JPS61106770A - 気相コ−テイング装置 - Google Patents
気相コ−テイング装置Info
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- JPS61106770A JPS61106770A JP22877384A JP22877384A JPS61106770A JP S61106770 A JPS61106770 A JP S61106770A JP 22877384 A JP22877384 A JP 22877384A JP 22877384 A JP22877384 A JP 22877384A JP S61106770 A JPS61106770 A JP S61106770A
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- Japan
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- vapor phase
- phase coating
- window glass
- monitor
- coating equipment
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- Pending
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/52—Means for observation of the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は気相コーティング装置の改良に関するもので
ある。
ある。
〈従来の技術〉
従来のバッチ式気相コーティング装置においては、装置
内での状況を観察できるようにするために、該装置の壁
面にモニター用の窓ガラスを取付けている。
内での状況を観察できるようにするために、該装置の壁
面にモニター用の窓ガラスを取付けている。
これを図面で説明すると、第２図の気相コーティング装
置は、チャンバー１内に被覆用基板２、蒸発源を入れる
ルツボ３が配置され、ざらにチャンバー１の側壁面には
該装置の内部における状態をＴＡ察するためのモニター
用の窓ガラス４が一部に嵌めこまれている。そしてこの
窓ガラスの内側近くにシャッター５が取付けられていて
、コーティング時にモニター用窓ガラスに付着する蒸着
物の吊を少なく抑えて１回または数回のコーティングの
間中、窓ガラスを通してのモニターを可能としていた。
置は、チャンバー１内に被覆用基板２、蒸発源を入れる
ルツボ３が配置され、ざらにチャンバー１の側壁面には
該装置の内部における状態をＴＡ察するためのモニター
用の窓ガラス４が一部に嵌めこまれている。そしてこの
窓ガラスの内側近くにシャッター５が取付けられていて
、コーティング時にモニター用窓ガラスに付着する蒸着
物の吊を少なく抑えて１回または数回のコーティングの
間中、窓ガラスを通してのモニターを可能としていた。
なお第２図中６はＯリング、７はモニター窓から観察す
る目を示し、９は高周波コイルである。
る目を示し、９は高周波コイルである。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、このようにモニター用窓ガラスの内側近
くにシャッターを取付けただけでは量産用の半連続また
は連続式のコーティング装置では窓ガラスへの付着物が
蓄積して透過度が低下するため長時間連続してモニター
することは不可能であった。
くにシャッターを取付けただけでは量産用の半連続また
は連続式のコーティング装置では窓ガラスへの付着物が
蓄積して透過度が低下するため長時間連続してモニター
することは不可能であった。
また窓ガラスについた蒸着物を取除くことが困難であり
、従って窓用の板ガラスを多量に必要とするなどの問題
点を有していた。
、従って窓用の板ガラスを多量に必要とするなどの問題
点を有していた。
く問題点を解決するための手段〉
この発明は上記のような気相コーティング装置における
モニター用窓ガラスに対する蒸着物付着の問題を解決す
るべく検討の結果、得られたものであって、気相コーテ
ィング装置の側壁の一部に嵌めこまれているモニター用
窓ガラスの内側に透過性セラミックよりなる防着用窓板
を取付けた気相コーティング装置を提供するものである
。
モニター用窓ガラスに対する蒸着物付着の問題を解決す
るべく検討の結果、得られたものであって、気相コーテ
ィング装置の側壁の一部に嵌めこまれているモニター用
窓ガラスの内側に透過性セラミックよりなる防着用窓板
を取付けた気相コーティング装置を提供するものである
。
く作 用〉
以下、この発明の装置をその一実施例を示す第１図に基
づいて説明する。
づいて説明する。
ｌ゛５ 第１図１おいて１１のチャンバー内
には上部に被覆用基板１２が、その下部には蒸発源を入
れるルツボ１３が位置している。そしてこのチャンバー
１１の側壁の一面側のみ突出させてその壁面にモニター
用の窓ガラス１４が嵌めこまれ、目１５によってチャン
バー１１内の様子が監視できるようになっている。
には上部に被覆用基板１２が、その下部には蒸発源を入
れるルツボ１３が位置している。そしてこのチャンバー
１１の側壁の一面側のみ突出させてその壁面にモニター
用の窓ガラス１４が嵌めこまれ、目１５によってチャン
バー１１内の様子が監視できるようになっている。
なお１６はＯリングである。
このような気相コーティング装置において、この発明は
前記したモニター用窓ガラス１４の内側近くに透過性セ
ラミックよりなる防着用窓板１７を取ｆ＝ｌけたことが
特徴である。
前記したモニター用窓ガラス１４の内側近くに透過性セ
ラミックよりなる防着用窓板１７を取ｆ＝ｌけたことが
特徴である。
即ち、この透過性セラミックよりなる防着用窓板１７に
ヒータ１８を取付け、この防着用窓板１７をヒータ１８
にてコーテイング膜どなる蒸発源の融点の１〜１．５倍
の温度まで加熱し、コーティング速度よりも防着用窓板
よりの蒸発速度を大きくして防着用窓板にコーテイング
膜が成長しないようにするものである。
ヒータ１８を取付け、この防着用窓板１７をヒータ１８
にてコーテイング膜どなる蒸発源の融点の１〜１．５倍
の温度まで加熱し、コーティング速度よりも防着用窓板
