JPS6112158B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空接手に係り、特に真空容器内で発
生する物質によつて、電気絶縁が劣化するのを防
止するのに好適な真空接手に関する。

一般に、電気的な絶縁を真空容器あるいは真空
配管等に施すことは、基礎的な真空技術の一つで
ある。口径の大きいフランジ部で気密を保持しつ
つ電気絶縁を施す方法として、従来、フランジ自
体を絶縁物で製作したり、またはシール部に絶縁
物のリングを挿入（文献：堀越源一著「真空技
術」東京大学出版会′76，P124，125）する手段
が採られている。そして、後者について第１図に
基づきさらに詳述すれば、図において１，２は真
空配管である。この真空配管１，２の対向端部に
は、真空用のＯリング３，４挿入用の切欠きを有
するフランジ５，６がそれぞれ溶接されている。
そして、これらのフランジ５，６の間には、Ｏリ
ング３，４を介してセラミツク等の絶縁物で構成
されたドーナツ円板状のリング７が介装され、両
フランジ５，６はねじ部材８によつて固着されて
いる。しかしてフランジ５，６、Ｏリング３，４
および７によつて、電気絶縁を施した真空接手が
構成されている。

なお、図中９は、締付を金属性ねじ部材で行な
う場合、フランジ５，６を絶縁するためのカラー
である。

以上のように構成された従来の真空接手におい
て真空配管１，２内部に、プラズマ、荷電粒子ま
たは高温金属等の汚染源が存在すると、リング７
の内面７ａが金属蒸気等で汚染され電気絶縁が低
下する等の難点がある。

この絶縁劣化を防止する対策としては、第２図
に示すような断面形状のリング１７が考えられ
る。このような構造にすれば、表面１７ａ，１７
ｂは汚染源から照射されず、絶縁は保持できる。
しかしながら、反面形状が複雑になり加工工数が
増大するばかりでなく、表面１７ｃ，１７ｄの変
形により漏洩の発生のおそれが増大し、また肉厚
の薄い部分１０の機械的強度が問題となり、さら
に真空に面する絶縁物の表面が増大することで、
ガス放出増加による真空系の特性劣化の原因とな
ることもある等の難点がある。

本発明はかかる現況に鑑み創案されたもので、
その目的とするところは、真空容器内で発生する
物質によつて電気絶縁が劣化することのない真空
接手を提供するにある。

上記目的を達成するために、本発明は、真空配
管の対向端部に設けられたフランジ間に電気絶縁
物を介在させて連結機構で締付けてなる真空接手
において、上記フランジの対向位置にそれぞれ環
状の凹部を形成し、両凹部によつて形成される環
状空間の外周側部に電気絶縁材料からなる環状の
間隔保持材を介装し、上記還状空間の内周側部
に、外周面に突出部が形成されて上記間隔保持材
より若干厚みの少なく形成されたセンターリング
を配設し、このセンターリングの突出部と各フラ
ンジとの間に可とう性部材をそれぞれ介装して上
記センターリングを上記各フランジからわずかに
離れた状態で保持するようにしたことを特徴とす
るものである。

以下本発明を第３図および第４図に示す一実施
例に基づいて説明する。

第３図において２１，２２は真空配管であり、
相互の真空配管２１，２２の対向端部にはフラン
ジ２３，２４がそれぞれ対設されている。そし
て、このフランジ２３，２４には、径方向の中間
位置に凹部２５，２６が周方向に、また外縁部に
連結孔３０，３１がそれぞれ対向して設けられて
いる。

凹部２５，２６で構成される環状空間の外周側
部には、セラミツク等の電気的絶縁物で形成され
た間隔保持材２７が介装され、この間隔保持材２
７の真空配管２１，２２側には、真空配管２１，
２２側の端部に広面部を有する断面略Ｔ形状に形
成されたステンレス鋼等の金属製のセンタリング
２８およびこのセンタリング２８と各フランジ２
３，２４との間にゴム、テトラフルオルエチレン
またはポリイミドその他のプラスチツク製のＯリ
ングからなる可撓性部材２９，２９がそれぞれ配
設されている。

