JPS61125094A - 直流放電型気体レ−ザ−装置 - Google Patents
直流放電型気体レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS61125094A JPS61125094A JP24460784A JP24460784A JPS61125094A JP S61125094 A JPS61125094 A JP S61125094A JP 24460784 A JP24460784 A JP 24460784A JP 24460784 A JP24460784 A JP 24460784A JP S61125094 A JPS61125094 A JP S61125094A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- inductance
- laser device
- gas laser
- type gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は００１などのガス放電を用いた直流放電型気
体レーザー装置ｌこ、関する。
体レーザー装置ｌこ、関する。
第２図は従来の直流横方向放電屋気体レーザー装置の概
略断面図である。図に詔いて、カソードはピン形状をし
た複数の電極セグメント１に分割されており、各セグメ
ントは絶縁体５により固定されている。２はアノード電
極である。３は放電安定用のバラスト抵抗である。小型
で高出力レーザー発振を行なうためには、放電電力密度
が高く。
略断面図である。図に詔いて、カソードはピン形状をし
た複数の電極セグメント１に分割されており、各セグメ
ントは絶縁体５により固定されている。２はアノード電
極である。３は放電安定用のバラスト抵抗である。小型
で高出力レーザー発振を行なうためには、放電電力密度
が高く。
安定で放電領域全体にわたって空間的に一様なグロー放
電を発生させなければならない。同、Ｇはガスの流れ方
向を示す。この様な放電を発生させるためにバラスト抵
抗と呼ばれる放電安定用抵抗３が、電極と電源の間に直
列に接続されている。
電を発生させなければならない。同、Ｇはガスの流れ方
向を示す。この様な放電を発生させるためにバラスト抵
抗と呼ばれる放電安定用抵抗３が、電極と電源の間に直
列に接続されている。
しかし、レーザーのより高出力化を自損して放電電流を
増大させるとバラスト抵抗の存在にしかかわらず、放電
不安定性が発生し、グロー放電からアーク放電への移行
が起こる。この放電不安定を抑制するために、従来より
多くの方法が考えられており、特に補助放電を用いる方
法が効果を上げている。その他、各分割電極ごとに電源
を独立させ、半導体素子を用いて分割電極ととｌこ電流
制御を行なう方法など（例えば特開昭５５−１２８８９
０゜特開昭５５−１２８８９２ ）が提案されている。
増大させるとバラスト抵抗の存在にしかかわらず、放電
不安定性が発生し、グロー放電からアーク放電への移行
が起こる。この放電不安定を抑制するために、従来より
多くの方法が考えられており、特に補助放電を用いる方
法が効果を上げている。その他、各分割電極ごとに電源
を独立させ、半導体素子を用いて分割電極ととｌこ電流
制御を行なう方法など（例えば特開昭５５−１２８８９
０゜特開昭５５−１２８８９２ ）が提案されている。
しかし、前者の方法は補助放電用電源を別に設ける必要
があり、後者の方法は高耐圧用半導体素子を多量に用い
る必要があり、どちらの場合も電源部が大型で複雑にな
り高価なものになるなどの欠点があった。また、前者の
場合には放電部も補助放電に必要な電標等が加わるため
、装置が大型−複雑化する欠点があった。
があり、後者の方法は高耐圧用半導体素子を多量に用い
る必要があり、どちらの場合も電源部が大型で複雑にな
り高価なものになるなどの欠点があった。また、前者の
場合には放電部も補助放電に必要な電標等が加わるため
、装置が大型−複雑化する欠点があった。
この発明は、前述した従来の装置の欠点を改良したもの
で、装置全体を小屋化し安価で信頼性の高い、高出力な
直流放電型気体レーザー装置を提供することを目的とし
ている。
で、装置全体を小屋化し安価で信頼性の高い、高出力な
直流放電型気体レーザー装置を提供することを目的とし
ている。
本発明は、小型で高出力のレーザー発振を達成するため
には、放電領域全体にわたって一様で、放電電力密度の
高い安定なグロー放電を行なわせることが必要であるこ
とから、従来用いられてきたバラスト抵抗に、更に直列
にインダクタンスを接続することにより、グロー放電か
らアーク放電へ移行する時に生ずる急激な電流増加を抑
制し、放電不安定性を抑える効果を持つ直流放電型気体
レーザー装置である。この不安定性には、熱的不安定性
、負イオ／の生成・消滅による不安定性等いろいろの原
因が考えられているが、その成長時間はおおむね１００
ｎ３ｅｃ〜１ｍ５ｅｅである。一方。
には、放電領域全体にわたって一様で、放電電力密度の
