JPS6110310A - 弾性表面波トランスジユ−サ - Google Patents
弾性表面波トランスジユ−サInfo
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
１発明の技術分野］
本発明は反射スプリアスを改善した低損失の弾性表面波
トランスジューサに関する。
トランスジューサに関する。
［発明の技術的背景］
弾性表面波トランスジューサとしては、圧電基板表面に
くし歯状電極（ＩＤＴ）を設けたものが実用されている
。
くし歯状電極（ＩＤＴ）を設けたものが実用されている
。
ＩＤＴは第１及び第２のくし歯形電極を対向させ、電極
指をある間隙を設けて互いに交差させて構成したもので
ある。
指をある間隙を設けて互いに交差させて構成したもので
ある。
このＩＤＴの電極ストリップのピッチや交差幅等を変化
させることにより、種々の周波数特性を実現することが
できる。
させることにより、種々の周波数特性を実現することが
できる。
上記ＩＤＴを用いて構成された各種弾性表面波装置にお
いて、常に問題となるスプリアスとしてＩＤＴによる表
面波の反射スプリアスがある。この反射スプリアスは、
実際にフィルタや遅延線を構成した場合にトリプル・ト
ランジット・エコー（Ｔ −＋−Ｅ ）の形で現われ、
特性を著しく劣化させる原因となっている。
いて、常に問題となるスプリアスとしてＩＤＴによる表
面波の反射スプリアスがある。この反射スプリアスは、
実際にフィルタや遅延線を構成した場合にトリプル・ト
ランジット・エコー（Ｔ −＋−Ｅ ）の形で現われ、
特性を著しく劣化させる原因となっている。
この反射スプリアスの要因として、ＩＤＴの電極部と間
隙部の音響インピーダンスの差により生じる音響的反射
成分Ｒ＾と、ＩＤＴの電気的な再励起により生じる電気
的反射成分ＲＥの二つがある。
隙部の音響インピーダンスの差により生じる音響的反射
成分Ｒ＾と、ＩＤＴの電気的な再励起により生じる電気
的反射成分ＲＥの二つがある。
この反射スプリアスを取り除くには、音響的反射成分Ｒ
＾と電気的反射成分ＲＥとを互いに逆相となるように発
生させて打ち消し合うようにすればよい。
＾と電気的反射成分ＲＥとを互いに逆相となるように発
生させて打ち消し合うようにすればよい。
従来から、このような考え方に基づいて、音響インピー
ダンスの差により生ずる音響的反射成分Ｒ＾と電気的な
再励起により生ずる電気的反射成分Ｒεとを互いに打ち
消し合うように構成したものとして、第２図に示すよう
な弾性表面波トランスジューサが知られている。
ダンスの差により生ずる音響的反射成分Ｒ＾と電気的な
再励起により生ずる電気的反射成分Ｒεとを互いに打ち
消し合うように構成したものとして、第２図に示すよう
な弾性表面波トランスジューサが知られている。
同図において、符号１で示される圧電基板上には、第１
のくし歯形電極２および第２のくし歯形電極３が、それ
ぞれの電極指をある間隙をおいて互いに交差させて形成
されている。
のくし歯形電極２および第２のくし歯形電極３が、それ
ぞれの電極指をある間隙をおいて互いに交差させて形成
されている。
これらのくし歯形電極２．３には、それぞれ第１の電極
指４ａと第２の電極指４ｂとからなる電極指対４が長手
方向に所定のピッチで設けられている。
指４ａと第２の電極指４ｂとからなる電極指対４が長手
方向に所定のピッチで設けられている。
これらの各電極指４ａ 、４ｂは、それぞれその幅が圧
電基板１を伝播する弾性表面波の波長λの略１／８とな
り、かつ各電極指間の間隙も略１／８λとなるように形
成されている。
電基板１を伝播する弾性表面波の波長λの略１／８とな
り、かつ各電極指間の間隙も略１／８λとなるように形
成されている。
そしてこれらの電極指４ｂの電極指端部の音響的反射が
電極指４ａのそれに比べて大きくなるように形成されて
いる。
電極指４ａのそれに比べて大きくなるように形成されて
いる。
このような電極指対の音響的反射の調整は、例えば、各
電極指をアルミニウム薄膜で形成した後、第２の電極指
４ｂの部分にのみ、クロム膜を積層させて二層構造にす
ることにより実現される。このとき、電極指部と間隙部
の音響インピーダンス不整合により生じる音響的反射成
分Ｒ＾には主として第２の電極指４ｂが寄与し、電気的
な再励起により生じる電気的反射成分ＲＥと音響的反射
成分Ｒ＾とが互いに逆相の関係で生じ、互いに打ち消し
合うようになる。
電極指をアルミニウム薄膜で形成した後、第２の電極指
４ｂの部分にのみ、クロム膜を積層させて二層構造にす
ることにより実現される。このとき、電極指部と間隙部
