JPS62112210A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、磁気ディスク装置用磁気記録媒体に関する
ものであり、特に強磁性金属層を磁気記録層とするＩ４
１気記録媒体の改良に関する。

［発明の技術的背景コ 近年、塗布型の磁気記録媒体とは異なり、蒸着法、スパ
ッタリング法や湿式メッキ法などにより、非磁性基体上
に直接強磁性層を形成した磁気記録媒体が開発されてい
る。この磁気記録媒体は、塗布型のものに比べて、極め
て高い記録密度が達成される。中でも注目を集めている
のが、垂直磁化記録方式である。この方式においては、
媒体の膜面に垂直な方向が磁化容易軸である垂直磁気記
録媒体が必要となる。このような媒体に信号を記録する
と、残留磁化は媒体の膜面に垂直方向を向き、従って信
号が短波長になるほど、媒体内磁界は減少して、優れた
再生出力が得られる。

垂直磁気記録媒体は、高分子材料や非磁性材料からなる
基板上に、強磁性金属層、例えばＣ０−Ｃｒを蒸着法、
スパッタリング法にＪ：り形成したものがある。

［背景技術の問題点］ 上述の高密度記録が可能な垂直記録媒体を実用化する上
での問題点は、腐蝕、摩耗から、いかに磁気記録層を保
護し、長期間の寿命に耐えるかということである。

垂直磁気記録媒体としては、例えば、アルマイト処理し
たアルミニ・クム合金基板上に、磁気特性を向上させる
チタン、ゲルマニウム等を主成分とする下地金属層、あ
るいは信号記録再生の効率をあげるために膜面内に磁化
容易軸を有するパーマロイ等からなる下地金属層を形成
し、更にこの下地金属層上に垂直磁気記録のための金属
磁性層、保護・潤滑層を順次形成したものが提案されて
いる。

しかし、これらのものは、下地金属層と基板とのなじみ
が悪く、剥離を生じ、寿命を損うことが致命的欠陥とし
て存在している。

［発明の目的１ この発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、基
板と下地層との付着性を改善し、信頼性の向上した磁気
記録媒体を提供するものである。

［発明の概要］ この発明は、アルミニウム合金基板上に、酸化アルミニ
ウム層、下地金属層、金属磁性層、保護・潤滑層を順次
形成してなる磁気記録媒体において、酸化）アルミニウ
ム層と下地金属層との間に、シリコン酸化物を主成分と
する層を介在させたことを特徴とする磁気記録媒体であ
る。

そして、この発明は、酸化アルミニウム層と下地金Ｂ層
との間に、シリコン酸化物を主成分とする層を介在させ
ると、下地金属層が基板から剥離する現象がなくなると
いう実験事実に基づきなされたものである。

ｓｈｏ、は下地のＡ１□０３と相互拡散層（アルミノ・
シワケート）をつくり、強固に何着する。

またチタン、ゲルマニウム、パーマロイなどの下地金属
層は、５ｉ０２と強固に何首する。この結果、下地金属
層の基板からの剥離がなくなる。

［発明の実施例１］ 以下本発明を、実施例を示す図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の磁気記録媒体の部分断面図を示す。

まず、直径３．５インチのアルミニウム合金基板２上に
、良く知られた方法によりアルマイト処理を施し、酸化
アルミニウム層４を約１５μｍの厚さに形成する。続い
て、表面を鏡面研磨する。良く洗浄後、スパッタ装置中
に装着し、インライン方式でＳｉＯ２、Ｔｉ、Ｃｏ−Ｃ
ｒおよびＣを、順次マグネトロン式スパッタリングによ
りスパッタして、酸化アルミニウム層４の上に所定の各
層を形成する。

まず、５ｉ０２をターゲットとしてアルゴンガス雰囲気
中でスパッタリングし、ｓ　ｒ　０２からなる酸化物層
６を５００人の厚さに酸化アルミニウム層４の上に形成
する。この俊、Ｔ１をスパッタリングしでＴｉからなる
下地金属層８を、酸化物層６の上に５００人の厚さ形成
する。

次に、Ｃｏを１０〜３Ｑａｔ％含イ１するＣｏＣｒ合金
をターゲットとしてスパッタリングし、下地金属層８上
にＣｏ−Ｃｒからなる金属磁性層１０を５０００人の厚
さに形成し、更にカーボンＣをターゲットとして、金属
磁性層１０上に保護・潤滑層１２を３００人の厚さに形
成する。

このようにして形成された磁気記録媒体の磁気特性を測
定したところ、垂直保持カフ００エルステツドを得、ま
た飽和磁化量、角型比、磁気異方性等に優れた特性を得
た。更に、電磁変換特性では、５０ｋｂｐｉの高密度記
録が可能でめった。耐環境試験（８５°Ｃ１湿度８５％
、５００時間）と、耐摩耗試験（２００００回のコンタ
クト・スタート・アンド・ストップ）でも、変化・損傷
がなく、極めて強い付着力が確認された。

［実施例２］ この実施例では、上述の実施例と同様に、アルマイ１〜
処理を施し酸化アルミニウム層４を形成したアルミニ【
クム合金基板２の上に、５１０２からなる酸化物層６を
３００人、Ｇｅからなる下地金属層８を３００人、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｒｈからなる金属磁性１呂１０を５０００人、
更にカーボンからなる保護・潤滑層１２を３００への厚
さに順次スパッタリングにより形成し、磁気記録媒体を
得た。

この磁気記録媒体も上記の実施例と同様に優れた特性が
確認された。

「実施例３」 上述の実施例と同様に、アルマイト処理を施し酸化アル
ミニウム層４を形成したアルミニウム合金基板２の上に
、Ａ１゜０３とｓ　ｒ　０２の１：１の混合物からなる
酸化物層６を７００人、パーマロイからなる下地金属層
８を２０００人、Ｃ０−Ｃｒからなる金属磁性層１０を
５０００人、更にカーボンからなる保護・潤滑層１２を
３００人の厚さに順次スパッタリングにより形成し、磁
気記録媒体を得た。

この磁気記録媒体も上記第１の実施例と同様に優れた特
性が確認された。

［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば、下地金属層と基板との
間にシリコン酸化物層を介在させてなるので、下地金属
層の付着力が向上し、耐久性、耐環境性に優れ、かつ電
磁変換特性を損わない高密度磁気記録媒体が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の部分断面図
を示す。 ２・・・・・・アルミニウム合金基板 ４・・・・・・酸化アルミニ【クム層 ６・・・・・・シリコン酸化物を主成分とする層８・・
・・・・下地金属層 １０・・・・・・金属磁性層 １２・・・・・・保護・潤滑層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）アルミニウム合金基板上に、酸化アルミニウム層
   、下地金属層、金属磁性層、保護・潤滑層を順次形成し
   てなる磁気記録媒体において、前記酸化アルミニウム層
   と前記下地金属層との間に、シリコン酸化物を主成分と
   する層を介在させたことを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）前記下地金属層がチタンを主成分とし、前記金属
   磁性層がコバルト・クロム合金を主成分とすることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。