JPS611034A - ウエハチツプパタ−ン検査装置 - Google Patents
ウエハチツプパタ−ン検査装置Info
- Publication number
- JPS611034A JPS611034A JP12076584A JP12076584A JPS611034A JP S611034 A JPS611034 A JP S611034A JP 12076584 A JP12076584 A JP 12076584A JP 12076584 A JP12076584 A JP 12076584A JP S611034 A JPS611034 A JP S611034A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- row
- chip
- chip pattern
- wafer
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハ上に形成されたチップパターンの外観検
査に際し、簡単な初期操作により、ウェハ上に行列状に
配列されたチップパターンの一つの行に属する複数のチ
ップパターンが順次検査位置に来るようにステージを動
かすためのＸ、Ｙ方向移動量の比率を検知し、この比率
と検査対象品種に対して既知な隣接チップ間距離を装置
の制御部に記憶させることにより、ウェハ上で一つの行
の一端にあるチップパターンを検査位置に持ち来せば、
その後はステージが順次自動的に移動して、その行に属
する全てのチップパターンが次々に検査位置に送り込ま
れるようにしたウェハチップパターン検査装置に関する
。
査に際し、簡単な初期操作により、ウェハ上に行列状に
配列されたチップパターンの一つの行に属する複数のチ
ップパターンが順次検査位置に来るようにステージを動
かすためのＸ、Ｙ方向移動量の比率を検知し、この比率
と検査対象品種に対して既知な隣接チップ間距離を装置
の制御部に記憶させることにより、ウェハ上で一つの行
の一端にあるチップパターンを検査位置に持ち来せば、
その後はステージが順次自動的に移動して、その行に属
する全てのチップパターンが次々に検査位置に送り込ま
れるようにしたウェハチップパターン検査装置に関する
。
従来は、ウェハ内チップパターンの外観検査方法として
、全検査位置を作業者が入力（検査装置を制御するＣＰ
Ｕメモリに記憶）指定することが行われていた。しかし
、この方法は全チップ検査等、指定数が多い場合、時間
を要し、非能率的である。このような問題の対策として
、特公昭５４−１３７４９号公報に、多数のチップによ
り構成される検査対象チップ群を、複数の矩形状のブロ
ックに分割し、それらのブロックに設けられた位置ずけ
のための原点、Ｘ−Ｙ方向のチップ数により示されるブ
ロックの大きさおよびブロック数を入力することにより
、プログラムが自動的に検査装置を制御する方法が公示
されている。ホトリソグラフ法でチップパターンを形成
させたウェハを、検査のために、正確に微少位置調整の
出来るステージに載せた際、ステージのＸ、Ｙ移動方向
と、ウェハ上に行列状に配列されたチップパターンの行
、列方向とが一致せず、両者間に多少の角度誤差が存在
する場合がある。このような場合に対して、上記特許公
報に公示された方法は、何等考慮しておらず、チップが
、順次、検査位置に送りこまれるように正しくステージ
を動かす手順を予め確立しておくか、又は前記角度誤差
を予め修正しておかないと、効果を発揮できないという
問題があった。
、全検査位置を作業者が入力（検査装置を制御するＣＰ
Ｕメモリに記憶）指定することが行われていた。しかし
、この方法は全チップ検査等、指定数が多い場合、時間
を要し、非能率的である。このような問題の対策として
、特公昭５４−１３７４９号公報に、多数のチップによ
り構成される検査対象チップ群を、複数の矩形状のブロ
ックに分割し、それらのブロックに設けられた位置ずけ
のための原点、Ｘ−Ｙ方向のチップ数により示されるブ
ロックの大きさおよびブロック数を入力することにより
、プログラムが自動的に検査装置を制御する方法が公示
されている。ホトリソグラフ法でチップパターンを形成
させたウェハを、検査のために、正確に微少位置調整の
出来るステージに載せた際、ステージのＸ、Ｙ移動方向
と、ウェハ上に行列状に配列されたチップパターンの行
、列方向とが一致せず、両者間に多少の角度誤差が存在
する場合がある。このような場合に対して、上記特許公
報に公示された方法は、何等考慮しておらず、チップが
、順次、検査位置に送りこまれるように正しくステージ
を動かす手順を予め確立しておくか、又は前記角度誤差
