JPS61111969A - 放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体およびその製造方法 - Google Patents
放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体およびその製造方法Info
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- JPS61111969A JPS61111969A JP59232674A JP23267484A JPS61111969A JP S61111969 A JPS61111969 A JP S61111969A JP 59232674 A JP59232674 A JP 59232674A JP 23267484 A JP23267484 A JP 23267484A JP S61111969 A JPS61111969 A JP S61111969A
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、高い電気伝導率を有する放電加工可能な窒
素焼結体およびその製造方法に関するものである。
素焼結体およびその製造方法に関するものである。
〈従来の技術〉
窒素珪素焼結体（以下これをＳＬ ３Ｎ ４焼結体と略
称する）は耐酸化性にすぐれ、熱膨張率が小さく、かつ
高温強度が高い材料として注目されており、近年このｓ
ｉ ３Ｎ ４焼結体をタービンエンジンのブレードやノ
ズルあるいは熱交換器部材などの高温構造材料として使
用するための研究開発が活発に行なわれている。
称する）は耐酸化性にすぐれ、熱膨張率が小さく、かつ
高温強度が高い材料として注目されており、近年このｓ
ｉ ３Ｎ ４焼結体をタービンエンジンのブレードやノ
ズルあるいは熱交換器部材などの高温構造材料として使
用するための研究開発が活発に行なわれている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、このＳＬ ３Ｎ ４焼結体は通常粉末冶
合法によって製造されるために、焼結体として複雑な形
状を得ることは難しく、また寸法や面精度も精密なもの
は得られにくい。
合法によって製造されるために、焼結体として複雑な形
状を得ることは難しく、また寸法や面精度も精密なもの
は得られにくい。
従って、研削等の機械加工を加えて製品としているのが
現状である。
現状である。
ところが周知のように、Ｓ＝ ３Ｎ ４焼結体は高硬度
物質であるから、機械加工が困難であり、この加工を行
なったとしても多大の時間と労力を要すること、ざらに
比較的単純な形状にしか加工できないこと、特にタービ
ンブレードのような薄肉の部品を得ることは不可能であ
ること、などＳＬ ｓＮ ４焼結体の加工技術上の種々
の制約が該焼結体の応用面における開発の妨げとなって
いるのである。
物質であるから、機械加工が困難であり、この加工を行
なったとしても多大の時間と労力を要すること、ざらに
比較的単純な形状にしか加工できないこと、特にタービ
ンブレードのような薄肉の部品を得ることは不可能であ
ること、などＳＬ ｓＮ ４焼結体の加工技術上の種々
の制約が該焼結体の応用面における開発の妨げとなって
いるのである。
一般に焼結体を用いて、複雑な形状の部品を製造するた
めの１つの手段として放電加工があることは知られてい
るが、従来からＳＬ ｘＮ ４焼結体は完全な絶縁体で
あって、放電加工は行なえないものと考えられてきたの
である。
めの１つの手段として放電加工があることは知られてい
るが、従来からＳＬ ｘＮ ４焼結体は完全な絶縁体で
あって、放電加工は行なえないものと考えられてきたの
である。
く間′照点・を解決するための手段〉
この発明は上記のような従来の考えを打破してＳＬ ｓ
Ｎ ４に対する放電加工を可能にするための方法につき
種々検討を行なった結果なされたものである。
Ｎ ４に対する放電加工を可能にするための方法につき
種々検討を行なった結果なされたものである。
即ち、この発明によれば、ＳＬ ｓＮ ４粉末に導電性
付与剤粉末および焼結助剤粉末を添加し、焼結すること
により、通常のＳ＝ １１４４焼結体が本来有している
優れた特性を維持しながら、導電性を付与された放電加
工可能なＳｉ ３Ｎ ４焼結体が得られるのである。