の音響インピーダンス不整合により生じる音響的反射成
分Ｒ＾には主として第２の電極指４ｂが寄与し、電気的
な再励起により生じる電気的反射成分ＲＥと音響的反射
成分Ｒ＾とが互いに逆相の関係で生じ、互いに打ち消し
合うようになる。
［背景技術の問題点］
ところでこのトランスジューサの反射特性のインパルス
応答を時間軸１土でみると、第３図に示すように、音響
的反射成分Ｒ＾のインパルス応答が破線で示すように矩
形状をなして現われるのに対して、電気的反射成分ＲＥ
のインパルス応答は同図に一点鎖線で示すように時間の
経過にともない変化する三角形状をなして現われる。
応答を時間軸１土でみると、第３図に示すように、音響
的反射成分Ｒ＾のインパルス応答が破線で示すように矩
形状をなして現われるのに対して、電気的反射成分ＲＥ
のインパルス応答は同図に一点鎖線で示すように時間の
経過にともない変化する三角形状をなして現われる。
したがって、音響的反射成分Ｒ＾と電気的反射成分ＲＥ
の合成波Ｒは、同図に実線Ｒで示すように変化し、イン
パルス応答が零になるのは狭い範囲であって時間軸ｔの
全域にわたって零になることはない。
の合成波Ｒは、同図に実線Ｒで示すように変化し、イン
パルス応答が零になるのは狭い範囲であって時間軸ｔの
全域にわたって零になることはない。
これを周波数軸ｆ上に置き換えてみると、第４図に示す
ように、音響的反射成分Ｒ＾の強度と電気的反射成分Ｒ
Ｅの強度が略等しくなる範囲は、トランスジューサの中
心周波数のごく近傍に限られることがわかる。
ように、音響的反射成分Ｒ＾の強度と電気的反射成分Ｒ
Ｅの強度が略等しくなる範囲は、トランスジューサの中
心周波数のごく近傍に限られることがわかる。
このため、従来の弾性表面波トランスジューサでは、反
射スプリアスの総和が零になる周波数範囲は極めて狭く
、帯域内の両側において大きな反射スプリアスが生じる
ため、帯域全域にわたって反射スプリアスの影響を充分
に取り除くことができないという問題があった。
射スプリアスの総和が零になる周波数範囲は極めて狭く
、帯域内の両側において大きな反射スプリアスが生じる
ため、帯域全域にわたって反射スプリアスの影響を充分
に取り除くことができないという問題があった。
［発明の目的〕
本発明は上述した従来の欠点を解決するためになされた
もので、広い帯域にわたって反射スプリアスのない弾性
表面波トランスジューサを提供することを目的とする。
もので、広い帯域にわたって反射スプリアスのない弾性
表面波トランスジューサを提供することを目的とする。
［発明の概要］
すなわち本発明の弾性表面波トランスジューりは、圧電
基板上に、電気的反射のみが生じ音響的反射が零となる
第１のタイプの電極指対と、電気的反射及び音響的反射
の両者が生じる第２のタイプの電極指対とが組み合され
て形成され、前記第１のタイプの電極指対はそれぞれ圧
電基板を伝搬する弾性表面波の波長の略１／８の幅寸法
の第１の電極指と第２の電極指とで構成され、前記第２
のタイプの電極指対はそれぞれ圧電基板を伝播する弾性
表面波の波長の略１／８の幅寸法の第３の電極指と第４
の電極指とで構成され、かつ第３の電極指または第４の
電極指が互いに音響的反射が異なるように形成されてい
ることを特徴としている。
基板上に、電気的反射のみが生じ音響的反射が零となる
第１のタイプの電極指対と、電気的反射及び音響的反射
の両者が生じる第２のタイプの電極指対とが組み合され
て形成され、前記第１のタイプの電極指対はそれぞれ圧
電基板を伝搬する弾性表面波の波長の略１／８の幅寸法
の第１の電極指と第２の電極指とで構成され、前記第２
のタイプの電極指対はそれぞれ圧電基板を伝播する弾性
表面波の波長の略１／８の幅寸法の第３の電極指と第４
の電極指とで構成され、かつ第３の電極指または第４の
電極指が互いに音響的反射が異なるように形成されてい
ることを特徴としている。
［発明の実施例］
以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図において、符号１１で示される、ニオブ酸リチウ
ム（Ｌｉ Ｎｂ ０３ ） 、タンタル酸リチウム（Ｌ
ｉ Ｔａ ０３ ）等の圧電材料で形成された圧電基板
の弾性表面波伝播路には、第１のくし歯形電極１２と第
２のくし歯形電極１３との電極指対１４．１５を交差さ
せて弾性表面波トランスジューサが構成されている。
ム（Ｌｉ Ｎｂ ０３ ） 、タンタル酸リチウム（Ｌ
ｉ Ｔａ ０３ ）等の圧電材料で形成された圧電基板
の弾性表面波伝播路には、第１のくし歯形電極１２と第
２のくし歯形電極１３との電極指対１４．１５を交差さ
