerkzeuges
US11186887B2 (en) 2013-12-13 2021-11-30 Tata Steel Limited Multi-track laser surface hardening of low carbon cold rolled closely annealed (CRCA) grades of steels
EP3054026A1 (en) 2015-02-04 2016-08-10 VitKovice Cylinders a.s. Method of combined surface treatment of tool steels
DE102017004455A1 (de) 2017-05-09 2017-11-23 Daimler Ag Verfahren zum partiellen Härten eines metallischen Bauteils, insbesondere für ein Fahrzeug
DE102017115232A1 (de) * 2017-07-07 2019-01-10 Bessey Tool Gmbh & Co. Kg Schere und Verfahren zur Herstellung einer Schere
DE102017009895A1 (de) 2017-10-25 2018-05-09 Daimler Ag Verfahren zum partiellen Laserhärten eines Bauteils
CN108411070A (zh) * 2018-04-19 2018-08-17 杭州盛镭激光科技有限公司 基于齿轮成形法的激光表面淬火避免回火带的方法
JP2021131383A (ja) 2020-02-04 2021-09-09 ロレックス・ソシエテ・アノニムRolex Sa 時計部品の熱処理方法
CN116790849A (zh) * 2023-06-28 2023-09-22 浙江午马传动有限公司 减速机齿轮的双相异构结构构建方法
CN117403046A (zh) * 2023-11-30 2024-01-16 温州大学 一种光斑尺寸可调式双光束激光热处理方法
CN117737350A (zh) * 2023-12-22 2024-03-22 温州大学 一种竖直入射式双光束变速激光热处理方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2494440A (en) * 1946-05-31 1950-01-10 Rca Corp Spectrophotometer apparatus having a rotating slotted wheel to decrease light intensity
US3303739A (en) * 1963-07-17 1967-02-14 Optomechanisms Inc Means for transmitting plural images through a fiber optic cable
US3848104A (en) * 1973-04-09 1974-11-12 Avco Everett Res Lab Inc Apparatus for heat treating a surface
US3813146A (en) * 1973-05-04 1974-05-28 Philco Ford Corp Light beam alternator having a single rotating mirror
US4083629A (en) * 1976-11-29 1978-04-11 Gte Laboratories Incorporated Beam splitting system for a welding laser
GB1593268A (en) * 1977-10-03 1981-07-15 Boc Ltd Methods of and apparatus for effecting localised heating of a workpiece
JPS6045247B2 (ja) * 1978-07-07 1985-10-08 住友金属工業株式会社 高エネルギ−ビ−ムによる鋼製品表面の熱処理方法
JPS5511142A (en) * 1978-07-07 1980-01-25 Sumitomo Metal Ind Ltd Heat-treating method for surface of steel product with laser beam
US4404454A (en) * 1978-09-20 1983-09-13 Philip Morris Incorporated Light energy perforation apparatus and system
US4404452A (en) * 1979-06-08 1983-09-13 Philip Morris Incorporated Optical perforating apparatus and system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415314A (en) * 1987-07-09 1989-01-19 Sonoike Mfg Low strain quenching method by pulse laser
JP2009235490A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Hitachi Constr Mach Co Ltd レーザ熱処理装置
JP2017119903A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社Subaru 歯車の熱処理方法及び歯車の熱処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA1244325A (en) 1988-11-08
EP0130749A1 (en) 1985-01-09
DE3476224D1 (en) 1989-02-23
US4533400A (en) 1985-08-06
EP0130749B1 (en) 1989-01-18
JPH0124202B2 (ja) 1989-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS609828A (ja) レ−ザ硬化方法及び装置
US4304978A (en) Heat treating using a laser
EP0147190A1 (en) Method and apparatus for laser gear hardening
US4456811A (en) Method of and apparatus for heat treating axisymmetric surfaces with an annular laser beam
GB2027752A (en) Surface hardening by high energy beam
US4491383A (en) Device for modifying and uniforming the distribution of the intensity of a power laser beam
JP2002129239A (ja) レーザ焼入れ方法及び装置
JPS62134118A (ja) 板ばねの形状精度修正方法
JP2002030343A (ja) レーザによる歯車の熱処理方法および装置
JP2666288B2 (ja) マルチモードレーザビームによる熱処理方法
JPH064892B2 (ja) レーザ照射によるねじ軸表面硬化方法
JPH0621295B2 (ja) シリンダ内周面のレ−ザ焼入れ方法
JPH0790358A (ja) レーザ焼入れ装置
KR100267711B1 (ko) 피라미드 미러를 이용한 광폭 레이저 빔 가공장치
JPH02122016A (ja) レーザ光による溝部焼入装置
JPH0639575A (ja) レーザ加工装置
JPH0543940A (ja) リニアガイド用案内レールの軌道面の熱処理方法
JPH08291322A (ja) レーザ焼入れ方法
JP2861123B2 (ja) シャフトのレーザ焼き入れ方法
RU1815084C (ru) Способ светолучевого упрочнени
JPH04280914A (ja) レーザ焼入れ方法
JPS63105918A (ja) レ−ザ−光オシレ−ト方法
JPS60149727A (ja) フオ−ク軸のレ−ザ熱処理方法
JPH04141514A (ja) レーザ焼入れ方法及びその装置
JPS58189326A (ja) 内側螺旋状溝の熱処理方法