JPS61104192A

JPS61104192A - 分子ポンプ

Info

Publication number: JPS61104192A
Application number: JP22586184A
Authority: JP
Inventors: Toichi Onda; 恩田　十一
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1984-10-29
Filing date: 1984-10-29
Publication date: 1986-05-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明は分子ポンプに係り、特に回転駆動部分への排気
気体の浸入を防止することを可能とした分子ポンプに関
する。

（発明の技術的背景とその問題点〕第３図は従来のターボ分子ポンプを示したしので、底面
が閉塞された円筒状ケーシング１の内周面には、多段に
静翼２が固定され、この静岡２の各間隙部分には、動翼
３が対向して配置されてＪｊす、この動Ｉ１３はほぼ円
筒状を右する回転部材４の外周面に一体に設けられてい
る。上記回転部材４の内側には、上記ケーシング１の底
面に固定される円筒状の収容ケース５が配設され、この
収容ケース５の中心軸上には、シャフト６が回転自在に
支持されている。このシャフト６の１喘は１記収容ケー
ス５の上部より突出して上記回転部材４に連結され、こ
のシャフト６のほぼ中央部に番、Ｌｔ−タのロータ７が
取付けられており、このロータ７を回転させるモータの
ステータ８が収容ケース５の内周面に取付けられている
。ざらに、上記ケーシング１の上端開口部は吸気口９と
され、ケーシング１の下端側部には排気口１０／Ｊτ設
番ノられている。

上記ポンプの場合、モータ駆動によりロータ７を回転さ
せ、シせフト６を介して動ｖＡ３を高速で回転させるこ
とにより、吸気口９に接続される真空容器（図示けず）
の真空排気を行なうようになされる。

また、第４図は従来の他の“複合型の分子ポンプを示し
たちので、静ＷＡ２および動翼３はケーシング１の上方
づなわち吸気口９付近のみに設けられ、これら要２．３
の下方側は、回転部材４を、その外周面がケーシング１
の内周面に近接するように形成している。また、上記回
転部材４の外周面には、らせん状のねじ溝１１が形成さ
れており、その池の部分は第３図に示すものと基本的に
同様である。

上記ポンプの場合、動翼３の回転により真空排気を行な
うとともに、上記ねじ溝１１を有する回転部材４の回転
により排気を行なうものである。

しかし、上記いずれのポンプにおいても、排気気体が回
転部材４と収容ケース５との隙間を通って収容ケース５
の内部に侵入してしまい、・例えば、腐蝕性ガスの排気
を行なう場合には腐蝕性ガスの侵入により収容ケース５
内のモータや軸受等の部材が腐蝕劣化し、放射性ガスの
排気を行なう場合には収容ケース５内の部材が放射線に
よりに′１傷を受け、ざらにダストを含むガスの場合番
よ収容ケース５内に侵入するダストにより駆動部分の円
滑な動きを妨げられる等の欠点を有している１、また、
収容ケース５内に侵入するガスが、絶縁部材（エポキシ
樹脂、テフロン等）、封止部材（エラストマ等）あるい
は潤滑剤（オイル、グリス等）冑に吸蔵あるいは♂解さ
れることにより、Ｈｅリーク試験のような定量分析等の
測定精度が著しく低下してしまうという欠点をも有して
いる。

上記のような欠点を除去するため、上記収容ケース５の
内部に、流れ領域が粘性流になる程度不活性ガスを送り
ながら真空排気を行ない、ｌ−２種々の汚染ガスの侵入
を防止するようにしたものがａ　　。

あるが、構造が複雑となり真空排気の負荷が増加してし
まうという欠点を有している（発明の目的）本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、容易に収
容ケース内への排気気体の侵入を防止することのできる
分子ポンプを提供することを目的とづるものである。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため本発明に係る分子ポンプは、内部に
モータ等が配置された収容ケースと、この収容ケースの
外側に回転自在に設（）られた回転部材とを、わずかな
間隙を有するように形成し、上記収容ケースの外周面お
よび上記回転部材の内周面のいずれか一方にらせん状の
ねじ溝を形成して構成され、このねじ溝により上記収容
ケースの内部側から外部側への排気効果を生じさせると
ともに、収容ケース内への排気気体の侵入を防止する効
果を生じさせるようになされている。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図および第２図を参照して
説明し、第３図および第４図と同一部分には同一符号を
付してその説明を省略づる。

第１図は本発明の一実施例を示したもので、収容ケース
５と回転部材４とを収容ケース５の外周面と回転部材４
の内周面とがわずかな間隙を右りるように形成し、本実
施例において（ま、収容ケース５の外周面にらせん状の
ねじ満１２が形成されており、その他の部分は第３図に
示すものと同様である。

本実施例においては、ねじ溝１２を形成したことにより
、回転部材４を回転させると収容ケース５の内部側から
外部側への排気効果が生じるため排気気体が収容ケース
５と回転部材４との間を通って収容ケース５の内部に侵
入することを確実に防止することができる。

また、第２図は本発明の他の実施例を示したもので、上
記実施例と同様に収容ケース５と回転部材４とをわずか
な間隙を右するように形成し、本実施例においては、回
転部材４の内周面にねじｉｌｌ’ｉ１２が形成されでお
り、その他の部分は第１図に示ずものと同様である。

本実施例においても上記実施例と同様に、ねじ溝１２に
より排気効果が生じるため、排気気体の収容ケース５内
への侵入を防止することができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明に係る分子ポンプは、収容ケー
スと回転部材とをわずかな間隙を有するように形成し、
上記収容ケースの外周面および上記回転部材の内周面の
いずれか一方にらせん状のねじ溝を形成するようになさ
れており、上記ねじ溝により上記回転部材を回転させる
と収容ケースの内部側から外部側への排気効果が生じる
ため、排気気体が収容ケースの内部に侵入することを確
実に防止することができる。その結果、収容ケース内部
の部材の腐蝕ガス、放射性ガス等の汚染ガスによるＦＡ
川や悪影響を防ぐことができ、しかも、Ｍ４造が簡単で
ある等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
縦断面図、第３図および第４図はそれぞれ従来の分子ポ
ンプを示す縦断面図である。１・・・ケーシング、２・・・ＤＴＡ、３・・・動翼、
４・・・回転部材、５・・・収容ケース、６・・・シー
ｌノド、７・・・１」−夕、８・・・ステータ、９・・
・吸気］］、１０・・・排気１」、１１．１２・・・ね
じ溝。出願人代理人　　猪　　股　　　　消藁４目

Claims

【特許請求の範囲】

円筒状ケーシングの内周面に多段に設けられた静翼の間
隔部分に、この静翼に対向するとともに、内部にモータ
等が配置された収容ケースの外側に上記モータにより回
転自在に設けられた回転部材の外周面に一体形成された
動翼を配置してなる分子ポンプにおいて、上記収容ケー
スと上記回転部材とをわずかな間隙を有するように形成
し、上記収容ケースの外周面および上記回転部材の内周
面のいずれか一方にらせん状のねじ溝を形成したことを
特徴とする分子ポンプ。