JPS6098636A - 自動ウェハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、メモＩＪ　Ｉ　Ｃなどの半導体ウエノ１プｔ
７−ブ検査工程において、検査結果としての不良情報を
ウェハのチップ上にインクマークスルウエノＡプローバ
用インクマーク制御装置に関する。

〔発明の背景〕

一般に、メモリＩｃ、ロジックＩＣなどのウェハ加工工
程における完成検査作業は、ウエノ１ブローバ装置とウ
ェハテスタとを連動させた自動化装置により行なわれて
いる。この装置はウニ／’％テスタカ）ら出力されるチ
ップ不良情報をプローバ装置に送り、当該不良チップ上
にインクマークを付−りする構成になっている。

以下、力）力）る装置の従来例を第１図を参照して説明
する。テスト用ウニ／’ｔｌは、ＸＹＺ移動テーブル２
に取付けられたウェハチャック３に吸着固定されており
、ＸＹＺ移動テーブル２により、前後、左右ｌζ所定の
ピッチでインデックス送りされると共ｆこ上下動可能と
なっており、この上下動によりテスト用ウェハｌがプロ
ーブ針４に接触し、各ＩＣチップ毎に必要な検査がなさ
れる。プローブ針４はテストへラド５１こ取付けられ、
信号線６を介してウェハテスタ７に接続され、テスト電
圧、テスト波形の供給を受けると共に、チップの出力情
報をウェハテスタ７に戻す働きをする。チップの出力情
報を受けたウェハテスク７はこれを処理し、検査中のチ
ップの良、不良を判定する。良、不良情報は信号線８を
介してインクマーク操作部９のアンド操作部１０１こ送
出される。アンド操作部ＩＯの出力はインクマーク駆動
アンプ１１、信号線１２を介してインクマーク部１３に
接続されている。

ＸＹＺ移動テーブル２にはウエハプローバ制御部１４が
接続されている。ウエハプローバ制御部工４は、マイク
ロプロセッサ部１５、ＸＹＺテーブル移動座標発生部１
６およびＸＹＺテーブル操作部１７カ）ら構成されてお
り、マイクロプロセッサ部】５はスタート信号線１８お
よびテスト終了信号ｆｌｕ　１．９を介してウニハチス
タフに、またマーキングイネーブル信号線２０を介して
アンド操作部１０＃こそれぞれ接続されている。

ウエハブローバ制御部１４は、マイクロプロセッサ部１
５により制御され、スタート信号線１８を介してスター
ト信号をウェハテスタ７に送り、またテスト終了信号線
１９を介してテスト終ｒ信号を受取り、ウェハｌ上の測
定検査を進行させて行く。またつｊ−ハブローバ制御部
１４は、ＸＹＺテーブル操作部１７においてＸＹＺテー
ブル駆動のためのモーフ制御などを行なうが、ウェハ１
をどの範囲で移動させるかはＸＹＺテーブル移動座標発
生部１６の指令による。ＸＹＺテーブル移動座標発生部
１　（ｉは、予め与えられたウェハサイズなどのデータ
カ）らマイクロプロセッサ部１５が計算した座標を記憶
し、順次、ｘＹＺテーブル操作部１７にテーブル移動座
標を指示して行く。

検査した不良チップの不良表示は、インクマーク操作部
９の指令ζこ基づき動作するインクマーク部】３により
、ウェハ１上のチップ表面に直接マーキングする方法で
なされる。ウエハプローバ制御部１４のマイクロプロセ
ッサ部１５はウェハプローバ装置なのシーケンス動作も
管理しているので、同時にマーキングイネ−ゲル信号２
０を出すことができる。この信号とウェハテスタ７　ｆ
ｅ）ら出される良、不良情報を乗せた信号とをアンド操
作部１０て処理し、インクマーク指令を発生させる。こ
のインクマーク指令によりインクマーク駆動アンプ１１
を介してインクマーク部１３が動作する。

ウェハ１は、Ｘ　Ｙ　７．テーブル移動座標発生部１６
の指令によりピッチ移動し、か一つチップ毎に上下動作
（７、プローブ針４に接触して測定検査される。

ＸＹＺデープル移動座標発生部１６の指令座標はマイク
ロプロセッサ部１５で計算されるが、入力情報としては
、ウェハサイズ、チップのＸ方向ピッチ、Ｙ方向ピッチ
しか与えられないので、詳細な座標は計算できない。

第２図はＸＹＺテーブル移動座標発生部１６の座標情報
の−・例を示すもので、Ｘ方向にピッチａで９ピツチ、
Ｙ方向にピッチｂで１１ピツチの矩形範囲内をＸＹＺ移
動テーブル２、すなわちウェハ１が移動することを示し
ている。図−こおいて、２１はウェハの外郭であり、通
常円形なので、周辺部に正常なチップが加工形成できな
い場所が生じる。ウェハ１が測定検査された場合、図で
斜線を施された部分では、ウェハが無いか、あるいはチ
ップが欠けて形成されて不完全なので、ウェハテスタ７
カ）らは不良信号が出されることになる。

