JPS61124816A - 非接触式三次元計測装置 - Google Patents
非接触式三次元計測装置Info
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- JPS61124816A JPS61124816A JP24630384A JP24630384A JPS61124816A JP S61124816 A JPS61124816 A JP S61124816A JP 24630384 A JP24630384 A JP 24630384A JP 24630384 A JP24630384 A JP 24630384A JP S61124816 A JPS61124816 A JP S61124816A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、非接触式三次元計測装置に係り、特に、三次
元自由曲面を有する物体を非接触の状態で計測するに好
適な、非接触式三次元計測装置に関するものである。
元自由曲面を有する物体を非接触の状態で計測するに好
適な、非接触式三次元計測装置に関するものである。
近年注目されはじめている計測技術に、光点検出センサ
利用による非mM方式での物体形状の測定がめる。この
光点検出センサ利用による非接触方式での物体形状の測
定については、雑誌1センサ技術“における東京農工大
学の告澤徹氏による“光点検出上/すによる物体形状の
測定”と題する文献において論じられている。
利用による非mM方式での物体形状の測定がめる。この
光点検出センサ利用による非接触方式での物体形状の測
定については、雑誌1センサ技術“における東京農工大
学の告澤徹氏による“光点検出上/すによる物体形状の
測定”と題する文献において論じられている。
この文献では、計測原理の紹介、この原理を利用した検
出センサの製品例の紹介およびこれらセンサの応用例に
ついての紹介等が記載されている。
出センサの製品例の紹介およびこれらセンサの応用例に
ついての紹介等が記載されている。
これらのセンナを利用した計測装置の一例+t−第6図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
ここに第6図は、検出センナの計測原理図である。
1は計測すべき物体、4′は検出センナで、検出センナ
4′は、光源13、送光用レンズ14、受光用レンズ1
5および検知器16からなっている。光源13は、例え
ばレーザー光などである。
4′は、光源13、送光用レンズ14、受光用レンズ1
5および検知器16からなっている。光源13は、例え
ばレーザー光などである。
物体1の基準面を1.とすると、レーザー光は送光用し
/ズ14t−経て基準面1.で反射し受光レンズ15t
−経て当該レンズの垂直軸上の検知器16の168に集
光し、面1bでの反射は16bK集光し、レーザー光の
乱反射を検知器16面に集光する状態によって検出セン
ナ4′と物体1間の距離が計測される。
/ズ14t−経て基準面1.で反射し受光レンズ15t
−経て当該レンズの垂直軸上の検知器16の168に集
光し、面1bでの反射は16bK集光し、レーザー光の
乱反射を検知器16面に集光する状態によって検出セン
ナ4′と物体1間の距離が計測される。
検出センナの計測範囲、すなわち計測可能領域は、例え
ば第6図に示すように、*体1と検出センナ4′との間
にある距離を基準として±16mといったように受光で
きる範囲が有限で6t)、 したがって、検出センナ4
′を如何にして計測可能領域を外れないように物体lの
まわりに移動させるかということが重要な問題となる。
ば第6図に示すように、*体1と検出センナ4′との間
にある距離を基準として±16mといったように受光で
きる範囲が有限で6t)、 したがって、検出センナ4
′を如何にして計測可能領域を外れないように物体lの
まわりに移動させるかということが重要な問題となる。
しかし、前記の文献には、センナの駆動制御については
論じられていなかった。
論じられていなかった。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、計測手