高い安定なグロー放電を行なわせることが必要であるこ
とから、従来用いられてきたバラスト抵抗に、更に直列
にインダクタンスを接続することにより、グロー放電か
らアーク放電へ移行する時に生ずる急激な電流増加を抑
制し、放電不安定性を抑える効果を持つ直流放電型気体
レーザー装置である。この不安定性には、熱的不安定性
、負イオ／の生成・消滅による不安定性等いろいろの原
因が考えられているが、その成長時間はおおむね１００
ｎ３ｅｃ〜１ｍ５ｅｅである。一方。
レーザー媒質ガスを高速（５０〜ＩＱＯｍ／ｓ）で流す
ことにより、成長率の遅い不安定性は抑制可能である。
ことにより、成長率の遅い不安定性は抑制可能である。
現在、高出力レーザー装置において問題となる不安定性
は、成長時間が１００μｓｅｃ 以下のものである。ま
た、従来用いられているバラスト抵抗の値はおおむね１
０にΩ〜５０にΩの範囲である。
は、成長時間が１００μｓｅｃ 以下のものである。ま
た、従来用いられているバラスト抵抗の値はおおむね１
０にΩ〜５０にΩの範囲である。
電流の立上り時間を１００ｎｓｅｃ 〜１００ａｓｅｃ
、インヒータンスを５０にΩとするとインダクタンスの
犬舎さは１０ｍＨ〜１Ｈとなる。このインダクタンスを
用いることにより、電源部を複雑ｌζする必要性がなく
なりさらに、放電部も小型・簡単化することができ安価
で信頼性の高い装置にすることができる。更にバラスト
抵抗の値を小さくできる可能性もあり、レーザーの効率
の向上にも役立つ。インダクタンスの巻線に高抵抗線を
用いることにより、バラスト抵抗とインダクタンスを一
体化することができ、更に装置が小型化されつる。
、インヒータンスを５０にΩとするとインダクタンスの
犬舎さは１０ｍＨ〜１Ｈとなる。このインダクタンスを
用いることにより、電源部を複雑ｌζする必要性がなく
なりさらに、放電部も小型・簡単化することができ安価
で信頼性の高い装置にすることができる。更にバラスト
抵抗の値を小さくできる可能性もあり、レーザーの効率
の向上にも役立つ。インダクタンスの巻線に高抵抗線を
用いることにより、バラスト抵抗とインダクタンスを一
体化することができ、更に装置が小型化されつる。
本発明によれば、電源、放電部ともに、小型・簡単化す
ることができ、安価で信頼性の高い装置にすることがで
きる。更に、レーザーの効率も向上する。
ることができ、安価で信頼性の高い装置にすることがで
きる。更に、レーザーの効率も向上する。
この発明の実施例を第１図に示す。本例では分割電極を
カソードに用いており、分割電極の形状はビン形状をし
ている。またインダクタンス４としてフェライトコア６
に導線を巻いたものを使用する。この結果、電源、放電
部ともに小型・簡単化することができ、安価で信頼性の
高いレーザー装置にすることができる。
カソードに用いており、分割電極の形状はビン形状をし
ている。またインダクタンス４としてフェライトコア６
に導線を巻いたものを使用する。この結果、電源、放電
部ともに小型・簡単化することができ、安価で信頼性の
高いレーザー装置にすることができる。
分割電極は、アノードに用いてもよいし、カソード、ア
ノードの両方に用いてもよい。分割電極をアノード、カ
ソードの両方に用いた時には、本発明を両電極ともに用
いてもよいしどちらか一方にのみ用いてもよい。インダ
クタンスはその値が、１ｍＨ〜１Ｈの範囲にあれば、ど
の様な構造・材質のものを用いてもよい。あるいは、巻
線に高抵抗の抵抗線を使用するなどして、バラスト抵抗
とインダクタンスを一体化して更に装置を小型化するこ
とも可能である。
ノードの両方に用いてもよい。分割電極をアノード、カ
ソードの両方に用いた時には、本発明を両電極ともに用
いてもよいしどちらか一方にのみ用いてもよい。インダ
クタンスはその値が、１ｍＨ〜１Ｈの範囲にあれば、ど
の様な構造・材質のものを用いてもよい。あるいは、巻
線に高抵抗の抵抗線を使用するなどして、バラスト抵抗
とインダクタンスを一体化して更に装置を小型化するこ
とも可能である。
また、電源を切断した時にインダクタンスに発生する逆
電圧を防止するために、インダクタンスに並列にダイオ
ード（あるいは抵抗７とダイオード８の直列回路）を接
続してもよい。あるいは、ダイオードの大量の使用を避
けるために、電源に徐々に電圧が上昇もしくは降下して
オン・オフするスローオフ （ｓｌｏｗ ｏｆｆ）回路
９を設けてもよい。
電圧を防止するために、インダクタンスに並列にダイオ
ード（あるいは抵抗７とダイオード８の直列回路）を接
続してもよい。あるいは、ダイオードの大量の使用を避
けるために、電源に徐々に電圧が上昇もしくは降下して
オン・オフするスローオフ （ｓｌｏｗ ｏｆｆ）回路
９を設けてもよい。
本発明を分割電極を用いない小型レーザーに用いても、
バラスト抵抗を小さくすることにより。
バラスト抵抗を小さくすることにより。
レーザー効率の向上につながり有効性を持つ。
第１図は本発明の実施例の概略構成断面図、第２図は従