せて弾性表面波トランスジューサが構成されている。
これらの電極指対１４．１５は、図に示すように、電気
的反射成分ＲＥのみが生じ音響的反射成分Ｒ［がほぼ零
になる第１のタイプの電極指対１４と、後述する２層構
造により電気的反射ＲＥおよび音響的反射Ｒ＾が生じる
ように形成された第２９タイプの電極指対１５との組合
せからなっている。
的反射成分ＲＥのみが生じ音響的反射成分Ｒ［がほぼ零
になる第１のタイプの電極指対１４と、後述する２層構
造により電気的反射ＲＥおよび音響的反射Ｒ＾が生じる
ように形成された第２９タイプの電極指対１５との組合
せからなっている。
第１のタイプの電極指１４を構成する電極指１４ａ、１
４ｂの幅寸法は、それぞれ圧電基板１１を伝播する弾性
表面波の波長λの略１／８に設定されており、これらの
電極指を構成するアルミニウム膜の膜厚は同一厚みとさ
れている。
４ｂの幅寸法は、それぞれ圧電基板１１を伝播する弾性
表面波の波長λの略１／８に設定されており、これらの
電極指を構成するアルミニウム膜の膜厚は同一厚みとさ
れている。
また、第２のタイプの電極指対１５を構成する電極指１
５ａ、１５ｂの幅寸法も同様に第１のタイプの電極指対
１４と同一膜厚のアルミニウム膜により形成され、かつ
それぞれ波長λの略１／８の幅に設定しであるが、１５
ｂには、さらにクロム膜が形成されてアルミニウムーク
ロムの２層構造とされている。すなわち、第２の電極指
対１５は、アルミニウム膜の部分１５ａとアルミニウム
ークロムの２層構造の部分１５ｂとからなっている。
５ａ、１５ｂの幅寸法も同様に第１のタイプの電極指対
１４と同一膜厚のアルミニウム膜により形成され、かつ
それぞれ波長λの略１／８の幅に設定しであるが、１５
ｂには、さらにクロム膜が形成されてアルミニウムーク
ロムの２層構造とされている。すなわち、第２の電極指
対１５は、アルミニウム膜の部分１５ａとアルミニウム
ークロムの２層構造の部分１５ｂとからなっている。
また上記の第２のタイプの電極指対１５のアルミニウム
ークロムの２層構造部分１５ｂの交差幅方向の艮ざは、
弾性表面波の伝播方向に沿ってトランスジューサの中央
で最大となり両端で零となるようにひし形状（図中破線
で示す）に増減されている。
ークロムの２層構造部分１５ｂの交差幅方向の艮ざは、
弾性表面波の伝播方向に沿ってトランスジューサの中央
で最大となり両端で零となるようにひし形状（図中破線
で示す）に増減されている。
この弾性表面波トランスジューサの反射特性のインパル
ス応答を時間軸【上で見ると、第５図に示すように、音
響的反射成分Ｒ＾は第２のタイプの電極指対１５のアル
ミニウムークロムの２層構造の部分１５ｂの形状に対応
して図示破線で示すように三角形状に変化する。
ス応答を時間軸【上で見ると、第５図に示すように、音
響的反射成分Ｒ＾は第２のタイプの電極指対１５のアル
ミニウムークロムの２層構造の部分１５ｂの形状に対応
して図示破線で示すように三角形状に変化する。
一方、電気的反射成分ＲＥは電気的再励起により各電極
から次々と発生した波が重なり合い、この重なりの厚み
が反射レベルとなりこのレベルの変化が図示一点鎖線で
示すように三角形状に変化する。
から次々と発生した波が重なり合い、この重なりの厚み
が反射レベルとなりこのレベルの変化が図示一点鎖線で
示すように三角形状に変化する。
このように音響的反射成分Ｒ＾と電気的反射成分ＲＥと
が打ち消し合うように第２のタイプの電極指対１５の電
極指の２層構造部分１５ｂのパターンを変化させて形成
すれば、反射波の総和を周波数帯域幅全体にわたって零
にすることができる。
が打ち消し合うように第２のタイプの電極指対１５の電
極指の２層構造部分１５ｂのパターンを変化させて形成
すれば、反射波の総和を周波数帯域幅全体にわたって零
にすることができる。
これにより、反射スプリアスが除去され弾性表面波トラ
ンスジューサの特性を著しく向上させることができる。
ンスジューサの特性を著しく向上させることができる。
第６図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。な
お、以下の図において、第１図と共通する部分には同一
符号を付しである。
お、以下の図において、第１図と共通する部分には同一
符号を付しである。
この実施例の弾性表面波トランスジューサは、第１図に
示した実施例の、くし歯形電極の最外側に位置する電極
指対の外側に、幅が１／８λで、電極指の交差幅の略１
／２の長さの補助電極指１６を付加して構成されている
。このように構成された弾性表面波トランスジューサで