段に係る検出センナと物体との間の距#llを常にめる
一定の計測可能領域内にろるように、検出センナまたは
物体、もしくは検出センナと物体との両者1駆動制御で
きるようにし、これによ勺、三次元自由曲面を有する物
体を非接触の状態で。
段に係る検出センナと物体との間の距#llを常にめる
一定の計測可能領域内にろるように、検出センナまたは
物体、もしくは検出センナと物体との両者1駆動制御で
きるようにし、これによ勺、三次元自由曲面を有する物
体を非接触の状態で。
かつ、自動的に計測しうる非接触式三次元計測装置の提
供を、その目的としている。
供を、その目的としている。
本発明に係る非接触式三次元計測装置の構成は、三次元
自由曲面を有する物体を、非接触の状態で当該物体と計
測手段との閣の距離を計測する計測手段と、当該計測手
段と当該物体との間の距離が常にある一定の計測可能領
域内にあるように当該計測手段または当該物体、もしく
は当該計測手段と当該物体との両者を移動せしめるため
に複数の駆動軸を具備する駆動装置と、物体の形状を点
列の状態で三次元の座標値として入力する入力手段と、
その入力を前記駆動装置の複数の駆動軸の座標位置指令
信号に変換するとともに、前記計測手段によって計測さ
れた距P@信号を座標系の距離情報に変決して出力処理
するだめの信号変換部を有する信号処理手段と、前記座
標位置指令信号によって前記駆動装置紫、計測手段が常
に計測可能領域内で物体のまわ)を移動するように各軸
の座標位1tを指令する制御指令手段とを備えたもので
ある。
自由曲面を有する物体を、非接触の状態で当該物体と計
測手段との閣の距離を計測する計測手段と、当該計測手
段と当該物体との間の距離が常にある一定の計測可能領
域内にあるように当該計測手段または当該物体、もしく
は当該計測手段と当該物体との両者を移動せしめるため
に複数の駆動軸を具備する駆動装置と、物体の形状を点
列の状態で三次元の座標値として入力する入力手段と、
その入力を前記駆動装置の複数の駆動軸の座標位置指令
信号に変換するとともに、前記計測手段によって計測さ
れた距P@信号を座標系の距離情報に変決して出力処理
するだめの信号変換部を有する信号処理手段と、前記座
標位置指令信号によって前記駆動装置紫、計測手段が常
に計測可能領域内で物体のまわ)を移動するように各軸
の座標位1tを指令する制御指令手段とを備えたもので
ある。
さらに補足すると、次のとおシである。
上記目的を達成するため、本発明では、検出センナと物
体との間の距離が常にある一定の範囲内と次るようK、
検出セ/すまたは物体、もしくは、検出センナと物体と
の両者を、複数の自由度を持つ駆動装置、すなわち複数
の駆動軸を具備する駆動装置に取付け、さらに当該7駆
動装置を、検出センナが常に計測範囲内、すなわち計測
可能領域内で物体のまわりt−移動するように、制御指
令手段により駆動制御するようにしたものである。
体との間の距離が常にある一定の範囲内と次るようK、
検出セ/すまたは物体、もしくは、検出センナと物体と
の両者を、複数の自由度を持つ駆動装置、すなわち複数
の駆動軸を具備する駆動装置に取付け、さらに当該7駆
動装置を、検出センナが常に計測範囲内、すなわち計測
可能領域内で物体のまわりt−移動するように、制御指
令手段により駆動制御するようにしたものである。
一方、この制御指令手段としては、物体の形状を点列の
状態で三次元の座標値として、NOテープまたは70ツ
ビーデスクに予め入力しておき、これを各軸の座標位置
指令信号に変換することにより、複数の駆動軸を具備す
る駆動装置を制御す・るか、または、検出センサ自身に
よって計測済みの各軸の座標値を基に1次に進むべき座
標位置を演算予測し、これにより、複数の駆動軸を具備
する駆動装置を制御するようにしたものである。
状態で三次元の座標値として、NOテープまたは70ツ
ビーデスクに予め入力しておき、これを各軸の座標位置
指令信号に変換することにより、複数の駆動軸を具備す
る駆動装置を制御す・るか、または、検出センサ自身に
よって計測済みの各軸の座標値を基に1次に進むべき座
標位置を演算予測し、これにより、複数の駆動軸を具備
する駆動装置を制御するようにしたものである。