付与剤粉末および焼結助剤粉末を添加し、焼結すること
により、通常のＳ＝ １１４４焼結体が本来有している
優れた特性を維持しながら、導電性を付与された放電加
工可能なＳｉ ３Ｎ ４焼結体が得られるのである。
く作 用〉
さらに、この発明の詳細な説明すると、ＳＬ １Ｎ ４
粉末に導電性付与剤としてＴＬ Ｎまたは／およびＴｉ
ＣｎＣ粉末焼結助剤として−０または／およびＭ、Ｏｓ
粉末を添加し、各粉末の平均粒径が１μｍ以下になるよ
う粉砕するとともに均一に分散させた後、ホットプレス
または熱間静水圧プレスを用い、非酸化性雰囲気中で１
６００〜２０００℃で焼結することに ゛より、
１５−ａｉ１以上の電気伝導率を有する放電加工可能な
導電性ＳＬ ｚＮ ４焼結体が得られるのである。
粉末に導電性付与剤としてＴＬ Ｎまたは／およびＴｉ
ＣｎＣ粉末焼結助剤として−０または／およびＭ、Ｏｓ
粉末を添加し、各粉末の平均粒径が１μｍ以下になるよ
う粉砕するとともに均一に分散させた後、ホットプレス
または熱間静水圧プレスを用い、非酸化性雰囲気中で１
６００〜２０００℃で焼結することに ゛より、
１５−ａｉ１以上の電気伝導率を有する放電加工可能な
導電性ＳＬ ｚＮ ４焼結体が得られるのである。
ここで導電性付与剤としてＴＬ Ｎまたは／およびｎＣ
粉末を用いるのは、これらが金属なみの高い電気伝導率
（ＴｉＮ ４Ｘ１０’８．３″、”ｌ Ｃ３Ｘ １０４
Ｓ１０４Ｓ−ａ仁ともに、高硬度、高温における安定性
を有しているからであり、焼結助剤として−０または／
およびＭＬＯｓ粉末を用いるのは、これらが少量の添加
でＳＬ ３Ｎ ４マトリツクスの焼結に有効なだけでな
く、ＴＬ Ｎまたは／およびＴｉＣの焼結にも寄与する
と考えられるためである。
粉末を用いるのは、これらが金属なみの高い電気伝導率
（ＴｉＮ ４Ｘ１０’８．３″、”ｌ Ｃ３Ｘ １０４
Ｓ１０４Ｓ−ａ仁ともに、高硬度、高温における安定性
を有しているからであり、焼結助剤として−０または／
およびＭＬＯｓ粉末を用いるのは、これらが少量の添加
でＳＬ ３Ｎ ４マトリツクスの焼結に有効なだけでな
く、ＴＬ Ｎまたは／およびＴｉＣの焼結にも寄与する
と考えられるためである。
導電性付与剤および焼結助剤の添加率は、各々１５〜４
０体積％および０．０１〜３体積％とすることが望まし
い。そしてこれらの添加量の決定は次の２点を考慮して
なされるべきである。
０体積％および０．０１〜３体積％とすることが望まし
い。そしてこれらの添加量の決定は次の２点を考慮して
なされるべきである。
■ 導電性付与剤として添加するＴＬ Ｎまたは／およ
びＴｉＣは、高温における安定性等に優れた物質ではあ
るが、ＳＬ ｚＮ ４に比較すれば、低いレベルにある
ため、添加■は十分な放電加工特性が得られる最少限度
とすべきである。
びＴｉＣは、高温における安定性等に優れた物質ではあ
るが、ＳＬ ｚＮ ４に比較すれば、低いレベルにある
ため、添加■は十分な放電加工特性が得られる最少限度
とすべきである。
■ 焼結助剤添加量は、安定して高い焼結体密度が得ら
れる最少限度とすることが望ましい。
れる最少限度とすることが望ましい。
これは後述のように、焼結助剤の多量添加は、ＳＬ ３
Ｎ ４および導電性付与剤粒子の過度の粒成長等につな
がり、電気伝導率、即ち放電加工特性や高温での耐酸化
性などに悪影響をおよぼすためである。
Ｎ ４および導電性付与剤粒子の過度の粒成長等につな
がり、電気伝導率、即ち放電加工特性や高温での耐酸化
性などに悪影響をおよぼすためである。
次に、この発明に関する上述の２点について、図面を参
照して詳しく説明する。
照して詳しく説明する。
本発明者らの実験によれば、Ｓｉ ｄＪ ４粉末にＴｉ
Ｎ粉末および１０粉末を添加し、粉砕、混合後ホットプ
レスを用いて焼結したＳｉ ｓＮ ４焼結体の電気伝導
率は、−〇添加率が一定（０，５体積％）の場合には第
１図のように変化する。
Ｎ粉末および１０粉末を添加し、粉砕、混合後ホットプ
レスを用いて焼結したＳｉ ｓＮ ４焼結体の電気伝導
率は、−〇添加率が一定（０，５体積％）の場合には第
１図のように変化する。
ここで放電加工特性は電気伝導率と強い相関があり、放
電加工可能となる電気伝導率は１０８．３’程度である
が、一般に使われている放電加工機で無理なく加工可能
とするためには、１０″Ｓ、♂程度以上であることが必
