JPS61114443U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61114443U JPS61114443U JP1984197989U JP19798984U JPS61114443U JP S61114443 U JPS61114443 U JP S61114443U JP 1984197989 U JP1984197989 U JP 1984197989U JP 19798984 U JP19798984 U JP 19798984U JP S61114443 U JPS61114443 U JP S61114443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- corner
- support wall
- mounting surface
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図および第２図はこの考案の１実施例にか
かり、第１図はマスク保持部を示し図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第２図はマ
スクを装着したマスク保持部を示し図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第３図およ
び第４図は従来のマスク保持部に係り、第３図は
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図、第４図はマスクを装着した
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図である。 １…マスク保持部、２，２…マスク保持部の台
部、２ａ，２ａ…台部の溝、１０３ａ…台部のマ
スク載置面、１０３ｂ…台部の支持壁。
かり、第１図はマスク保持部を示し図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第２図はマ
スクを装着したマスク保持部を示し図ａは上面図
、図ｂは図ａのＡＡ線に沿う断面図、第３図およ
び第４図は従来のマスク保持部に係り、第３図は
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図、第４図はマスクを装着した
マスク保持部を示し図ａは上面図、図ｂは図ａの
ＡＡ線に沿う断面図である。 １…マスク保持部、２，２…マスク保持部の台
部、２ａ，２ａ…台部の溝、１０３ａ…台部のマ
スク載置面、１０３ｂ…台部の支持壁。
Claims (1)
- 半導体用マスクの乾燥用スピンナにおけるマス
ク保持部が、マスクの隅部を載置する載置面を有
する台部と、前記隅部に隣り合う辺の各一部を側
方から支持し前記載置面に垂直な支持壁と、前記
台部の載置面から支持壁内に延長し少くともマス
ク厚以上の高さに形成された溝とを具備したこと
を特徴とする半導体用マスクの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984197989U JPS61114443U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984197989U JPS61114443U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114443U true JPS61114443U (ja) | 1986-07-19 |
Family
ID=30756602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984197989U Pending JPS61114443U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61114443U (ja) |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP1984197989U patent/JPS61114443U/ja active Pending