JPS61110302A - 磁気記録方式 - Google Patents
磁気記録方式Info
- Publication number
- JPS61110302A JPS61110302A JP59230075A JP23007584A JPS61110302A JP S61110302 A JPS61110302 A JP S61110302A JP 59230075 A JP59230075 A JP 59230075A JP 23007584 A JP23007584 A JP 23007584A JP S61110302 A JPS61110302 A JP S61110302A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- layer
- recording medium
- thin film
- head
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[利用分野]
本発明は強磁性金属を主成分とする金WA薄膜よりなる
記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に磁気記録情報を
記録再生する方式に関したものであり、更に詳しくは長
期使用にわたって安定した磁気記録再生を可能とした新
しい磁気記録再生方式%式% 近年高密度記録への要求はますます高くなり、従来のバ
インダーを用いた塗布型に替わるものとして、磁気記録
層として強磁性金属1111Aを用いたもの、更には特
公昭58−91号公報等の如く垂直磁気異方性を有する
コバルト系合金薄膜を用いたもの等金i*iを記録層と
した薄膜型の磁気記録媒体が提案されている。しかし磁
気記録層としてかかる金属1i11!を用いた場合には
、磁気記録ヘッドとの摩擦抵抗が大きいために摩耗や損
傷を受けやすく耐久性に欠けるという難点がある。
記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に磁気記録情報を
記録再生する方式に関したものであり、更に詳しくは長
期使用にわたって安定した磁気記録再生を可能とした新
しい磁気記録再生方式%式% 近年高密度記録への要求はますます高くなり、従来のバ
インダーを用いた塗布型に替わるものとして、磁気記録
層として強磁性金属1111Aを用いたもの、更には特
公昭58−91号公報等の如く垂直磁気異方性を有する
コバルト系合金薄膜を用いたもの等金i*iを記録層と
した薄膜型の磁気記録媒体が提案されている。しかし磁
気記録層としてかかる金属1i11!を用いた場合には
、磁気記録ヘッドとの摩擦抵抗が大きいために摩耗や損
傷を受けやすく耐久性に欠けるという難点がある。
このため従来より強磁性金ff!薄膜上に更に保護層と
して有機高分子、a硬度金属、セラミックス等を設けた
ものが種々提案されている。
して有機高分子、a硬度金属、セラミックス等を設けた
ものが種々提案されている。
しかしこれらitgi型の磁気記録媒体の耐摩耗性、即
ち磁気ヘッド上を繰返し走行させた時の磁気記録媒体の
寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体にくらべて劣り、実
用上未だ充分ではない状態である。
ち磁気ヘッド上を繰返し走行させた時の磁気記録媒体の
寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体にくらべて劣り、実
用上未だ充分ではない状態である。
また、磁気記録ヘッドとしては、従来の塗布型の磁気記
録媒体用として、記録媒体と暦動する面をチタン酸バリ
ウム等で構成したものが知られているが、これらは記録
再生の摺動において、媒体に傷を付けず、ヘッド摺動面
自体も摩耗しないもので、耐久性に優れたものが使われ
ている。しかし、前記の薄膜型の磁気記録媒体は、潤滑
剤等をしみ込ませて耐久性を上げている前述の塗布型媒
体とは異って記録層が潤滑剤がしみ込まない薄膜金g層
からなるので、磁気記録ヘッドは記録媒体との廖動によ
り、損傷を受けやすく、またこの損傷により逆に記録媒
体にも傷が発生しゃすく耐久性に乏しいという欠点があ
った。
録媒体用として、記録媒体と暦動する面をチタン酸バリ
ウム等で構成したものが知られているが、これらは記録
再生の摺動において、媒体に傷を付けず、ヘッド摺動面
自体も摩耗しないもので、耐久性に優れたものが使われ
ている。しかし、前記の薄膜型の磁気記録媒体は、潤滑
剤等をしみ込ませて耐久性を上げている前述の塗布型媒
体とは異って記録層が潤滑剤がしみ込まない薄膜金g層
からなるので、磁気記録ヘッドは記録媒体との廖動によ
り、損傷を受けやすく、またこの損傷により逆に記録媒
体にも傷が発生しゃすく耐久性に乏しいという欠点があ
った。
[発明の目的]
本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、耐久性に優
れた強磁性金属を主成分とする金属wJWAよりなる記
録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に情報を記録再生す