以下、本発明の各実施例を第1図ないしig5図を参照
して説明する。
して説明する。
ここに第1図は、本発明の一実施例に係る非接触式三次
元計測装置の構成図、第2図は、本発明の他の実施例に
係る非接触式三次元計測装置の構成図、第3図は、これ
らの装置の計測および駆動制御系のブロック図、$4図
および第5図は、これら装置による実験結果を示す線図
であり、第1図および第2図において同等部は同一符号
で示している。そして、第1図は、物体と駆動itとが
別々に設置される場合、すなわち、4E体を固定し、計
測手段のみを駆動する実施例を示し、第2図は、物体が
駆動装置上に設置される場合、すなわち、物体と計測手
段との両者を駆動する実施例を示す。
元計測装置の構成図、第2図は、本発明の他の実施例に
係る非接触式三次元計測装置の構成図、第3図は、これ
らの装置の計測および駆動制御系のブロック図、$4図
および第5図は、これら装置による実験結果を示す線図
であり、第1図および第2図において同等部は同一符号
で示している。そして、第1図は、物体と駆動itとが
別々に設置される場合、すなわち、4E体を固定し、計
測手段のみを駆動する実施例を示し、第2図は、物体が
駆動装置上に設置される場合、すなわち、物体と計測手
段との両者を駆動する実施例を示す。
ここでは5$1図の実施例を主として説明する。
第1図において、lは物体、例えば水車ランナの羽根な
ど三次元自由曲pitもり物体でろる。2は、複数の自
由度をもつ駆動装置で、矢印で示すX、Y、Z軸方向の
直線移動、θ軸方向の回転およびζ軸方向の俯仰を行う
複数の駆動軸をもつものである。3aおよび3bは駆動
装置2を直接制御するためのコントローラで、第1図に
示す実施例では、駆動装置のX軸、Y軸およびZ軸を制
御する丸めのコントローラ3aと、回転軸(θ軸)およ
び俯仰軸(ζ軸)を制御するためのコントロー23bを
別々に設置しているが、これを一つにすることも可能で
るる。
ど三次元自由曲pitもり物体でろる。2は、複数の自
由度をもつ駆動装置で、矢印で示すX、Y、Z軸方向の
直線移動、θ軸方向の回転およびζ軸方向の俯仰を行う
複数の駆動軸をもつものである。3aおよび3bは駆動
装置2を直接制御するためのコントローラで、第1図に
示す実施例では、駆動装置のX軸、Y軸およびZ軸を制
御する丸めのコントローラ3aと、回転軸(θ軸)およ
び俯仰軸(ζ軸)を制御するためのコントロー23bを
別々に設置しているが、これを一つにすることも可能で
るる。
また、4は計測手段に係る検出センナを示し、検出セン
ナ4は、第6図に示したようなレーザー光を使用した有
限の計測可能領域を有する検出器である。
ナ4は、第6図に示したようなレーザー光を使用した有
限の計測可能領域を有する検出器である。
6.7および8は、前記上/す4が常にろる一定の距離
で物体のまわりを移動するよう駆動装置2に指令信号を
与える制御指令手段と、検出センナ4によって計測され
た距離信号を必要な座標系の距離情報に変換し、かつ、
出力処理するための信号処理手段とを内蔵した、コンピ
ュータ、デスクドライバおよびフロッピーデスクを示す
。
で物体のまわりを移動するよう駆動装置2に指令信号を
与える制御指令手段と、検出センナ4によって計測され
た距離信号を必要な座標系の距離情報に変換し、かつ、
出力処理するための信号処理手段とを内蔵した、コンピ
ュータ、デスクドライバおよびフロッピーデスクを示す
。
次に、第1図および43図を用いて計測手順を説明する
。
。
まず、制御指令手段として、物体1の形状を点列の状態
で三次元の座標値として入力手段に係るフロッピーデス
ク8に予め入力しておき、この入力ta数の駆動軸の座
標位置指令信号に変換し、もって各軸の座標位置を指令
する場合について説明する。
で三次元の座標値として入力手段に係るフロッピーデス
ク8に予め入力しておき、この入力ta数の駆動軸の座
標位置指令信号に変換し、もって各軸の座標位置を指令
する場合について説明する。
計測を開始するに当り、まず駆動装置2と物体1との間
で座標系のリンケージを行う。ここに、座標系のリンケ
ージとは、物体1の座標系と、その設計値の座標系とを