来のレーザー装置放電部の概略構成断面図である。 ｉ・・・分割電極、２・・・アノード、３・・・バラス
ト抵抗、４・・・インダクタンス、５・・・分割電極固
定用絶縁体、６・・・放電用電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第 １
図
来のレーザー装置放電部の概略構成断面図である。 ｉ・・・分割電極、２・・・アノード、３・・・バラス
ト抵抗、４・・・インダクタンス、５・・・分割電極固
定用絶縁体、６・・・放電用電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第 １
図
Claims (4)
- （１）ガスレーザー媒質中にアノードおよびカソードの
両電極を対向設置させ、前記両電極のうち少なくとも一
方の電極が複数個に分割された電極より構成される直流
放電型気体レーザー装置において、前記分割電極の各々
に、バラスト抵抗とインダクタンスとが放電用直流電源
に直列に接続されていることを特徴とする直流放電型気
体レーザー装置。 - （２）インダクタンスを構成する巻線をバラスト抵抗お
よびインダクタンスを一体化した高抵抗線の巻線とした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の直流放電
型気体レーザー装置。 - （３）インダクタンスを１ｍＨ〜１Ｈとしたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の直流放電型気体レー
ザー装置。 - （４）インダクタンスにダイオードを並列接続してなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の直流放電
型気体レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24460784A JPS61125094A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 直流放電型気体レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24460784A JPS61125094A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 直流放電型気体レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125094A true JPS61125094A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17121246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24460784A Pending JPS61125094A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 直流放電型気体レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61125094A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01170893A (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-05 | Japan Atom Energy Res Inst | グロー放電装置 |
| JP2008047716A (ja) * | 2006-08-17 | 2008-02-28 | Fujitsu Ltd | プラグインユニット実装構造、および電子装置 |
| CN103915747A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大能量脉冲放电装置 |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP24460784A patent/JPS61125094A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01170893A (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-05 | Japan Atom Energy Res Inst | グロー放電装置 |
| JP2008047716A (ja) * | 2006-08-17 | 2008-02-28 | Fujitsu Ltd | プラグインユニット実装構造、および電子装置 |
| CN103915747A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大能量脉冲放电装置 |
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