フランジ２３，２４の連結孔３０，３１にはね
じ部材３２が挿設され、電気絶縁性を有するカラ
ーを介して、前記ねじ部材３２によつて相互のフ
ランジ２３，２４が一体に固着されている。

このような構成において真空シールは、フラン
ジ２３，２４、センタリング２８および可撓性部
材２９によつて行なわれ、間隔保持材２７は直接
真空シールには関与しない。そして、間隔保持材
２７の大きさは、センタリング２８広面部の大き
さより大きく形成されているので、センタリング
２８広面部は、少なくとも一方のフランジ２３ま
たは２４から隔離され、両フランジ２３，２４は
絶縁される。

なお、通常は、可撓性部材２９，２９を同一の
ものとし、センタリング２８の広面部を両フラン
ジ２３，２４から隔離して、電気絶縁を両可撓性
部材２９，２９によつて分担させるようにする。

以上の構成において金属蒸気等の汚染源は、真
空配管２１，２２内から両フランジ２３，２４の
間隙を通つて真空接手内に飛来する。飛来方向は
フランジ面で規制されるので、フランジ２３，２
４とほぼ平行のビーム状となる。そして、照射
は、第４図に示すようにセンタリング２８のＡ部
分に限定される。センタリング２８は金属製であ
るから絶縁劣化は問題とならず、また汚染物質
は、２回以上の金属面では反射は非常に少ないの
で、可撓性部材２９の汚染の進行が非常に遅くな
る。

以上説明したように本実施例によれば、簡単な
構造で金属蒸気等による汚染を極力少なくするこ
とができ、また高価なアルミナ磁器等の特殊な材
料を必要とせず、さらにフランジは対称形に形成
できる。

また、真空に面する絶縁物はシールに必要な可
撓性部材だけであるので、絶縁物からのガス放出
等真空的な問題が少ない。

さらに間隔保持材は真空に面していないので、
機械的特性と電気絶縁から選択すればよく、形状
も単純で製作が容易である。

なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はなく、例えば、可撓性部材２９はＯリングでな
くてもよく、またセンタリング２８を絶縁物で形
成し、間隔保持材２７と一体に構成してもよい。

また、この接手を電気絶縁をしない一般のフラ
ンジに用いてもよい。この場合、間隔保持材２７
は必要に応じて金属にしてもよく、またセンタリ
ング２８と間隔保持材２７とを一体としてもよ
い。この際、カラー３３が不要であることは言う
までもない。

以上本発明を好適な実施例に基づいて説明した
が、本発明によれば、真空容器内で発生する物質
によつて電気絶縁が劣化することがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す断面図、第２図は改良さ
れた従来のリングを示す断面図、第３図は本発明
の一実施例を示す断面図、第４図は第３図の要部
拡大断面図である。 ２３，２４……フランジ、２５，２６……凹
部、２７……間隔保持材、２８……センタリン
グ、２９……可撓性部材、３０，３１……連結
孔、３２……ねじ部材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空配管の対向端部に設けられたフランジ間
   に電気絶縁物を介在させて連結機構で締付けてな
   る真空接手において、上記フランジの対向位置に
   それぞれ環状の凹部を形成し、両凹部によつて形
   成される環状空間の外周側部に電気絶縁材料から
   なる環状の間隔保持材を介装し、上記還状空間の
   内周側部に、外周面に突出部が形成されて上記間
   隔保持材より若干厚みの少なく形成されたセンタ
   ーリングを配設し、このセンターリングの突出部
   と各フランジとの間に可とう性部材をそれぞれ介
   装して上記センターリングを上記各フランジから
   わずかに離れた状態で保持するようにしたことを
   特徴とする真空接手。 ２ 上記可とう性部材は、ゴム、テトラフルオル
   エチレンまたはポリイミドその他のプラスチツク
   製Ｏリングで形成されてなることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の真空接手。 ３ 上記センターリングは、ステンレス鋼その他
   の金属で形成されてなることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項または第２項記載の真空接手。