は、第１図に示した実施例のそれと比較して、くし歯形
電極端部のスプリアスかくし歯形電極上半分と下半分で
往復１／２λの行路差を生じ、その結果、くし歯形電極
上半分からの反射波と、下半分からの反射波の位相が逆
相となり互いに打ち消しあうことになる。
示した実施例の、くし歯形電極の最外側に位置する電極
指対の外側に、幅が１／８λで、電極指の交差幅の略１
／２の長さの補助電極指１６を付加して構成されている
。このように構成された弾性表面波トランスジューサで
は、第１図に示した実施例のそれと比較して、くし歯形
電極端部のスプリアスかくし歯形電極上半分と下半分で
往復１／２λの行路差を生じ、その結果、くし歯形電極
上半分からの反射波と、下半分からの反射波の位相が逆
相となり互いに打ち消しあうことになる。
第７図は、さらに本発明の伯の実施例を示す平面図であ
る。
る。
このトランスジューサは、第１図に示した実施例におけ
る第１のタイプの電極指対１４と第２のタイプ電極指対
１５とを、交差幅方向く弾性表面波の伝播方向に直角方
向）に分割して分布させて設けたものである。この実施
例のトランスジューサでは、音響的反射成分Ｒ＾の交差
幅方向の振幅を一様に近づける効果がある。
る第１のタイプの電極指対１４と第２のタイプ電極指対
１５とを、交差幅方向く弾性表面波の伝播方向に直角方
向）に分割して分布させて設けたものである。この実施
例のトランスジューサでは、音響的反射成分Ｒ＾の交差
幅方向の振幅を一様に近づける効果がある。
その結果表面波ビーム幅方向においても音響的反射成分
Ｒ＾と電気的反射成分ＲＥの反射打消し効果を得ること
ができるようになり、フィルタ等を構成する場合の相手
側ＩＤＴの選択の自由度が増すという長所がある。
Ｒ＾と電気的反射成分ＲＥの反射打消し効果を得ること
ができるようになり、フィルタ等を構成する場合の相手
側ＩＤＴの選択の自由度が増すという長所がある。
第８図は、本発明のさらに他の実施例を示す平面図であ
る。
る。
この実施例では、第１のタイプの電極指対１４と、第２
のタイプの電極指対１５を、弾性表面波の伝波方向に分
布させて構成されている。この構造のトランスジューサ
は、励撮効率の垂み付けをいわゆる抜き電極の手法によ
り制御でき、かつこの場合電気的反射波形に対応させて
、音響的反射を生じる電極指対の分布パターンを弾性表
面波伝播方向に密度変化させることにより制御すること
が可能である。
のタイプの電極指対１５を、弾性表面波の伝波方向に分
布させて構成されている。この構造のトランスジューサ
は、励撮効率の垂み付けをいわゆる抜き電極の手法によ
り制御でき、かつこの場合電気的反射波形に対応させて
、音響的反射を生じる電極指対の分布パターンを弾性表
面波伝播方向に密度変化させることにより制御すること
が可能である。
この実施例によれば、電気的反射成分ＲＥ、音響的反射
成分Ｒ＾とも表面波ビーム幅方向に沿って均一なパワー
分布左なるため、電気的反射ＲＥと音響的反射Ｒ＾との
反射打ち消し効果がほぼ完全に達成され得るとともに、
いわゆるアボダイズロスが存在しないため低損失化をも
図ることができる。上記ＩＤＴをフィルタに応用した場
合は、比帯域幅が３％以下程度の狭帯域フィルタに対し
て、特に効果が顕著である。
成分Ｒ＾とも表面波ビーム幅方向に沿って均一なパワー
分布左なるため、電気的反射ＲＥと音響的反射Ｒ＾との
反射打ち消し効果がほぼ完全に達成され得るとともに、
いわゆるアボダイズロスが存在しないため低損失化をも
図ることができる。上記ＩＤＴをフィルタに応用した場
合は、比帯域幅が３％以下程度の狭帯域フィルタに対し
て、特に効果が顕著である。
なお以上の実施例では、電極指の交差幅を全て一定とし
た場合について述べたが、第９図に示すように交差幅が
弾性表面波伝播方向に沿って変化する場合にも本発明を
適用することができる。この場合、電気的反射成分Ｒ＾
は電極指の交差領域から発生するのに対し、音響的反射
成分Ｒ＾は、交差していない領域１７（ダミー電極頭１
１） （図中破線で囲まれた部分の外側の領域）にお
いても発生させることが可能である。このとき音響的反
射を生じる電極指対の第２電極１５ｂのパターンは概路
次のようにして決定することができる。すなわち交差領
域（図中破線で囲まれた領域）に相当するインパルス応
答を決定した後、その自己コンボリューションを求め、
その時間幅を１／２に圧縮した波形に相当するように音
響反射領域を設ければよい。この場合、第９図に示した
ように、電気的反射波と音響的反射波が互いに逆相にな
る通常の領域（図のＣの領域）の他に、電気的反射波と
音響的反射波が互いに同相となる領域（図のＤ領Ｖｉ）
