JPS61149340U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61149340U JPS61149340U JP3176985U JP3176985U JPS61149340U JP S61149340 U JPS61149340 U JP S61149340U JP 3176985 U JP3176985 U JP 3176985U JP 3176985 U JP3176985 U JP 3176985U JP S61149340 U JPS61149340 U JP S61149340U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- cell
- channel
- gate array
- gate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
第1図は、本考案の一実施例を示す平面的位置
関係図であり、第2図は、第1図のA―A線の断
面を示す断面図である。第3図は、一従来例を示
す平面的位置関係図であり、第4図は、第3図の
B―B線による断面を示す断面図である。 11……基板、12……拡散層、13……ゲー
ト、14……セル内の配線、15……中間配線、
16……チヤンネル配線、17……絶縁層、18
……コンタクトホール。
関係図であり、第2図は、第1図のA―A線の断
面を示す断面図である。第3図は、一従来例を示
す平面的位置関係図であり、第4図は、第3図の
B―B線による断面を示す断面図である。 11……基板、12……拡散層、13……ゲー
ト、14……セル内の配線、15……中間配線、
16……チヤンネル配線、17……絶縁層、18
……コンタクトホール。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板の拡散層とゲートでトランジスタが形成さ
れてセルをなし、セル内の配線およびチヤンネル
配線ならびに前記セル内の配線と前記チヤンネル
配線を結ぶ中間配線により各々の前記セルを集積
配線してなるゲートアレーに於いて、 前記セル内の配線および前記チヤンネル配線な
らびに前記中間配線が各々別の層をなし、各々の
層と層の間や層と拡散層やゲートの間をコンタク
トホールにより導通配線してなる事を特徴とする
ゲートアレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3176985U JPS61149340U (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3176985U JPS61149340U (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149340U true JPS61149340U (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=30532671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3176985U Pending JPS61149340U (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149340U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022163A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Matsushita Electron Corp | マスタースライス方式半導体集積回路装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929440A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP3176985U patent/JPS61149340U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929440A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022163A (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 | Matsushita Electron Corp | マスタースライス方式半導体集積回路装置の製造方法 |