る磁気記録再生方式を目的としたものである。
れた強磁性金属を主成分とする金属wJWAよりなる記
録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に情報を記録再生す
る磁気記録再生方式を目的としたものである。
[発明の構成1作用]
すなわち本発明は磁気記録媒体としては基体上に鉄、コ
バルト、ニッケル等の金属あるいはこれらの合金からな
る強磁性金属薄膜層を、垂直磁気異方性を有するコバル
ト系合金i11等からなる垂直記録用の金属薄S層を、
または鉄、パーマロイ。
バルト、ニッケル等の金属あるいはこれらの合金からな
る強磁性金属薄膜層を、垂直磁気異方性を有するコバル
ト系合金i11等からなる垂直記録用の金属薄S層を、
または鉄、パーマロイ。
コバルト・ニオブ・ジルコン合金等の高透磁率を有する
金属層に続けてその上に前述のI直記録用の金属薄膜層
を順次形成したもの等のRMJ型の磁気記録媒体におい
て、該金II膜層上にCO3O4よりなるコバルト酸化
物保護層を設けたものを用いる。
金属層に続けてその上に前述のI直記録用の金属薄膜層
を順次形成したもの等のRMJ型の磁気記録媒体におい
て、該金II膜層上にCO3O4よりなるコバルト酸化
物保護層を設けたものを用いる。
ここで、CO3O4よりなるコバルト酸化物保護層とし
ては、更に好ましくはランダム配向した保vimである
。又、コバルト酸化物のCO3Ogはコバルト金属を蒸
発源、ターゲットとして酸化性雰囲気下で真空蒸着法、
スパッタリング法等により形成される。なお、コバルト
酸化物であるCCh 04の分析はオージェ電子分光法
(AES)。
ては、更に好ましくはランダム配向した保vimである
。又、コバルト酸化物のCO3Ogはコバルト金属を蒸
発源、ターゲットとして酸化性雰囲気下で真空蒸着法、
スパッタリング法等により形成される。なお、コバルト
酸化物であるCCh 04の分析はオージェ電子分光法
(AES)。
Xa回折法(DX)が用いられた。
そして、磁気記録ヘッドとしては磁気記録媒体との摺動
面をなすスライダ一部を高硬度(ビッカース硬度190
0〜23O0 )、緻密なチタンカーバイド含有アルミ
ナセラミックス(AlI3O3 ・TIC:アルミナ・
チタンカーバイド)で構成したものを用い、前述のCO
3O4のコバルト酸化物保護層を設けた薄膜型の磁気記
録媒体と組合せて記録再生するものである。
面をなすスライダ一部を高硬度(ビッカース硬度190
0〜23O0 )、緻密なチタンカーバイド含有アルミ
ナセラミックス(AlI3O3 ・TIC:アルミナ・
チタンカーバイド)で構成したものを用い、前述のCO
3O4のコバルト酸化物保護層を設けた薄膜型の磁気記
録媒体と組合せて記録再生するものである。
本発明は、強磁性の金属薄膜よりなる磁気記録層の上に
CO3Oaのコバルト酸化物保護層を設けた磁気記録媒
体と、アルミナチタンカーバイトで磁極を挾んだ磁気記
録ヘッドとの組合せではじめて非常に耐久性のあるsu
n型の磁気記録媒体の磁気記録再生方式を実現したもの
である。
CO3Oaのコバルト酸化物保護層を設けた磁気記録媒
体と、アルミナチタンカーバイトで磁極を挾んだ磁気記
録ヘッドとの組合せではじめて非常に耐久性のあるsu
n型の磁気記録媒体の磁気記録再生方式を実現したもの
である。
以下に本発明の実施例を示す。
第1図は本発明の垂直記録方式での一構成例を示すもの
で、10はフロッピーディスク用のフレキシブル両面型
の垂直磁気記録媒体、2oは公知の主磁極励磁型の垂直
磁気記録ヘッドである。垂直磁気記録媒体10は、厚さ
50μ卯のポリエチレンテレフタレートフィルムを基体
11とし、その両面に0.4μ風のニッケル鉄合金より
なる高透磁率金属薄膜層12と、0.4μ肌のコバルト
・り0ム(り0ム: 20wt%)の合金薄膜よりなる
垂直磁気記録層13とを特開昭57−100627号公
報と同様の対向ターゲット式スパッタ法で順次積層し、
更にその上にコバルト金属をターゲットとし酸化性ガス
雰囲気下の公知の反応性スパッタリング法で3O0人の
コバルト酸化物CO3O4の保護層14を積層したもの
を、直径5.25インチに打ち抜いてフロッピーディス
クとしたものである。
で、10はフロッピーディスク用のフレキシブル両面型
の垂直磁気記録媒体、2oは公知の主磁極励磁型の垂直
磁気記録ヘッドである。垂直磁気記録媒体10は、厚さ
50μ卯のポリエチレンテレフタレートフィルムを基体
11とし、その両面に0.4μ風のニッケル鉄合金より
なる高透磁率金属薄膜層12と、0.4μ肌のコバルト
・り0ム(り0ム: 20wt%)の合金薄膜よりなる
垂直磁気記録層13とを特開昭57−100627号公
報と同様の対向ターゲット式スパッタ法で順次積層し、
更にその上にコバルト金属をターゲットとし酸化性ガス
雰囲気下の公知の反応性スパッタリング法で3O0人の
コバルト酸化物CO3O4の保護層14を積層したもの
を、直径5.25インチに打ち抜いてフロッピーディス
クとしたものである。
一方垂直磁気記録ヘッド20は、$i 3O0μm、厚