要である。これ以上の電気伝導率領域においても、放電
加工特性は電気伝導率とともに向上し、加工速度に関し
ては、１０１Ｓ、ｉ′まで上昇がみられ、加工面粗さに
関しては１０’Ｓ、Ｏ１１″１００領域においても改善
がみられるなど、放電加工特性のみを考慮すれば、Ｔｊ
Ｎ添加量は多い程好ましい。
電加工可能となる電気伝導率は１０８．３’程度である
が、一般に使われている放電加工機で無理なく加工可能
とするためには、１０″Ｓ、♂程度以上であることが必
要である。これ以上の電気伝導率領域においても、放電
加工特性は電気伝導率とともに向上し、加工速度に関し
ては、１０１Ｓ、ｉ′まで上昇がみられ、加工面粗さに
関しては１０’Ｓ、Ｏ１１″１００領域においても改善
がみられるなど、放電加工特性のみを考慮すれば、Ｔｊ
Ｎ添加量は多い程好ましい。
これに対し、焼結体の曲げ強度および大気中１２００℃
で１００＠間処理した場合の酸化増量は、第２図のよう
に変化し、曲げ強度はＴＬ Ｎ添加率が２５体積％まで
はほとんど低下しないが、それ以上では徐々に低下し、
酸化増量はＴＬ Ｎ添加量の増加と共に急速に増加する
などＴＬ Ｎの多量添加により５Ｌ３Ｎ ４のすぐれた
特性が失われてしまう。
で１００＠間処理した場合の酸化増量は、第２図のよう
に変化し、曲げ強度はＴＬ Ｎ添加率が２５体積％まで
はほとんど低下しないが、それ以上では徐々に低下し、
酸化増量はＴＬ Ｎ添加量の増加と共に急速に増加する
などＴＬ Ｎの多量添加により５Ｌ３Ｎ ４のすぐれた
特性が失われてしまう。
このように導電性付与剤添加値は良好な放電加工特性が
得られる最少限度に止めることが望ましい。
得られる最少限度に止めることが望ましい。
一方、ＴＬ Ｎ添加量を一定（２５体積％）とし、−〇
添加量を変化させた場合、焼結体の曲げ強度および相対
密度は第３図のようになり、曲げ強度に関しては、０．
２〜０．５体積％、相対密度に関しては０．２体積％と
〜０添加量の非常に低い領域での飽和がみられる。
添加量を変化させた場合、焼結体の曲げ強度および相対
密度は第３図のようになり、曲げ強度に関しては、０．
２〜０．５体積％、相対密度に関しては０．２体積％と
〜０添加量の非常に低い領域での飽和がみられる。
これに対して、電気伝導率および酸化増量（大気中、１
２００℃、１００時間）は第４図のように変化する。
２００℃、１００時間）は第４図のように変化する。
電気伝導率は一０添加量が１体積％を超える付近から急
激に減少し、５体積％では放電加工不可能となり、酸化
増量は−Ｏ添加率の低い範囲から増加がみられ、やはり
急激な増加を示している。
激に減少し、５体積％では放電加工不可能となり、酸化
増量は−Ｏ添加率の低い範囲から増加がみられ、やはり
急激な増加を示している。
焼結助剤の添加量を高い密度および曲げ強度が得られる
最少限とすべき理由はこのような特性の低下にある。
最少限とすべき理由はこのような特性の低下にある。
本発明者らは、これらの特性低下の原因について検討し
た結果、−〇添加量の増加により、■ ＴＬ Ｎ粒子の
粒成長 ■ Ｔ＝ Ｎ −ｚ ｏ固溶体の形成 が過度に進行するためと結論した。
た結果、−〇添加量の増加により、■ ＴＬ Ｎ粒子の
粒成長 ■ Ｔ＝ Ｎ −ｚ ｏ固溶体の形成 が過度に進行するためと結論した。
そして上記の■は、焼結体のラッピング面を観察した結
果、ＴＬ Ｎ粒子の平均粒径は第５図のように１０の添
加量とともに増加し、同時に粒子形状との類似性を示す
パラメータであり、円に近いほど大きくなり、円の場合
には１となる。）ことから求められた。
果、ＴＬ Ｎ粒子の平均粒径は第５図のように１０の添
加量とともに増加し、同時に粒子形状との類似性を示す
パラメータであり、円に近いほど大きくなり、円の場合
には１となる。）ことから求められた。
５Ｌ３Ｎ４ ＴｉＮ−１’ｂｏ系焼結体の電気伝導率
（実験値）は、第１図に示すように、ＴＬ Ｎ添加率が
増加するとともに急速にＴｉ Ｎ粒子がすべて連結した
と仮定した値に近づくことから、ＴＬ Ｎ添加量の多い
ｆＲ域では、ＴＬ Ｎ粒子が互いに接触することによっ
て付与されていると考えられ、ＴＬ Ｎ添加量が一定で
あるにもかかわらず、電気伝導率が低下するのは、Ｔ’
Ｌ Ｎ粒子の粗大、円形化による接触確率の減少による
ためと考えられる。
（実験値）は、第１図に示すように、ＴＬ Ｎ添加率が
