JPS61144444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61144444U JPS61144444U JP2867285U JP2867285U JPS61144444U JP S61144444 U JPS61144444 U JP S61144444U JP 2867285 U JP2867285 U JP 2867285U JP 2867285 U JP2867285 U JP 2867285U JP S61144444 U JPS61144444 U JP S61144444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical microscope
- mirror
- optical axis
- switch
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 7
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 claims 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成を示す線
図、第２図は他の実施例の要部線図である。
図、第２図は他の実施例の要部線図である。
Claims (1)
- 試料表面を電子線で照射する装置と同じ試料表
面を観察する光学顕微鏡との複合装置で、上記光
学顕微鏡の対物光学系を利用して試料照射光を試
料面に収束させ、或はカソードルミネツセンスを
分光装置に集光させる構成を有し、照明光源の光
を光学顕微鏡の光軸上に導く半透明鏡と、同光軸
上のカソードルミネツセンス光を分光装置に導く
全反射鏡とを交互に光学顕微鏡の光軸上に進退さ
せるのと連動して作動せしめられるスイツチを有
し、同スイツチによつて上記半透明鏡と全反射鏡
との切換え期間中、上記照明光源の光が直接上記
分光装置の光検出器に入射するのを阻止する手段
を作動させるようにした光学顕微鏡とカソードル
ミネツセンス測定装置の複合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2867285U JPS61144444U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2867285U JPS61144444U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144444U true JPS61144444U (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=30526770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2867285U Pending JPS61144444U (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144444U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60420A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | Olympus Optical Co Ltd | 螢光顕微測光装置 |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP2867285U patent/JPS61144444U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60420A (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | Olympus Optical Co Ltd | 螢光顕微測光装置 |
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