さ1μmのパーマロイにニッケル・鉄)薄膜の主磁極2
1をマンガン・ジンクフェライトコア22で支持すると
共に、励磁コイル23で巻き、更に主磁極21の先端部
を挾んで媒体と摺動する面にアルミナ・チタンカーバイ
トからなるスライダ一部24を設けている(実施例)。
さ1μmのパーマロイにニッケル・鉄)薄膜の主磁極2
1をマンガン・ジンクフェライトコア22で支持すると
共に、励磁コイル23で巻き、更に主磁極21の先端部
を挾んで媒体と摺動する面にアルミナ・チタンカーバイ
トからなるスライダ一部24を設けている(実施例)。
またスライダ一部24の表面は50aw Rの曲率に研
磨されている。
磨されている。
比較例として垂直磁気記録媒体として実施例と同じ構成
で保護層のみないもの、ヘッドとして実施例と同じ構成
でスライダ一部24の材質にオプチカルガラス(BK7
)、チタン酸バリウムを用いたものを作成し、実施例と
共に耐久性評価を行なった。
で保護層のみないもの、ヘッドとして実施例と同じ構成
でスライダ一部24の材質にオプチカルガラス(BK7
)、チタン酸バリウムを用いたものを作成し、実施例と
共に耐久性評価を行なった。
耐久性評価は、評価するヘッドをセットしたディスクド
ライブに評価する媒体をセットし、3O0rpmで3O
0万バス回転させる摺動テストの前後の媒体及びヘッド
の表面の粗れ具合で行なった。具体的には媒体について
は摺動テスト前後の表面性を表面粗さ計(StJRFC
OM、東京精密側製)を用いて中心線平均粗さくCLA
)として求め、摺動後のCLA値を摺動面のCLA値で
除算した相対的表面粗さにより、一方ヘッドについては
摺動テスト後のスライダ一部の表面を前記表面粗さ計を
用いて測定しその最大摩耗深さを求めて行った。その結
果を次頁の表に示す。
ライブに評価する媒体をセットし、3O0rpmで3O
0万バス回転させる摺動テストの前後の媒体及びヘッド
の表面の粗れ具合で行なった。具体的には媒体について
は摺動テスト前後の表面性を表面粗さ計(StJRFC
OM、東京精密側製)を用いて中心線平均粗さくCLA
)として求め、摺動後のCLA値を摺動面のCLA値で
除算した相対的表面粗さにより、一方ヘッドについては
摺動テスト後のスライダ一部の表面を前記表面粗さ計を
用いて測定しその最大摩耗深さを求めて行った。その結
果を次頁の表に示す。
表から明らかの様に、本発明のコバルト酸化物CO3O
4による媒体の保護層とヘッドのスライダ一部にアルミ
ナ・チタンカーバイトを用いた組合せが媒体の表面粗さ
の変化がなく、ヘッドのスライダ一部にも傷がなく、3
O0万バスの摺動テストでは殆んど劣化がなく、比較例
のいづれに比しても最良の結果であり、高い耐久性を示
した。
4による媒体の保護層とヘッドのスライダ一部にアルミ
ナ・チタンカーバイトを用いた組合せが媒体の表面粗さ
の変化がなく、ヘッドのスライダ一部にも傷がなく、3
O0万バスの摺動テストでは殆んど劣化がなく、比較例
のいづれに比しても最良の結果であり、高い耐久性を示
した。
尚、本発明はその趣旨からいって、実施例に示したフロ
ッピーディスク及び垂直磁気記録媒体。
ッピーディスク及び垂直磁気記録媒体。
垂直ヘッドを用いた垂直磁気記録方式に何等限定される
ものではなく、アルミナ酸化処理をしたアルミディスク
等所謂ハードディスク、磁気テープへの適用、鉄、コバ
ルト、ニッケル等張磁性金属fil1層よりなる面内磁
気記録用媒体とリングヘッドとを組み合せた面内磁気記
録方式にも適用出来る事は云うまでもない。
ものではなく、アルミナ酸化処理をしたアルミディスク
等所謂ハードディスク、磁気テープへの適用、鉄、コバ
ルト、ニッケル等張磁性金属fil1層よりなる面内磁
気記録用媒体とリングヘッドとを組み合せた面内磁気記
録方式にも適用出来る事は云うまでもない。
第1図は本発明の一つの構成例の説明図である。
10:フレキシブル垂直磁気ディスク、20:垂直磁気
記録ヘッド、 11:基体、12:高透磁率金属薄層、 13:コバルト・クロム金、iIS層、14:003O
4の保護層、 21:主11極、22:コ ア、 2
3:励磁コイル、24ニスライダ一部 手続補正書(自発) 昭和60年2月l 日
記録ヘッド、 11:基体、12:高透磁率金属薄層、 13:コバルト・クロム金、iIS層、14:003O
4の保護層、 21:主11極、22:コ ア、 2
3:励磁コイル、24ニスライダ一部 手続補正書(自発) 昭和60年2月l 日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基体上に強磁性金属薄膜よりなる記録層を形成し、
該記録層上にCO_3O_4よりなるコバルト酸化物保
護層を設けた磁気記録媒体と、摺動する面がチタンカー
バイド含有アルミナセラミックスで構成された磁気記録
ヘッドを用いて、磁気記録再生を行う事を特徴とする磁
気記録方式。 2)前記記録層が垂直磁気記録層である特許請求の範囲
第1項記載の磁気記録方式。 3)前記垂直磁気記録層がコバルト−クロムを主成分と
する合金薄膜よりなる特許請求の範囲第2項記載の磁気