増加するとともに急速にＴｉ Ｎ粒子がすべて連結した
と仮定した値に近づくことから、ＴＬ Ｎ添加量の多い
ｆＲ域では、ＴＬ Ｎ粒子が互いに接触することによっ
て付与されていると考えられ、ＴＬ Ｎ添加量が一定で
あるにもかかわらず、電気伝導率が低下するのは、Ｔ’
Ｌ Ｎ粒子の粗大、円形化による接触確率の減少による
ためと考えられる。
一方、酸化増量が１０添加量とともに増加するのはＴＬ
Ｎ粒径の増加に伴い、酸化の内部への進行が容易にな
ると同時に、Ｔｌ−Ｐｋ＋Ｏ固溶体あるいはＴ；−Ｎｏ
固溶体の形成が進み、ＴＬ Ｎ粒子内あるいは粒界の物
質移動速度が増加するためと考えられる。
Ｎ粒径の増加に伴い、酸化の内部への進行が容易にな
ると同時に、Ｔｌ−Ｐｋ＋Ｏ固溶体あるいはＴ；−Ｎｏ
固溶体の形成が進み、ＴＬ Ｎ粒子内あるいは粒界の物
質移動速度が増加するためと考えられる。
以上のように導電性付与剤および焼結助剤粉末の添加量
は、各々放電加工特性、機械的特性を維持できる最少限
度とすることが望ましい。
は、各々放電加工特性、機械的特性を維持できる最少限
度とすることが望ましい。
そのためには、ＳＬ ３Ｎ ４粉末、導電性付与剤粉末
、焼結助剤粉末の分散を進め、個々の添加効果を高める
とともに、焼結前の各粉末の平均粒径を１μｍ以下、望
ましくは０．５μｍ以下とし、焼結の駆動力を高める必
要がある。
、焼結助剤粉末の分散を進め、個々の添加効果を高める
とともに、焼結前の各粉末の平均粒径を１μｍ以下、望
ましくは０．５μｍ以下とし、焼結の駆動力を高める必
要がある。
以上のような点を考慮して作製された粉末は、ホットプ
レスを用いて非酸化性雰囲気中、即ちＮ２、■、ＦＪＩ
３、）−１ｅ 、 Ａｒ、 Ｎｅ 、Ｈａなどの１種以
上よりなるガス雰囲気または真空雰囲気中、１６００〜
２０００℃で、あるいは熱間静水圧プレス（ＨＩＰ＞を
用いて、同様の条件で焼結する。
レスを用いて非酸化性雰囲気中、即ちＮ２、■、ＦＪＩ
３、）−１ｅ 、 Ａｒ、 Ｎｅ 、Ｈａなどの１種以
上よりなるガス雰囲気または真空雰囲気中、１６００〜
２０００℃で、あるいは熱間静水圧プレス（ＨＩＰ＞を
用いて、同様の条件で焼結する。
焼結温度を１６００℃以上とするのは、これ以下では焼
結助剤を多量に添加しなければ高い密度、曲げ強度が得
られないためであり、２０００℃以下とするのは、これ
以上ではＳＬ ３Ｎ ４はもちろん、他の添加物の蒸気
圧が高くなり、Ｎ２の圧力を大きくするなどしても分解
、Ｍｆ＠を抑えられないためである。
結助剤を多量に添加しなければ高い密度、曲げ強度が得
られないためであり、２０００℃以下とするのは、これ
以上ではＳＬ ３Ｎ ４はもちろん、他の添加物の蒸気
圧が高くなり、Ｎ２の圧力を大きくするなどしても分解
、Ｍｆ＠を抑えられないためである。
く実 施 例〉
以下、この発明を実施例により説明する。
実施例１
ＳＬ２Ｎ ４粉末に第１表に示す導電性付与剤および焼
結助剤を添加し、粉砕、混合したのち、ホット、 プレ
スを用い、１気圧のＮ２ガス中１７５０℃で１時間２０
０に’１−ｃｆｆｉ’の圧力下、焼結してＳＬ ３Ｎ
４焼結体を作製し、焼結体密度、曲げ強度、電気伝導率
、放電加工特性、酸化増量（大気中１２００℃、１００
時間）を測定したところ、第１表に示す結果が得られた
。
結助剤を添加し、粉砕、混合したのち、ホット、 プレ
スを用い、１気圧のＮ２ガス中１７５０℃で１時間２０
０に’１−ｃｆｆｉ’の圧力下、焼結してＳＬ ３Ｎ
４焼結体を作製し、焼結体密度、曲げ強度、電気伝導率
、放電加工特性、酸化増量（大気中１２００℃、１００
時間）を測定したところ、第１表に示す結果が得られた
。
第 １ 表
上表から、導電性付与剤としてＴＬ ＮまたはＴ’Ｌ
Ｃを、焼結助剤として−または鳩島を添加した本発明の
系ではＳＬ ２Ｎ ４のすぐれた特性を維持しながら放
電加工を可能にしているが、Ｔａ ＮまたはＴａ Ｃを
添加した系では酸化増量が大きく耐酸化性の低下が見ら
れた。
Ｃを、焼結助剤として−または鳩島を添加した本発明の
系ではＳＬ ２Ｎ ４のすぐれた特性を維持しながら放
電加工を可能にしているが、Ｔａ ＮまたはＴａ Ｃを
添加した系では酸化増量が大きく耐酸化性の低下が見ら
れた。
なお、上記第１表および後述する第３表、第４表におけ
る放電加工特性の項に用いた記号の内容は第２表の通り
である。
る放電加工特性の項に用いた記号の内容は第２表の通り