が生じることがある。また第９図に示した構成のくし歯
形電極において、表面波ビーム幅方向においても電気的
反射成分ＲＥと音響的反射成分Ｒ＾の打消し効果を達成
する為に音響反射部を交差幅方向に不均一に分布させる
ことも可能である。
た場合について述べたが、第９図に示すように交差幅が
弾性表面波伝播方向に沿って変化する場合にも本発明を
適用することができる。この場合、電気的反射成分Ｒ＾
は電極指の交差領域から発生するのに対し、音響的反射
成分Ｒ＾は、交差していない領域１７（ダミー電極頭１
１） （図中破線で囲まれた部分の外側の領域）にお
いても発生させることが可能である。このとき音響的反
射を生じる電極指対の第２電極１５ｂのパターンは概路
次のようにして決定することができる。すなわち交差領
域（図中破線で囲まれた領域）に相当するインパルス応
答を決定した後、その自己コンボリューションを求め、
その時間幅を１／２に圧縮した波形に相当するように音
響反射領域を設ければよい。この場合、第９図に示した
ように、電気的反射波と音響的反射波が互いに逆相にな
る通常の領域（図のＣの領域）の他に、電気的反射波と
音響的反射波が互いに同相となる領域（図のＤ領Ｖｉ）
が生じることがある。また第９図に示した構成のくし歯
形電極において、表面波ビーム幅方向においても電気的
反射成分ＲＥと音響的反射成分Ｒ＾の打消し効果を達成
する為に音響反射部を交差幅方向に不均一に分布させる
ことも可能である。
なお上記の説明において、厳密には外部回路の負荷条件
等により電気的反射波形が変化し、また音響的反射波も
電極指間の多重反射を考慮せねばならない。しかしこれ
らはＩＤＴの等価回路モデル等により解析することが可
能でありその解析結果に基いて、最終的なパターンを決
定すればよい。
等により電気的反射波形が変化し、また音響的反射波も
電極指間の多重反射を考慮せねばならない。しかしこれ
らはＩＤＴの等価回路モデル等により解析することが可
能でありその解析結果に基いて、最終的なパターンを決
定すればよい。
以上、本発明についていくつかの実施例を挙げて説明し
たが、本発明はこれらの実施例には何等拘束されるもの
ではなく、例えばマルチストリップカブラ（ＭＳＣ）と
並用したり、薄膜誘電体と並用したり圧電薄膜に適用し
たり、音響反射部として、グループ（満）を用いたり、
その池水発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可
能Ｃある。
たが、本発明はこれらの実施例には何等拘束されるもの
ではなく、例えばマルチストリップカブラ（ＭＳＣ）と
並用したり、薄膜誘電体と並用したり圧電薄膜に適用し
たり、音響反射部として、グループ（満）を用いたり、
その池水発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可
能Ｃある。
〔発明の効果］
本発明によれば、従来の弾性表面波トランスジューサと
比べて音響的反射成分と電気的反射成分とが打ち消し合
う範囲が成し、広い帯域で反射スプリアスの少ない弾性
表面波トランスジユーザを実現できる。
比べて音響的反射成分と電気的反射成分とが打ち消し合
う範囲が成し、広い帯域で反射スプリアスの少ない弾性
表面波トランスジユーザを実現できる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図は従来の弾
性表面波トランスジューサの平面図、第３図および第４
図はそれぞれそのインパルス特性図および周波数特性図
、第５図はそのインパルス特性図、第６図ないし第９図
はそれぞれ本発明の他の実施例を示す平面図である。 １．２・・・・・・くし歯形電極 ７・・・・・・・・・・・・電極領域 ９・・・・・・・・・・・・補助電極指１４・・・・・
・・・・・・・第１のタイプの電極指対１５・・・・・
・・・・・・・第２のタイプの電極指対１５ａ・・・・
・・・・・アルミニウム膜の部分１５ｂ・・・・・・・
・・アルミニウムークロムの２層構造の部分 代理人弁理士 須 山 佐 −・ 第１図 第２図 φ 第３図 第４図
性表面波トランスジューサの平面図、第３図および第４
図はそれぞれそのインパルス特性図および周波数特性図
、第５図はそのインパルス特性図、第６図ないし第９図
はそれぞれ本発明の他の実施例を示す平面図である。 １．２・・・・・・くし歯形電極 ７・・・・・・・・・・・・電極領域 ９・・・・・・・・・・・・補助電極指１４・・・・・
・・・・・・・第１のタイプの電極指対１５・・・・・
・・・・・・・第２のタイプの電極指対１５ａ・・・・