よりの蒸発速度を大きくして防着用窓板にコーテイング
膜が成長しないようにするものである。
また上記の防着用窓板１１の内側に従来使用されている
シャッター１９を図のように取付けるならば、防着用窓
板の寿命をさらに長くすることができ、完全にコーテイ
ング膜をなくすることもできる。
シャッター１９を図のように取付けるならば、防着用窓
板の寿命をさらに長くすることができ、完全にコーテイ
ング膜をなくすることもできる。
即ち、この発明は防着用窓板１７とコーテイング膜の反
応による劣化だけが寿命を決定づける要因となることか
ら、この窓板１７の材質の組合せを適当に選ぶことによ
りモニター用窓ガラスの寿命を他の設備上のメンテナン
スよりも長寿命とすることができるのである。
応による劣化だけが寿命を決定づける要因となることか
ら、この窓板１７の材質の組合せを適当に選ぶことによ
りモニター用窓ガラスの寿命を他の設備上のメンテナン
スよりも長寿命とすることができるのである。
なお、この発明において防着用窓板を形成する透過性セ
ラミックとしては、焼結体、多結晶体、単結晶体、非晶
質体がよく、例えば石英ガラス、ナファイアなどが用い
られる。図において、２１は高周波コイルである。
ラミックとしては、焼結体、多結晶体、単結晶体、非晶
質体がよく、例えば石英ガラス、ナファイアなどが用い
られる。図において、２１は高周波コイルである。
く実 施 例〉
実際に〃蒸着装置に防着用窓板としてサファイアを用い
て、加熱温度を１００〜１２００℃にすると、Ｎ付着に
よりモニター用窓ガラスが使用不可能になるまで１００
時間も使用することができた。
て、加熱温度を１００〜１２００℃にすると、Ｎ付着に
よりモニター用窓ガラスが使用不可能になるまで１００
時間も使用することができた。
〈効 果〉
以上のように気相コーティング装置において、モニター
用窓ガラスの内側に透過性セラミックよりなる防着用窓
板を取付けたことによってモニター用窓ガラスへの蒸着
物の付着を極力防止しうろことが認められた。
用窓ガラスの内側に透過性セラミックよりなる防着用窓
板を取付けたことによってモニター用窓ガラスへの蒸着
物の付着を極力防止しうろことが認められた。
第１図はこの発明に係る気相コーティング装置の模式図
、第２図は従来の同装置を示す模式図である。 １１・・・チャンバー １２・・・被覆用基板１３・
・・ルツボ １４・・・モニター用窓ガラス１７・・
・防着用窓板 １８・・・ヒータ１９・・・シャッタ
ー
、第２図は従来の同装置を示す模式図である。 １１・・・チャンバー １２・・・被覆用基板１３・
・・ルツボ １４・・・モニター用窓ガラス１７・・
・防着用窓板 １８・・・ヒータ１９・・・シャッタ
ー
Claims (3)
- （１）側壁の一部にモニター用窓ガラスを有している気
相コーティング装置において、該装置の前記モニター用
窓ガラスの内壁近くに透過性セラミックよりなる防着用
窓板を取付けてなる気相コーティング装置。 - （２）透過性セラミックが石英ガラスである特許請求の
範囲第１項記載の気相コーティング装置。 - （３）透過性セラミックがサファイアである特許請求の
範囲第１項記載の気相コーティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22877384A JPS61106770A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 気相コ−テイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22877384A JPS61106770A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 気相コ−テイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61106770A true JPS61106770A (ja) | 1986-05-24 |
Family
ID=16881614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22877384A Pending JPS61106770A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | 気相コ−テイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61106770A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647956U (ja) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | ||
| JPH0367057U (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-28 | ||
| EP1037506A3 (en) * | 1999-03-05 | 2001-10-24 | Board Of Regents, The University Of Texas | Heater for high vacuum optical view port |
-
1984
- 1984-10-30 JP JP22877384A patent/JPS61106770A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647956U (ja) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | ||
| JPH0367057U (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-28 | ||
| EP1037506A3 (en) * | 1999-03-05 | 2001-10-24 | Board Of Regents, The University Of Texas | Heater for high vacuum optical view port |
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