JPS6063561U - プラズマｃｖｄ装置 - Google Patents

プラズマｃｖｄ装置

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Publication number
JPS6063561U
JPS6063561U JP1983156368U JP15636883U JPS6063561U JP S6063561 U JPS6063561 U JP S6063561U JP 1983156368 U JP1983156368 U JP 1983156368U JP 15636883 U JP15636883 U JP 15636883U JP S6063561 U JPS6063561 U JP S6063561U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plasma cvd
electrode
electrodes
substrate
cvd equipment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1983156368U
Other languages
English (en)
Inventor
荒木　信
航平 清田
手島　章友
裕二 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS6063561U publication Critical patent/JPS6063561U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来のプラズマＣＶＤ装置の基本
構成を示しａは縦断面図、ｂは横断面図、第３図は第２
図に示した従来のプラズマＣＶＤ装置におけるガスの流
れを示す図、第４図ａおよびｂは本考案に係るプラズマ
ＣＶＤ装置の縦断面図および横断面図、第５図は本考案
のプラズマＣＶＤ装置におけるガスの流れを示す図であ
る。 図面において、１は基台、２はベルジャ、３は円筒形電
極、４，３３はガス噴出孔、５はヒータ、６は基体ホル
ダ、７は回転駆動部、８はガス導入口、９はガス排気口
、１０は高周波電源、１１は円筒形基体、２１．３１は
ガス噴出用電極、２２．３２はガス排気用電極、２３．
３４はガス吸入孔、Ａは反応ガスの流れていない領域を
それぞれ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する円筒形基体と該基体の外周面を囲むように配置
    した電極との間でプラズマを発生させて反応原料ガスを
    分解することにより、前記基体の外周面に薄膜を形成す
    る装置構成において、前記電極は外部から導入された反
    応原料ガスを噴出する第１の電極と、ガス排出用の第２
    の電極からなり、これら゛第１および第２の電極はその
    数がそれぞれ２個以上で、かつ交互に配置されているこ
    とを特徴とするプラズマＣＶＤ装置。
JP1983156368U 1983-10-07 1983-10-07 プラズマｃｖｄ装置 Pending JPS6063561U (ja)

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JP1983156368U JPS6063561U (ja) 1983-10-07 1983-10-07 プラズマｃｖｄ装置

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JPS6063561U true JPS6063561U (ja) 1985-05-04

Family

ID=30345066

Family Applications (1)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57188672A (en) * 1981-05-18 1982-11-19 Oki Electric Ind Co Ltd Formation of glow discharge film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57188672A (en) * 1981-05-18 1982-11-19 Oki Electric Ind Co Ltd Formation of glow discharge film

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