を予め修正しておかないと、効果を発揮できないという
問題があった。
本発明は、ウェハを検査用ステージに載せた際に、ステ
ージのＸ−Ｙ移動方向とウェハ上のチップパターンの行
列状配列方向との間に方向誤差が存在する場合に、簡単
な初期操作により検査装置自体がウェハ上の一つの行に
属するチップパターンを順次検査位置に送り込むための
ステージの動かし方を検知記憶し、これに検査対象品種
に対して既知な隣接チップ間距離を追加入力するだけで
、ある行の端部のチップパターンを検査位置に手動で持
ち来せば、その行に属する全てのチップパターンが相次
いで自動的に検査位置に送り込まれるようにしたウェハ
チップパターン検査装置を提供すａ、：、＝を目的２す
６・ ；〔問題点を
解決するための手段〕 ステージのＸ、Ｙ移動方向とウェハ上のチップパターン
の行列状配列方向との間に方向誤差が存在する場合に、
ある行の一端のチップパターンを検査位置（チップパタ
ーン内の特定点が検査用顕微鏡の視野の中心に来る）に
持ち来した後、その行の他端のチップパターンが検査位
置に来るようにステージをＸ、Ｙ方向に移動させれば、
この際の移動量から、ステージをチップパターンの行方
向に動かすためのＸ、Ｙ方向移動量の比率が判り、装置
の制御部は此の比率を検知して記憶し、以後、ステージ
を常に正しくチップパターン配列の行方向に動かせるよ
うになる。これが本発明の大きな特徴である。検査品種
に対して既知な隣接チップ間距離を追加入力すれば、あ
る行の一端のチップパターンを検査位置に手動で持ち来
すと、その後は装置自体が自動的に其の行に属する全て
のチ・７プパターンを順次検査位置に送り込むようにで
きる。
ージのＸ−Ｙ移動方向とウェハ上のチップパターンの行
列状配列方向との間に方向誤差が存在する場合に、簡単
な初期操作により検査装置自体がウェハ上の一つの行に
属するチップパターンを順次検査位置に送り込むための
ステージの動かし方を検知記憶し、これに検査対象品種
に対して既知な隣接チップ間距離を追加入力するだけで
、ある行の端部のチップパターンを検査位置に手動で持
ち来せば、その行に属する全てのチップパターンが相次
いで自動的に検査位置に送り込まれるようにしたウェハ
チップパターン検査装置を提供すａ、：、＝を目的２す
６・ ；〔問題点を
解決するための手段〕 ステージのＸ、Ｙ移動方向とウェハ上のチップパターン
の行列状配列方向との間に方向誤差が存在する場合に、
ある行の一端のチップパターンを検査位置（チップパタ
ーン内の特定点が検査用顕微鏡の視野の中心に来る）に
持ち来した後、その行の他端のチップパターンが検査位
置に来るようにステージをＸ、Ｙ方向に移動させれば、
この際の移動量から、ステージをチップパターンの行方
向に動かすためのＸ、Ｙ方向移動量の比率が判り、装置
の制御部は此の比率を検知して記憶し、以後、ステージ
を常に正しくチップパターン配列の行方向に動かせるよ
うになる。これが本発明の大きな特徴である。検査品種
に対して既知な隣接チップ間距離を追加入力すれば、あ
る行の一端のチップパターンを検査位置に手動で持ち来
すと、その後は装置自体が自動的に其の行に属する全て
のチ・７プパターンを順次検査位置に送り込むようにで
きる。
角度誤差の存在にもかかわらず、ステージをウェハ上の
チップパターン配列の行方向に動かすためのｘ、Ｙ方向
移動量の比率を検知する方法について、第１図（ａ）に
より説明する。この図はウェハ１をステージ３の上に載
せた状態を示す。図中、Ｙ軸、Ｙ軸とあるのはステージ
３のＸ、、Ｙ移動方向を示す。ウェハ上のチップ２の配
列の行方向はステージ３のＹ軸に対して角度誤差だけ傾
いている。初期操作として、比較的多数のチップパター
ンよりなる成る行の一端のチップパターンを検査位置に
置いたのち（そのチップパターン内の特定点Ａ（Ｘ、、
Ｙρを検査用顕微鏡の視野の中心に置＜）、その行の他
端のチップパターンが検査位置に来るように（このチッ
プパターン内の特定点Ｂ （Ｘ、、 Ｙ２）が顕微鏡の
視野の中心に来る）ステージをＸ、Ｙ方向に移動させた
場合、前記ステージのＹ軸とウェハ上のチップパターン
配列の行方向とのなす角をθとし、Ｘ、Ｙ方向移動量を
それぞれｘ、ｙとすれば、ｙ＝ｔａｎθ・Ｘ となるこ
とは明らかである。即ち、ステージ３を常に此の式が成
立するように動かせば、ステージ３に載せられたウェハ
１上のチップパターン配列の行方向に、ステージ３が動
くことになる。即ち、一つの行に属する複数のチップパ
ターンが次々自動的に検査位置に送り込まれることにな
る。
チップパターン配列の行方向に動かすためのｘ、Ｙ方向
