JPS609964U - プラズマ・化学気相成長装置 - Google Patents

プラズマ・化学気相成長装置

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JPS609964U
JPS609964U JP9963583U JP9963583U JPS609964U JP S609964 U JPS609964 U JP S609964U JP 9963583 U JP9963583 U JP 9963583U JP 9963583 U JP9963583 U JP 9963583U JP S609964 U JPS609964 U JP S609964U
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Japan
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plasma
tooth ring
cylindrical
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荒木　信
裕二 上原
手島　章友
航平 清田
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のプラズマ＝化学気相成長装置の基本構成
を示す概略要部断面図、第２図は本考案に係るプラズマ
・化学気相成長装置の円筒状電極の一実施例を示す概略
斜視図、第３図及び第４図は第一２図の円筒状電極の分
解概略斜視図である。 図面において、２３は円筒状電極、２３ａは電極主体、
２３ｂは電極副体、２４は複数のガス噴出孔、２８はガ
ス導入管、Ａ、　Ｂは櫛歯環形状部を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 内周面に外部より導入した反応原料ガスを噴出する複数
    のガス噴出孔が穿設された円筒状電極の内部に、円筒型
    基体を回転自在に配置し、回転する円筒型基体と前記電
    極との間で反応原料ガスをプラズマにより分解して、該
    円筒型基体の外周面に薄膜を形成させる装置構成におい
    て、上記円筒状電極が、該電極の長さ方向に櫛歯環形状
    を有する電極主体と、該電極主体の櫛歯環形状部に対応
    して嵌合する櫛歯環形状部の内面に、外部より導入した
    反応原料ガスを噴出する複数のガス噴出孔が穿設された
    電極副体とから成り、該両電極体をその各櫛歯環形状部
    で嵌脱自在に組み合わせた電極構成を有することを特徴
    とするプラズマ・化学気相成長装置。
JP9963583U 1983-06-27 1983-06-27 プラズマ・化学気相成長装置 Granted JPS609964U (ja)

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JPS609964U true JPS609964U (ja) 1985-01-23
JPS6140773Y2 JPS6140773Y2 (ja) 1986-11-20

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