記録方式。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230075A JPS61110302A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 磁気記録方式 |
| DE8585113929T DE3581482D1 (de) | 1984-11-02 | 1985-11-01 | Magnetisches aufzeichnungsmedium, verfahren zu dessen herstellung und verfahren zur aufzeichnung und wiedergabe mit demselben und einem magnetkopf. |
| EP85113929A EP0180242B1 (en) | 1984-11-02 | 1985-11-01 | Magnetic recording medium, method for producing the same, and method of recording and reproduction using the same and magnetic head |
| US07/077,097 US4865916A (en) | 1984-11-02 | 1987-07-22 | Magnetic recording medium method for producing the same, and method for recording and reproduction using the same and magnetic head |
| US07/471,668 US5013583A (en) | 1984-02-11 | 1990-01-24 | Method of producing a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230075A JPS61110302A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 磁気記録方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110302A true JPS61110302A (ja) | 1986-05-28 |
Family
ID=16902150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59230075A Pending JPS61110302A (ja) | 1984-02-11 | 1984-11-02 | 磁気記録方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110302A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196424A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| US7640939B2 (en) | 2004-04-16 | 2010-01-05 | L'oreal | Curler for natural section of hair |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929445A (ja) * | 1972-07-20 | 1974-03-15 | ||
| JPS55163665A (en) * | 1979-06-01 | 1980-12-19 | Ibm | Magnetic head slider |
| JPS5841439A (ja) * | 1981-09-01 | 1983-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-11-02 JP JP59230075A patent/JPS61110302A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4929445A (ja) * | 1972-07-20 | 1974-03-15 | ||
| JPS55163665A (en) * | 1979-06-01 | 1980-12-19 | Ibm | Magnetic head slider |
| JPS5841439A (ja) * | 1981-09-01 | 1983-03-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196424A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
| US7640939B2 (en) | 2004-04-16 | 2010-01-05 | L'oreal | Curler for natural section of hair |
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