JPS61114444U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61114444U JPS61114444U JP1984197990U JP19799084U JPS61114444U JP S61114444 U JPS61114444 U JP S61114444U JP 1984197990 U JP1984197990 U JP 1984197990U JP 19799084 U JP19799084 U JP 19799084U JP S61114444 U JPS61114444 U JP S61114444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- pair
- mounting surface
- semiconductor
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Description
第１図および第２図はこの考案の１実施例に係
り、第１図はマスク保持部を示し図ａは上面図、
図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第２図はマス
クを装着したマスク保持部を示し、図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第３図およ
び第４図は従来のマスク保持部に係り、第３図は
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図、第４図はマスクを装着した
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図である。 １…マスク保持部、１１，１２…１７，１８…
台部、２…台部間の間隙、１１ａ，１２ａ…１７
ａ，１８ａ…載置面、１１ｂ，１１ｂ…１７ｂ，
１７ｂ…支持壁。
り、第１図はマスク保持部を示し図ａは上面図、
図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第２図はマス
クを装着したマスク保持部を示し、図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第３図およ
び第４図は従来のマスク保持部に係り、第３図は
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図、第４図はマスクを装着した
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図である。 １…マスク保持部、１１，１２…１７，１８…
台部、２…台部間の間隙、１１ａ，１２ａ…１７
ａ，１８ａ…載置面、１１ｂ，１１ｂ…１７ｂ，
１７ｂ…支持壁。
Claims (1)
- 半導体用マスクの乾燥用スピンナにおけるマス
ク保持部が、マスクの隅部において隣り合う各辺
に対向しマスクの対角線の延長方向に間隙を有す
る対の台部と、この台部にマスクの主面に接して
このマスクを載置する載置面と、前記台部に設け
られ前記載置面に垂直でマスクの辺の一部を支持
する支持壁とを具備したことを特徴とする半導体
用マスクの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984197990U JPS6323706Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984197990U JPS6323706Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114444U true JPS61114444U (ja) | 1986-07-19 |
| JPS6323706Y2 JPS6323706Y2 (ja) | 1988-06-29 |
Family
ID=30756603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984197990U Expired JPS6323706Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6323706Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP1984197990U patent/JPS6323706Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6323706Y2 (ja) | 1988-06-29 |