JPS61150U - フオトレジスト露光用紫外線照射装置 - Google Patents
フオトレジスト露光用紫外線照射装置Info
- Publication number
- JPS61150U JPS61150U JP1984083235U JP8323584U JPS61150U JP S61150 U JPS61150 U JP S61150U JP 1984083235 U JP1984083235 U JP 1984083235U JP 8323584 U JP8323584 U JP 8323584U JP S61150 U JPS61150 U JP S61150U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist exposure
- ultraviolet irradiation
- lamp
- irradiation equipment
- air cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案装置の一実施例を示す断面図および回路
図の組合せ図、第２図はその作用を示すグラフである。 １・・・ランプ、２・・・風冷装置、７・・・ヒータ、
１１・・・赤外線放射温度計。
図の組合せ図、第２図はその作用を示すグラフである。 １・・・ランプ、２・・・風冷装置、７・・・ヒータ、
１１・・・赤外線放射温度計。
Claims (2)
- （１）フォトレジスト露光用の紫外線を照射するランプ
に対して風冷装置を設けたフォトレジスト露光用紫外線
照射装置において、上記風冷装置に上記ランプを点灯す
る前に通電されるヒータを設けたことを特徴とするフォ
トレジスト露光用紫外線照射装置。 - （２）風冷装置は、ランペ点灯後にランプ温度を赤外線
放射温度計によって測定してほぼ一定に保持する機構を
有することを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のフォトレジスト露光用紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984083235U JPS61150U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984083235U JPS61150U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61150U true JPS61150U (ja) | 1986-01-06 |
Family
ID=30631676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984083235U Pending JPS61150U (ja) | 1984-06-05 | 1984-06-05 | フオトレジスト露光用紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61150U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5933798A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | 富士ゼロックス株式会社 | 螢光ランプ点灯装置 |
-
1984
- 1984-06-05 JP JP1984083235U patent/JPS61150U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5933798A (ja) * | 1982-08-19 | 1984-02-23 | 富士ゼロックス株式会社 | 螢光ランプ点灯装置 |
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