一致させることである。
で座標系のリンケージを行う。ここに、座標系のリンケ
ージとは、物体1の座標系と、その設計値の座標系とを
一致させることである。
これは、いま、計測しようとする物体1の三次元の座標
系(X、Y、Z軸)が、駆動装置z側の複数の駆動方向
の軸(X、Y、Z、θ、ζ軸)の座標値としてどこにあ
るかを定義するためのもので、設置された物体1のある
基準面上の数点を計測することにより行うことができる
。
系(X、Y、Z軸)が、駆動装置z側の複数の駆動方向
の軸(X、Y、Z、θ、ζ軸)の座標値としてどこにあ
るかを定義するためのもので、設置された物体1のある
基準面上の数点を計測することにより行うことができる
。
この機能により、掬体xfe任意の位置に設置して加工
する、いわゆるフリーセツティングが可能となる。
する、いわゆるフリーセツティングが可能となる。
このように座標系のリンケージが完了すると。
次に、フロッピーデスク8に予め入力しておいた物体の
三次元点列データを、デスクドライバ7、インタフェイ
ス9?介してコンピュータ6に送る。
三次元点列データを、デスクドライバ7、インタフェイ
ス9?介してコンピュータ6に送る。
そこで、コンピュータ6に内蔵した制御指令手段により
、物体1の三次元点列データは駆動装置2の複数の駆動
軸の移動量として、物体1と検出センサ4との間の距離
が常にある一定の範囲となるzうに演算変換され、イン
タフェイス11、コントローラ3aおよび3bを介して
駆動装置2に指令信号が伝達される。
、物体1の三次元点列データは駆動装置2の複数の駆動
軸の移動量として、物体1と検出センサ4との間の距離
が常にある一定の範囲となるzうに演算変換され、イン
タフェイス11、コントローラ3aおよび3bを介して
駆動装置2に指令信号が伝達される。
ここで注目すべきことは、物体の三次元点列データは、
物体lの形状を定めるX、YおよびZ軸の三次元座標値
であるが、制御指令手段においては、このデータにより
制御指令手段内部で物体1“の形状をモニターし、第3
図に示すように、駆動装置2に具備された干渉防止用近
接スイッチ12等の作用で、物体1と検出センサー4が
干渉しないことを確認し、また各点における最適の回転
角(θ軸)および俯仰角(ζ軸)を演算して定めている
ことでるる。
物体lの形状を定めるX、YおよびZ軸の三次元座標値
であるが、制御指令手段においては、このデータにより
制御指令手段内部で物体1“の形状をモニターし、第3
図に示すように、駆動装置2に具備された干渉防止用近
接スイッチ12等の作用で、物体1と検出センサー4が
干渉しないことを確認し、また各点における最適の回転
角(θ軸)および俯仰角(ζ軸)を演算して定めている
ことでるる。
駆a装置2においては、制御指令手段からの指令信号に
より、褒数の駆動軸(X軸、Y軸、z軸。
より、褒数の駆動軸(X軸、Y軸、z軸。
θ軸およびζ軸)が指令値に一致するまで、指令信号の
フィードバック回路機能により移動する。
フィードバック回路機能により移動する。
検出セ/す4により物体1との間の距離を計測し、計測
された距離信号は、信号増中器5、インタフェイスl(
l介して信号処理手段を内蔵したコンピュータ6に伝達
される。
された距離信号は、信号増中器5、インタフェイスl(
l介して信号処理手段を内蔵したコンピュータ6に伝達
される。
信号処理手段においては、駆動機構2の複数の駆動軸の
座標信号および検出センサ4からの計測信号を基に、計
測結果を物体の座標値として出力し、また、必要に厄じ
てム己憶する。
座標信号および検出センサ4からの計測信号を基に、計
測結果を物体の座標値として出力し、また、必要に厄じ
てム己憶する。
上述のように、検出センサ4と物体lとの間の距離は、
店にある一定の範囲である計測可能領域内で、検出セン
サ4が物体1のまわりt−移動し、物体lとの間の距離
を計測することができる。
店にある一定の範囲である計測可能領域内で、検出セン
サ4が物体1のまわりt−移動し、物体lとの間の距離
を計測することができる。
発明者らは、上述の手順に従って実験を行い、s4図に
示す結果を得た。
示す結果を得た。
第4図は、X、y、z軸による三次元座標系で示した実