移動量の比率を検知する方法について、第１図（ａ）に
より説明する。この図はウェハ１をステージ３の上に載
せた状態を示す。図中、Ｙ軸、Ｙ軸とあるのはステージ
３のＸ、、Ｙ移動方向を示す。ウェハ上のチップ２の配
列の行方向はステージ３のＹ軸に対して角度誤差だけ傾
いている。初期操作として、比較的多数のチップパター
ンよりなる成る行の一端のチップパターンを検査位置に
置いたのち（そのチップパターン内の特定点Ａ（Ｘ、、
Ｙρを検査用顕微鏡の視野の中心に置＜）、その行の他
端のチップパターンが検査位置に来るように（このチッ
プパターン内の特定点Ｂ （Ｘ、、 Ｙ２）が顕微鏡の
視野の中心に来る）ステージをＸ、Ｙ方向に移動させた
場合、前記ステージのＹ軸とウェハ上のチップパターン
配列の行方向とのなす角をθとし、Ｘ、Ｙ方向移動量を
それぞれｘ、ｙとすれば、ｙ＝ｔａｎθ・Ｘ となるこ
とは明らかである。即ち、ステージ３を常に此の式が成
立するように動かせば、ステージ３に載せられたウェハ
１上のチップパターン配列の行方向に、ステージ３が動
くことになる。即ち、一つの行に属する複数のチップパ
ターンが次々自動的に検査位置に送り込まれることにな
る。
上記初期操作により装置の制御部がチップパターン配列
の行方向にステージを動かす方法すなわちＸ、Ｙ方向移
動量の比率を検知、記憶してしまえば、第１図（ａ）に
βでと示した隣接チップパターン間距離は検査対象品種
については既知であるから、その値を追加入力すれば、
検査装置の制御部はＡ点の存在するチップパターンから
始めて、自動的にρχずつステージを行方向に移動させ
て、最後のＢ点の存在するチップパターンに至るまで、
この行をなす全チップパターンを順次検査位置に自動的
に送り込む。
の行方向にステージを動かす方法すなわちＸ、Ｙ方向移
動量の比率を検知、記憶してしまえば、第１図（ａ）に
βでと示した隣接チップパターン間距離は検査対象品種
については既知であるから、その値を追加入力すれば、
検査装置の制御部はＡ点の存在するチップパターンから
始めて、自動的にρχずつステージを行方向に移動させ
て、最後のＢ点の存在するチップパターンに至るまで、
この行をなす全チップパターンを順次検査位置に自動的
に送り込む。
第１図（ｂ）は本発明一実施例の概略構成を示す。上記
の如く、ステージ３にウェハ１を載せた後、初期操作を
行うと、制御部６はステージをチップパターン配列の行
方向に動かす方法を検知、記憶する。以後は、上記りを
入力した上（この入力は一種類のウェハに対し一度入力
すれば十分である）、ある行の一端たとえば左端のチッ
プパターンを検査位置に持ち来すだけで其の行の右端の
チップパターンに至るまで自動的に順次被検チップパタ
ーンが検査位置に送り込まれる。
の如く、ステージ３にウェハ１を載せた後、初期操作を
行うと、制御部６はステージをチップパターン配列の行
方向に動かす方法を検知、記憶する。以後は、上記りを
入力した上（この入力は一種類のウェハに対し一度入力
すれば十分である）、ある行の一端たとえば左端のチッ
プパターンを検査位置に持ち来すだけで其の行の右端の
チップパターンに至るまで自動的に順次被検チップパタ
ーンが検査位置に送り込まれる。
この図で、４ａはステージ３をＸ方向に移動させるＸ軸
駆動部、４ｂはステージ３のＸ方向位置を検出するＸ位
置検出部、５ａはステージ３をＹ方向に移動させるＹ軸
駆動部、５ｂはステージ３のＹ方向位置を検出するＹ位
置検出部である。なお、第１図（ａ）に示す場合、Ａ点
に代表′されるチップからＢ点に代表されるチップに至
るまで、５個のチップが１行を構成し、同様な５個で構
成された行が３回列方向に繰り返し配列されている。こ
のような場合には、チップパターン配列の列方向の隣接
チップ間距離夕を入力しておいて１．最初の行の検査が
Ａ点から始まってＢ点で終わった時点で、操作者が例え
ば繰り返しボタンを押すことによって、装置の制御部６
が自動的に、ステージ３をｔ２．ｊだけ列方向に、また
行方向には検査を終了したばかりの行の場合と同し全長
だけ逆方向に移動させて、Ａ点に代表されるチップの直
下のチップから始まる行の検査を自動的に開始するよう
にすることも容易である。
駆動部、４ｂはステージ３のＸ方向位置を検出するＸ位
置検出部、５ａはステージ３をＹ方向に移動させるＹ軸
駆動部、５ｂはステージ３のＹ方向位置を検出するＹ位
置検出部である。なお、第１図（ａ）に示す場合、Ａ点
に代表′されるチップからＢ点に代表されるチップに至
るまで、５個のチップが１行を構成し、同様な５個で構
成された行が３回列方向に繰り返し配列されている。こ
のような場合には、チップパターン配列の列方向の隣接