である。
第 ２ 表
実施例２
Ｓｉ ３Ｎ ４粉末にＴＬ Ｎおよび一０粉末を第３表
に示す割合で添加し、粉砕混合したのち、ホットプレス
を用い、１気圧のＮ２ガス中、１７５０℃で１時間、２
００に’３．ｃｍ’の圧力下、焼結して５Ｌ２Ｎ ４焼
結体を作製し、焼結体密度、曲げ強度、電気伝導率、放
電加工特性、酸化増！（１２００℃、１００時間）を測
定したところ、第３表の結果が得られた。
に示す割合で添加し、粉砕混合したのち、ホットプレス
を用い、１気圧のＮ２ガス中、１７５０℃で１時間、２
００に’３．ｃｍ’の圧力下、焼結して５Ｌ２Ｎ ４焼
結体を作製し、焼結体密度、曲げ強度、電気伝導率、放
電加工特性、酸化増！（１２００℃、１００時間）を測
定したところ、第３表の結果が得られた。
第３表
実施例３
ＳＬ Ｊ ４粉末にＴｊ ＣおよびＭｇＯ粉末を第４表
に示す割合で添加し、粉砕、混合したのち、ホットプレ
スを用い、１気圧のＮ２ガス中１８００℃で１時間、２
００ ｋ＋１−ｃｙ；’の圧力下で焼結してＳＬ ３Ｎ
４焼結体を作製した。
に示す割合で添加し、粉砕、混合したのち、ホットプレ
スを用い、１気圧のＮ２ガス中１８００℃で１時間、２
００ ｋ＋１−ｃｙ；’の圧力下で焼結してＳＬ ３Ｎ
４焼結体を作製した。
次いでこの焼結体り焼結体密度、曲げ強度、電気伝導率
、放電加工特性、酸化増徴（１２（１０℃、１０時間）
を測定したところ第４表の結果が得られた。
、放電加工特性、酸化増徴（１２（１０℃、１０時間）
を測定したところ第４表の結果が得られた。
〈効 果〉
以上のように、ＳＬ ３Ｎ ４粉末に導電性付与剤とし
てＴＬ Ｎまたは／およびＴＬ Ｃ粉末、焼結助剤とし
て−０または／および／Ｖ、０３粉末を添加し、平均粒
径１μｍ以下に粉砕、混合したのち、非酸化性雰囲気中
、加圧下に焼結することにより、通常のＳＬ ｓＮ≠焼
結体のすぐれた特性を維持したまま、放電加工を可能に
する導電性ＳＬ ３Ｎ ４焼結体が得られることが認め
られた。
てＴＬ Ｎまたは／およびＴＬ Ｃ粉末、焼結助剤とし
て−０または／および／Ｖ、０３粉末を添加し、平均粒
径１μｍ以下に粉砕、混合したのち、非酸化性雰囲気中
、加圧下に焼結することにより、通常のＳＬ ｓＮ≠焼
結体のすぐれた特性を維持したまま、放電加工を可能に
する導電性ＳＬ ３Ｎ ４焼結体が得られることが認め
られた。
第１図は一０添加發を一定とした時のＴＬ Ｎ添加量と
焼結体の電気伝導率の関係を示すグラフであり、計算値
■は添加したＴＬ Ｎがすべて連結した場合、■は添加
したＴ、 Ｎがすべて分散した場合を示す。第２図は一
０添加量を一定とした時のＴｉ Ｎ添加量と焼結体の曲
げ強度、酸化増量の関係を示すグラフ、第３図はＴＬ
Ｎ添加量を一定とした時の１０添加量と焼結体の曲げ強
度と相対密度の関係を示すグラフ、第４図はＴＬ Ｎ添
加量を一定とした時の１０添加但と焼結体の電気伝導率
と酸化増量の関係を示すグラフ、第５図はＴＬ Ｎ添加
量を一定とした時の１０添加量と焼結体中のＴＬ Ｎ粒
子の平均粒径と４π×面積／（周辺長）１の関係を示す
グラフである。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 和 １） 昭第１
図 １１Ｎヲ４ト韻？ （イＡ＼第１６／ｌ ）ｊ％２図 ０ ＋０ ２０ ３０ ４
０ ５０−ｎト４シイｈ７１Ｑ辛（イＡ＼第１謝
％）第８図 Ｍｈｏネ７１１］奪（係積％〕 第４図
焼結体の電気伝導率の関係を示すグラフであり、計算値
■は添加したＴＬ Ｎがすべて連結した場合、■は添加
したＴ、 Ｎがすべて分散した場合を示す。第２図は一
０添加量を一定とした時のＴｉ Ｎ添加量と焼結体の曲
げ強度、酸化増量の関係を示すグラフ、第３図はＴＬ
Ｎ添加量を一定とした時の１０添加量と焼結体の曲げ強
度と相対密度の関係を示すグラフ、第４図はＴＬ Ｎ添
加量を一定とした時の１０添加但と焼結体の電気伝導率
と酸化増量の関係を示すグラフ、第５図はＴＬ Ｎ添加
量を一定とした時の１０添加量と焼結体中のＴＬ Ｎ粒
子の平均粒径と４π×面積／（周辺長）１の関係を示す
グラフである。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 和 １） 昭第１
図 １１Ｎヲ４ト韻？ （イＡ＼第１６／ｌ ）ｊ％２図 ０ ＋０ ２０ ３０ ４