・・・・・アルミニウム膜の部分１５ｂ・・・・・・・
・・アルミニウムークロムの２層構造の部分 代理人弁理士 須 山 佐 −・ 第１図 第２図 φ 第３図 第４図
Claims (6)
- （１）圧電基板上に、電気的反射のみが生じ音響的反射
が零となる第１のタイプの電極指対と、電気的反射及び
音響的反射の両者が生じる第２のタイプの電極指対とが
組み合されて形成され、前記第１のタイプの電極指対は
それぞれ圧電基板を伝搬する弾性表面波の波長の略１／
８の幅寸法の第１の電極指と第２の電極指とで構成され
、前記第２のタイプの電極指対はそれぞれ圧電基板を伝
播する弾性表面波の波長の略１／８の幅寸法の第３の電
極指と第４の電極指とで構成され、かつ第３の電極指ま
たは第４の電極指が互いに音響的反射が異なるように形
成されていることを特徴とする弾性表面波トランスジュ
ーサ。 - （２）最外側に位置する電極指対は、その外側に圧電基
板を伝播する弾性表面波の波長の略１／８の巾寸法であ
つて電極指の交差幅の略１／２の長さの補助電極指を有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性
表面波トランスジューサ。 - （３）第１のタイプの電極指対と第２のタイプの電極指
対とを交差幅方向に分布させたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の弾性表面波トランスジューサ。 - （４）第１のタイプの電極指対と第２のタイプ電極指対
とを、弾性表面波の伝播方向に分布させたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波トランスジ
ューサ。 - （５）第３の電極指または第４の電極指が２種以上の導
電体の積層体で形成されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の弾性表面波トランスジューサ。 - （６）第１のタイプの電極指対と第２のタイプの電極指
対の他に、電気的反射に寄与しない第３のタイプの電極
指対（ダミー電極部）を有することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の弾性表面波トランスジューサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13176584A JPS6110310A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13176584A JPS6110310A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110310A true JPS6110310A (ja) | 1986-01-17 |
Family
ID=15065642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13176584A Pending JPS6110310A (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009278429A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884517A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-20 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスジユ−サ |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP13176584A patent/JPS6110310A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884517A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-20 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスジユ−サ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009278429A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
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