チップ間距離夕を入力しておいて１．最初の行の検査が
Ａ点から始まってＢ点で終わった時点で、操作者が例え
ば繰り返しボタンを押すことによって、装置の制御部６
が自動的に、ステージ３をｔ２．ｊだけ列方向に、また
行方向には検査を終了したばかりの行の場合と同し全長
だけ逆方向に移動させて、Ａ点に代表されるチップの直
下のチップから始まる行の検査を自動的に開始するよう
にすることも容易である。
以上説明したように本発明によれば、ウェハ上に形成さ
せたチップパターンの検査を、操作者は僅かな手動操作
を行うだけで、半自動的に容易に実行することができる
。
せたチップパターンの検査を、操作者は僅かな手動操作
を行うだけで、半自動的に容易に実行することができる
。
第１図（ａ）は本発明に係る角度誤差補正動作説明用の
図、第１図（ｂ）は本発明一実施例の概略構成図である
。 １−ウェハ、 ２−チップ、 ３−ステージ、４ａ
−Ｘ軸駆動部、 ４ｂ−Ｘ位置検出部、 ５ａ−・Ｙ軸
駆動部、 ５ｂ・−Ｙ位置検出部、 ６−・−制御部。
図、第１図（ｂ）は本発明一実施例の概略構成図である
。 １−ウェハ、 ２−チップ、 ３−ステージ、４ａ
−Ｘ軸駆動部、 ４ｂ−Ｘ位置検出部、 ５ａ−・Ｙ軸
駆動部、 ５ｂ・−Ｙ位置検出部、 ６−・−制御部。
Claims (1)
- ホトリソグラフ工程で横行縦列よりなる行列状にチップ
パターンを配列したウェハの外観検査を行うウェハチッ
プパターン検査装置において、ウェハをＸ、Ｙ方向に移
動できるステージに載せ、まずウェハ上で複数チップパ
ターンが横に並んだ行の一端のチップパターン内の特定
点を検査用顕微鏡の視野の中心に置き、次ぎに同じ行の
他端のチップパターン内の特定点が顕微鏡の視野の中心
に来るようにステージを移動させて、その間のステージ
のＸ及びＹ方向移動量から、一つの行に属する各チップ
パターン内の特定点が、順次、顕微鏡の視野の中心に来
るようにステージを動かすためのＸ、Ｙ方向移動量の比
率を検知し、この比率とチップ品種に対して既知な行方
向隣接チップパターン間距離を装置の制御部に入力記憶
させることにより、一つの行の一端のチップパターン内
特定点を検査用顕微鏡の視野の中心に位置させれば、そ
の行に属する各チップパターン内の特定点が、相次いで
全て、顕微鏡の視野の中心に来るように、ステージが自
動的に移動するようにしたことを特徴とするウェハチッ
プパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12076584A JPS611034A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | ウエハチツプパタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12076584A JPS611034A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | ウエハチツプパタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS611034A true JPS611034A (ja) | 1986-01-07 |
Family
ID=14794441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12076584A Pending JPS611034A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | ウエハチツプパタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS611034A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51117877A (en) * | 1975-04-09 | 1976-10-16 | Seiko Epson Corp | Automatic prober |
-
1984
- 1984-06-14 JP JP12076584A patent/JPS611034A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51117877A (en) * | 1975-04-09 | 1976-10-16 | Seiko Epson Corp | Automatic prober |
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