０ ５０−ｎト４シイｈ７１Ｑ辛（イＡ＼第１謝
％）第８図 Ｍｈｏネ７１１］奪（係積％〕 第４図
Claims (4)
- （１）平均粒径２μｍ以下の窒化珪素粒子および少なく
とも一部が互いに連結したＴｉＮまたは／およびＴｉＣ
粉末からなり、電気伝導率が１Ｓｃｍ＾−＾１以上であ
る放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体。 - （２）窒化珪素粉末に導電性付与剤としてＴｉＮまたは
／およびＴｉＣ粉末を１５〜４０体積％、焼結助剤とし
てＭｇＯまたは／およびＡｌ＿２Ｏ＿３粉末を０．０１
〜３．０体積％添加し、非酸化性雰囲気中、加圧下に１
６００℃〜２０００℃にて焼結することを特徴とする放
電加工可能な窒化珪素焼結体の製造方法。 - （３）焼結前の窒化珪素、導電性付与剤、焼結助剤粉末
が平均粒径１μｍ以下であることを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載の放電加工可能な導電性窒化珪素焼結
体の製造方法。 - （４）非酸化性雰囲気としてＮ＿２、ＣＯ、ＮＨ＿３、
Ｈｅ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｈ＿２の１種以上よりなるガス雰囲
気または真空雰囲気を用いる特許請求の範囲第２項記載
の放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59232674A JPS61111969A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
| US06/794,675 US4659508A (en) | 1984-11-05 | 1985-11-04 | Electrically-conductive sintered compact of silicon nitride machinable by electrical discharge machining and process of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59232674A JPS61111969A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61111969A true JPS61111969A (ja) | 1986-05-30 |
Family
ID=16943016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59232674A Pending JPS61111969A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 放電加工可能な導電性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4659508A (ja) |
| JP (1) | JPS61111969A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62235260A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-15 | 株式会社神戸製鋼所 | Ｓｉ↓３Ｎ↓４基複合材料 |
| JP2002068846A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-08 | Toshiba Corp | 窒化珪素焼結体およびそれを用いた摺動部材並びにベアリングボール |
| US9725817B2 (en) | 2011-12-30 | 2017-08-08 | Ashworth Bros., Inc. | System and method for electropolishing or electroplating conveyor belts |
| CN113121245A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 辽宁省轻工科学研究院有限公司 | 一种可放电加工的氮化硅基复合导电陶瓷及其制备方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2556888B2 (ja) * | 1987-12-24 | 1996-11-27 | 日立金属株式会社 | 電気抵抗率バラツキの少ないセラミックス導電材料 |