験結果で、コンピュータ6からアウトプットされたもの
である。図中の実線は、フロッピーデスク8により予め
入力された物体の三次元形状を示しており、はぼその線
上にるる×印は実際の計測結果を示したもので良好な結
果であることがわかる。
験結果で、コンピュータ6からアウトプットされたもの
である。図中の実線は、フロッピーデスク8により予め
入力された物体の三次元形状を示しており、はぼその線
上にるる×印は実際の計測結果を示したもので良好な結
果であることがわかる。
次に、制御指令手段として、検出センサ4自身によって
計測済みの駆動装置2の複数の駆動軸の座標値を基に、
次に検出センサ4の進むべき゛座標位置を演算予測し、
もって、各駆動軸の座標位置ftm令する場合について
IN5!明する。
計測済みの駆動装置2の複数の駆動軸の座標値を基に、
次に検出センサ4の進むべき゛座標位置を演算予測し、
もって、各駆動軸の座標位置ftm令する場合について
IN5!明する。
計測を開始するに当り、前記手順と同様、まず駆動装置
2と物体lとの間で座標系のす/ケージを行う。次に、
検出セフt4により、物体1のるる計測面上の41数点
(最少2点)を、駆動装置2を手動操作するかまたは、
この点のみは、概略座matを人力することによる自動
操作によって計測し、計測した距離信号tig号増巾器
5、インタフェイス10を介して制御指令手段を内蔵し
たコンピュータ6に伝達する。そこで、制御指令手段に
より、その計測データは、駆動装置2の複数の駆動軸の
座標値として演算変換されるとともに、その計測データ
を基に、駆動装置2の複数の駆動軸の次に進むべき点は
、検出センサ4が計測可能領域内に入るようにコンピュ
ータ6に内蔵された演算部で演算予測され、インタ7エ
イス11、コントローラ3aお工び3bを介して駆動装
置2に司令信号として伝達される。
2と物体lとの間で座標系のす/ケージを行う。次に、
検出セフt4により、物体1のるる計測面上の41数点
(最少2点)を、駆動装置2を手動操作するかまたは、
この点のみは、概略座matを人力することによる自動
操作によって計測し、計測した距離信号tig号増巾器
5、インタフェイス10を介して制御指令手段を内蔵し
たコンピュータ6に伝達する。そこで、制御指令手段に
より、その計測データは、駆動装置2の複数の駆動軸の
座標値として演算変換されるとともに、その計測データ
を基に、駆動装置2の複数の駆動軸の次に進むべき点は
、検出センサ4が計測可能領域内に入るようにコンピュ
ータ6に内蔵された演算部で演算予測され、インタ7エ
イス11、コントローラ3aお工び3bを介して駆動装
置2に司令信号として伝達される。
、駆動装d2に2いては、制御指令手段からの指令16
号により、複数の駆!jh軸(X軸、Y軸、z軸。
号により、複数の駆!jh軸(X軸、Y軸、z軸。
θ軸およびζ軸)が指令値に一致するまで、指令信号に
対するフィードバック回路機能により移動する。
対するフィードバック回路機能により移動する。
ここで注目すべきことは、演算予測された指令信号に従
って駆動装置2の複数の駆動軸が移動し、検出センサ4
に工って物体1を計測したにもかかわらず、検出センサ
4が計測不能領域になり計測不能を生じた場合で、この
場合は、計測不能信号を制御指令手段にフィードバック
して、計測可能となるまで予測点を繰返し演算し捜し出
すことでbる。
って駆動装置2の複数の駆動軸が移動し、検出センサ4
に工って物体1を計測したにもかかわらず、検出センサ
4が計測不能領域になり計測不能を生じた場合で、この
場合は、計測不能信号を制御指令手段にフィードバック
して、計測可能となるまで予測点を繰返し演算し捜し出
すことでbる。
本手順は、噴出センサ4により物体1と検出セフt4と
の間の距離を計測し、その結果を基に各駆動軸の次に進
むべき点を演算予測する以外、これを信号処理するなど
については、前記方式と同様である。
の間の距離を計測し、その結果を基に各駆動軸の次に進
むべき点を演算予測する以外、これを信号処理するなど
については、前記方式と同様である。
このように、検出センサ4と物体lとの間の距離は、常
