JPS61119086A - Co↓2レ−ザ発振器 - Google Patents

Co↓2レ−ザ発振器

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Publication number
JPS61119086A
JPS61119086A JP23937084A JP23937084A JPS61119086A JP S61119086 A JPS61119086 A JP S61119086A JP 23937084 A JP23937084 A JP 23937084A JP 23937084 A JP23937084 A JP 23937084A JP S61119086 A JPS61119086 A JP S61119086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
gas
beams
discharge
output
Prior art date
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Pending
Application number
JP23937084A
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiro Otani
昭博 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPS61119086A publication Critical patent/JPS61119086A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/034Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明けCOtレーザ発振器において、発振効率とモ
ードを向上させるための発振器構成に関するものである
〔従来の技術〕
第3図は従来のレーザ発振器を示す断面図である。(1
ンはレーザ発振器で、(2)は出力結合場、(3)は高
反射鏡で、この2枚のミラーにより光共娠器が構成され
ており、共振器筐体内に充満されたCO!を含むレーザ
ガスは、放電励起部(4)で励起され、この励起ガスに
より光増幅され、共振器内でレーザ発振がおこり、出力
結合!、(2)を通って、発根器(5)よりレーザビー
ム(5)が出射する。
レーザ発振が起る際に、ビーム光路において、(4)の
放電励起部においては光は増幅を受けるが、(3)の非
放電励起領域では、レーザガスは光を吸収してしまう。
特に非励起部のレーザガス温度が高温になるにつれレー
ザ光の吸収、すなわちレーザパワーの減衰が激しくなり
、レーザ発振器出力の低下を招く。
また、レーザ光を吸収したガスは瞬時に高温となリ、局
部的な密度変化をひきおこし、レーザ出射ビームのモー
ドおよび出力の不安定をひきおこす原因となる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来のレーザ発振器は以上のように構成されているので
、絶えず非放電部のガスが高温にならないように、非放
電部のガスを冷却したり、めるいは該ガスをたえず循環
させる必要がめった。またたとえガスを冷却るるいは循
環させて、モードるるいは出力の不安定を低減しても、
レーザガスの吸収による出射レーザパワーの低下は防げ
ないという問題点がめった。
この発明は上記のような問題点を屏消するためVCなさ
れたもので、非放電部におけるガスにょるレーザ光の吸
収がおこらないような装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明によるレーザ発振器は、非放電部のビーム光路
のガスをCOlを含むレーザガスではなく、Co、L/
−ザビームと全く吸収しないガスにおきかえたものであ
る。
〔作 用〕
CO,レーザビームを全く吸収しないガスは、レーザ出
力の低下を招くことなく、また吸収による温度上昇もな
いためモード、出力の不安定を引きおこさない。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図において、(υは平均出力300W以上のCO,
レーザ発振器、(2)は半透過性の出力結合鏡、(3)
は高反射鏡、(4)は1対の電極(図示せず)間の放電
によって形成された放電励起部で、(3)が非放電励起
部、(7)は放電励起部と非放電励起部を分離するため
の透過窓でるる。(4)の放電励起空間はレーザ発振の
為のCOlを含むレーザガスで満されている。(3)の
非放電空間はCO!レーザ光を吸収しないガスで充満さ
れている。レーザ光を吸収しないガスとしては、例えば
N!を使用することができる。
(4)の放電励起領域において励起されたレーザガスに
より光の増幅がおこり、(2)の出力結合鏡と(3)の
高反射鏡によって構成された光共振器内を光が往復し、
ソー+1′発振する。その時放電領域内では光が増幅さ
れ、非放電領域では全ぐレー°ザ光を吸収しないガスに
よって満されている為に、レーザ出力のロスがなく、ま
た部分的な高温部、すなわち、局所的な屈折率の変化が
ないために、モード出力の安定したレーザビームを得ら
れる。
なお、上記実施例では、折返しのないレーザ発振器につ
いて説明したが、レーザビーム光路に折返しのめるレー
ザ発振器について実施してもよい。
その−例を第2図に示す。第2図において(7)の透過
鏡によってへだてられた放電励起領域(4と非励起領域
(3) [ld、それぞれレーザガスとCOtレーザ光
と吸収しないガスが満されている。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、発振器内ビーム光路
の非放電部を、レーザ光を吸収しないガスで満したので
、レーザ出力のロスのない、またモード、出力の安定し
たビームを出射することのできるレーザ発振器が得られ
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例によるレーザ発振装置を示
す断面図、第2図はこの発明の他の実施例を示すレーザ
発振器の断面図、第3図は従来のレーザ発振器を示す断
面図である。 図において、(1)はレーザ発振器%(2)は出力結合
鏡、(3)は高反射鏡、(4)は放電励起領域、(5)
はレーザ出射ビーム、(3)は非励起領域、(7)は透
過窓、(8)は折返し鏡である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)少なくとも2枚の反射鏡と少なくとも1つの放電
    励起領域を持つ平均出力300W以上のCO_2レーザ
    発振器において、該レーザ発振器のビーム光路において
    放電励起領域と非励起領域とを少なくとも1枚の透過窓
    によつて分離し、非励起領域のビーム光路にレーザ光を
    吸収しないガスを充填したことを特徴したことを特徴と
    するCO_2レーザ発振器。
  2. (2)レーザ光を吸収しないガスとしてN_2を使用し
    たことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ
    発振器。
  3. (3)共振器内ビーム光路に折り返しのあることを特徴
    とする特許請求の範囲第2項記載のレーザ発振器。
JP23937084A 1984-11-15 1984-11-15 Co↓2レ−ザ発振器 Pending JPS61119086A (ja)

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