一方、マーキングイネーブル信号はマイクロプロセッサ
部１５力）ら信号ね２０を通じて矩形全範囲に対して送
出されるので、図の斜線部では必ずインクマーク動作が
なされることＣどなる。

このように、従来の装置は、ウェハ面以外で常にインク
マーク動作がなされることになり、インクジェット方式
のインクマーク機構を採用した場合、ウエハヂャツク３
その他の部分に対して常にインクが射出され、付着する
欠点があった。才だ、このような不要部分へのインクの
付着を防ごうとすれば、複雑な防止機構を要し、更に通
常の抑圧方式のインクマーク機構を用いた場合でもｗＡ
動電力が無駄になるなどの欠点を有していた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、不必要な場所でのインクマーク動作を
防止し、簡潔な機構のインクジェット方式によるインク
マーク機構を採用でき、合理的な検査システムを実現し
得るウエノ１プローバ用インクマーク制御装置を提供す
ることにある。

〔発明の概要〕

本発明は、ＸＹＺ移動テーブルを制御するウエハブロー
バ制御部と、このウエノ１プローノ＜制御部力）らの信
号とウェハテスタからの信号とからインクマーク信号を
発生するインクマーク操作部と、前記インクマーク信号
により不良チップ」二に不良表示マークを付与するイン
クマーク部とを備えたウエハプローバ用インクマーク制
御装置において、デツプ座標パターン情報を記憶しかつ
所定の処理を行なうチップ座標パターン記憶処理部を備
え、前記ウエハブローバ制御部内ζこ設りられたＸＹＺ
テーブル移動座標発生部の移動パターン情報と、前記チ
ップ座標パターン記憶処理部のチップ座標パターン情報
と、ウェハテスタから得られる不良情報信号とを処理し
て得られる信号によりインクマーク動作させるようにし
たこ七を特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第３図により説明する。なお
、第１図と構造、機能が同一な部分は同一符号を伺した
。ウェハ１は、ＸＹＺ移動テーブル２上に載置固定され
たウェハチャック３に吸着固定されＣおり、ＸＹＺ移動
テーブル２により、前後、左右に所定のピッチでインデ
ックス送りされると共に上下動可能であり、この上下動
によりウェハ１がプローブ針４に接触し、各ＩＣチップ
毎に必要な検査がなされるようになっている。図示は省
略したが、プローブ針４は第１図と同様にテストへラド
に取付けられ信号線を介し゛Ｃウエノ１デスタ７に接続
されている。ウェハテスタ７からの良、不良情報は、信
号線８を介してインクマーク操作部３０のアンド操作部
３１ζこ送出さイ１．るようになっている。アンド操作
部３１の出力はインクジェット駆動部３２、信号線３３
を介してインク供給機構３４に接続されている。インク
供給機構３４にはインクだめ３５とジェットノズル３６
とが設けられている。

ＸＹＺ移動テーブル２には、マイクロブｌコセツザ部３
７、ＸＹ７．＄動座標発生部３８およびＸＹ２テーブル
操作部３９から描成されたウエハプローバ制御部４０が
接続されている。マイクロプロセッサ部３７およびｘＹ
Ｚ８動座標発生部３８はそれぞれ信号線４１．４２を介
してチップ座標パターン記憶処理部４３１こ接続され、
更に信号線４４を介してアンド操作部３１をこ接続され
ている。チップ座標パターン記憶処理部４３は、入力情
報として、第５図に示すようなウェハ１ユで検査する必
要があるチップの座標情報を記憶させておくためのデツ
プ座標情報記憶部４５を備えている。

次ｌこ本実施例の装置によりインクマークされる手順を
説明する。ウエハプローバ制御部４０では、第４図に示
すような座標を従来通りマイクロプロセッサ部３７で計
算しておき、この座標情報をＸＹＺ移動座標発生部３８
から信号線４２を介してデツプ座標パターン記憶処理部
４３に与える。またマイクロプロセッサ部３７からもマ
ーキングイネーブル信号、狸々のタイミング信号、ステ
ィタス信号を（Ｎ号腺４１を介してチップ座標パターン
記憶処理部４３に送出する。これらの情報と、チップ座
標情報記憶部４５に記憶されているチップ座標パターン
情報とを処理した結果を信号線４４に送出する。これを
受けたインクマーク操作部３０は、ウェハテスタ７から
出された良、不良信号情報と共にアンド操作部３■で処
理し、インクマーク機構の動作信号を発生させ、Ｃの信
号を基にしてインクジェット駆動部３２が動作し、イン
ク供給Ｈ構３４を制御する１、インクだめ３５を出たイ
ンクはインク供給機構３４により加圧、方向制御され、
ジエ゛ソトノス゛ル３６から射出されてウェハ１−Ｊ：
＋、’ｚ不良表示のためのマークを（’Ｊ’−／ｊする
。第６図は以−４二のようにしてマーク付けされたパタ
ーン例を示す。