にるる一定の計測可能領域内で、検出センサ4が物体1
のまわり?移動し、物体lとの間の距離全計測すること
ができる。
にるる一定の計測可能領域内で、検出センサ4が物体1
のまわり?移動し、物体lとの間の距離全計測すること
ができる。
発明者らは、上述の手順に従って実jAを行い、第5図
に示す艮好な結果を得た。
に示す艮好な結果を得た。
第5図は、X、Y二次元の線図で1図中x印が実際の計
測結果を示すものでコンビエータ6がアウトプットした
ものである。この実験では予め設計データがないので演
算予測をして計測したものであり、この計測データから
設計データ?採取することができる。
測結果を示すものでコンビエータ6がアウトプットした
ものである。この実験では予め設計データがないので演
算予測をして計測したものであり、この計測データから
設計データ?採取することができる。
上記実施例によれば、形状が既知の物体、すなわち三次
元の座標値のある切体のみならず、形状が未知の三次元
自由曲@Jを有する物体についても非接触、かつ、自動
的に計測できるという効果がおる。
元の座標値のある切体のみならず、形状が未知の三次元
自由曲@Jを有する物体についても非接触、かつ、自動
的に計測できるという効果がおる。
以上述べたところは、ig1図のように検出センサ4の
み7f!:移動させるものであるが、第2図に示す実施
例は、物体1と検出センナ4の両方を駆動せしめるもの
である。
み7f!:移動させるものであるが、第2図に示す実施
例は、物体1と検出センナ4の両方を駆動せしめるもの
である。
第2図において、物体1は、駆動装置2人のテーブルに
設置されX軸方向に移動し、検出センサ4は、駆動装[
t2Aに装着されて、Y軸、Z軸の直線運動、θ軸の回
転およびζ軸の俯仰運動の複数の軸方向の駆動がなされ
る。
設置されX軸方向に移動し、検出センサ4は、駆動装[
t2Aに装着されて、Y軸、Z軸の直線運動、θ軸の回
転およびζ軸の俯仰運動の複数の軸方向の駆動がなされ
る。
そして、駆動装置2人による切体1および検出センサ4
を移動させるコントローラ3a、3bは、本実施例では
ひとつの装置に構成されている。
を移動させるコントローラ3a、3bは、本実施例では
ひとつの装置に構成されている。
本実施例の場合も、41図の実施例で述べたものと同様
の効果が期待される。
の効果が期待される。
また、特に図示して説明しないが、物体のみを多次元に
駆動させて計測するように構成して同様の効果を期待す
ることも可能である。
駆動させて計測するように構成して同様の効果を期待す
ることも可能である。
なお、前記の実施例では、第1図および第2図に示す代
表的なg4h装置、検出センナを説明したが、本発明は
、これらの形状、駆動機構、構造のものに限るものでな
く、同等の効果が期待される他の装置1手段の採用を妨
げるものではない。
表的なg4h装置、検出センナを説明したが、本発明は
、これらの形状、駆動機構、構造のものに限るものでな
く、同等の効果が期待される他の装置1手段の採用を妨
げるものではない。
以上述べたように、本発明によれば、計測手段に係る検
出センナと物体との間の距m’を常にらる一定の計測可
能領域内にあるように、検出センサまたは物体、もしく
は検出センナと物体との両者を駆動制御できるようにし
、これにより三次元自由曲面を有する物体を非接触の状
態で、かつ、自動的に計測しうる非接触式三次元計測装
置を提供することができる。
出センナと物体との間の距m’を常にらる一定の計測可
能領域内にあるように、検出センサまたは物体、もしく
は検出センナと物体との両者を駆動制御できるようにし
、これにより三次元自由曲面を有する物体を非接触の状
態で、かつ、自動的に計測しうる非接触式三次元計測装
置を提供することができる。
第1図は、杢発明の一実施例に係る非接触式三次元計測
装置の構成図、第2図は1本発明の他の実施例に係る非
接触式三次元計測装置の構成図。 第3図は、これらの装置の計測および駆動制御系のブロ
ック図、第4図および第5図は、これら装置による実験
結果を示す5図、第6図は、検出センサの計測原理図で
める。 l・・・切体、2,2A・・・駆動装置、3a、3b・