| GB8808356D0 (en) * | 1988-04-09 | 1988-05-11 | Lucas Cookson Syalon Ltd | Substituted silicon nitride material & method of production thereof |
| US5169572A (en) * | 1991-01-10 | 1992-12-08 | Matthews M Dean | Densification of powder compacts by fast pulse heating under pressure |
| DE4126509C2 (de) * | 1991-08-08 | 1997-01-09 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellung einer Siliziumnitridkeramik |
| US7132061B2 (en) * | 2001-01-22 | 2006-11-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Electroconductive silicon nitride based composite sintered body and method for preparation thereof |
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| JPS6033265A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-20 | 株式会社日立製作所 | ヒータ用セラミックス導体 |
| JPS6060983A (ja) * | 1983-09-08 | 1985-04-08 | 株式会社デンソー | セラミックヒ−タ及びその製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3890250A (en) * | 1973-03-14 | 1975-06-17 | Norton Co | Hot pressed silicon nitride containing finely dispersed silicon carbide or silicon aluminum oxynitride |
| JPS5820782A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-07 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
| JPS5895644A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-07 | 京セラ株式会社 | 高強度複合焼結体 |
| JPS5978973A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-08 | 株式会社日立製作所 | 導電性セラミツクス |
-
1984
- 1984-11-05 JP JP59232674A patent/JPS61111969A/ja active Pending
-
1985
- 1985-11-04 US US06/794,675 patent/US4659508A/en not_active Expired - Lifetime
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| CN113121245A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 辽宁省轻工科学研究院有限公司 | 一种可放电加工的氮化硅基复合导电陶瓷及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4659508A (en) | 1987-04-21 |
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