信号線４４（・こおけるパターン情報は第５図に示すよ
うな階段形のパターンであるが、インクジエ゛ソ１−駆
動部３２から４３号＃３３に出される情報は第６図の斜
線で示した不良インクマークパターンとなる。従って、
本実施例によれば、ウェハ上以外の部分ではインク供給
機構３４が全く動作せず、不必要な場所でのインクの射
出を完全に防市することができる。また無駄な電力消費
をなくすこともできる。

次に不発明の他の実施例について説す］する。前記実施
例においては、インクジェットのマーク動作が第５図の
座標パターン内に限定でき合理的であるが、ブローバ装
置洸としては、ＸＹＺ移動テーブル２がウェハ上以外の
位置ζこも移動するので、動作＆ｃ　ｐＡ駄がある。本
実施例はこの点を改良したものであり、信号の流れを第
３図の破線で示すように変えたものである。即ぢ、チッ
プ座標パターン’ｆｒｒ２　＋、α処理部４３の適当な
情報を破線で示された信号腺４６に乗せ、ＸＹＺテーブ
ル操作部３９に送り、処理した結果により第４図に示す
座標パターン内で、ＸＹＺ移動テーブル２、即ぢウェハ
１をピッチ送りさせる。従って、ウェハ１−ヒ（７）　
測定検査したいチップ上のみ検査されるようにウェハｌ
が移動する。

ウェハ１がピッチ送りされると、マイクロプロセッサ部
３７からマークイネーブル信号が信号、ｌカ４７を通じ
てアンド操作部３１１こ送られ、インクジェット駆動部
３２が作動するので、本実施例においても、第６図に示
した不良マークツクターン例と同様のものが得られる。

本実施例によれば、インクマーク機構の動作およびＸＹ
Ｚ移動テーブル２のピッチ送り動作が゛′ノエハ而面の
みで行なわれるので、ＸＹＺ移動テーブルの駆動電力と
インクジェット駆動部の駆動電力が低減できる。またウ
エノ１全体での移動時間を短縮さぜる効果を有する。

なお、上記実施例においてはインクマーク機構としてイ
ンクジェット方式を採用した例について述べたが、従来
の押印方式を採用してもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、インクジェット方式のインクマーク機
構の動作範囲がウエノ＼上に限定できるので、従来問題
であったウエノ１外でインク射出するという不都合を解
消することができる。また従来の押印方式のインクマー
ク機構を採用した場合でも無駄押し動作が無くなり、全
体として合理的な不良チップインクマークシステムを構
成できる。

またチップ座標パターン記憶処理部からの出力信号をＸ
ＹＺテーブル操作部に加えることにより、ＸＹＺ移動テ
ーブルのピッチ移動動作およびテスト回数の適正化を図
ることができ、省エネルギ効果とウェハ全体の検査時間
の大幅な短縮効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のインクマーク制御装置の説明図、第２図
は従来のＸ　Ｙ　７．移動座標発生部の座標情報を示す
説明図、第３図は本発明のインクマーク制御装置の２つ
の実施例を同時に示す説明図、第４図はＸＹＺ移動座標
発生部におけるＸＹＺテーブル移動情報の一例を示す説
明図、第５図はチ゛ツブ座標情報記憶部の座標情報パタ
ーンの説明図、第６図は不良インクマーク結果のパター
ン例を示す＋ｔ８Ｆ、明図である。 ｌ・・・ウェハ、　２・・・ＸＹＺ移動テーブル、７・
・・ウェハテスタ、　３０・・・インクマーク操作部、
　３１・・・アンド操作部、　３２・・・インクシェツ
ト駆動部、　３４・・・インク供給機構、３８・・・Ｘ
ＹＺ移動座標発生部、４０・・・ウニ／’ｔプローバ制
御部、　４３・・・チ′ツブ座標／　ＮＯターン記憶処
理部。 第１図 第２図 第４図　第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＸＹＺ移動テーブルを制御するウエハプローバ制御部と
   、このウエハブローバ制御部からの信号とウェハテスタ
   力１らの信号と力）らインクマーク信号を発生するイン
   クマーク操作部と、前記インクマーク信号により不良チ
   ップ上ｌこ不良表示マークを付与するインクマーク部と
   を備えたウエハプローバ用インクマーク制御装置におい
   て、チップ座標パターン情報を記憶しかつ所定の処理を
   行なうチップ座標パターン記憶処理部を備え、前記ウエ
   ハプローバ制御部内−こ設けられた。１（ＹＺテーブル
   移動座標発生部の移動パターン情報と、前記チップ座標
   パターン記憶処理部のチップ座標パターン情報と、ウェ
   ハテスタから得られる不良情報信号とを処理して得られ
   る信号によりインクマ〜り動作させるようｌこしたこＬ
   を特徴とするウエハプローバ用インクマーク制御装置。