・・コントローラ、4・・・検出センサ、6・・・コン
ピュータ、内 〉発明者 大 島 勝 宏 日立市幸町3丁目1番
内
装置の構成図、第2図は1本発明の他の実施例に係る非
接触式三次元計測装置の構成図。 第3図は、これらの装置の計測および駆動制御系のブロ
ック図、第4図および第5図は、これら装置による実験
結果を示す5図、第6図は、検出センサの計測原理図で
める。 l・・・切体、2,2A・・・駆動装置、3a、3b・
・・コントローラ、4・・・検出センサ、6・・・コン
ピュータ、内 〉発明者 大 島 勝 宏 日立市幸町3丁目1番
内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、三次元自由曲面を有する物体を、非接触の状態で当
該物体と計測手段との間の距離を計測する計測手段と、
当該計測手段と当該物体との間の距離が常にある一定の
計測可能領域内にあるように当該計測手段または当該物
体、もしくは当該計測手段と当該物体との両者を移動せ
しめるために複数の駆動軸を具備する駆動装置と、物体
の形状を点列の状態で三次元の座標値として入力する入
力手段と、その入力を前記駆動装置の複数の駆動軸の座
標位置指令信号に変換するとともに、前記計測手段によ
つて計測された距離信号を座標系の距離情報に変換して
出力処理するための信号変換部を有する信号処理手段と
、前記座標位置指令信号によつて前記駆動装置を、計測
手段が常に計測可能領域内で物体のまわりを移動するよ
うに各軸の座標位置を指令する制御指令手段とを備えた
ことを特徴とする非接触式三次元計測装置。 2、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、計測手
段は、レーザー光を使用した有限の計測可能領域を有す
る検出器を用いたものである非接触式三次元計測装置。 3、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、信号処
理手段は、ある任意の時点において複数の駆動軸の次に
進むべきそれぞれの座標位置を、その任意時点までに計
測手段によつて計測ずみの各軸の座標値を基に演算予測
しうる演算部を備えたものとし、演算予測に従つて各軸
の座標位置を制御指令手段によつて指令するように構成
したものである非接触式三次元計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24630384A JPS61124816A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 非接触式三次元計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24630384A JPS61124816A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 非接触式三次元計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124816A true JPS61124816A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17146550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24630384A Pending JPS61124816A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 非接触式三次元計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61124816A (ja) |
Cited By (10)
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-
1984
- 1984-11-22 JP JP24630384A patent/JPS61124816A/ja active Pending
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