JPS61160885A - 動圧型浮上式ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録装置に用いる、磁気変換素子を有す
る動圧型浮上式ヘッドに関するものである。

従来の技術 従来より、磁気ディスク記録装置では、磁気記録媒体の
走行において生ずる動圧を利用して、この磁気記録媒体
上に微小すき間を一定に維持して浮上する浮動式ヘッド
が用いられている。この浮動式ヘッドには、コアとコイ
ルからなる記録再生用磁気ヘッドが形成されている。一
般に、磁気ヘッドは媒体表面に近接せしむる程高密度、
高出力化が可能で、０．２μ園以下の浮上量が実用化さ
れており、より一層の低浮上化が求められている。しか
も、媒体がスライダーに対して移動する周速に関係なく
、略一定の浮上距離を保つことが、再生信号の振幅の変
調を防ぎ、信号分解能が改善され、信頼性が高くなる。

発明が解決しようとする問題点 媒体に近接して、略一定の距離に浮上するためには、高
い空気膜剛性を有することが求められ、押圧荷重を大き
くする事が望ましいが、従来の正圧スライダーでは、起
動、停止時における媒体との接触の観点や走行中の記録
媒体及びヘッドの耐摩耗性の観点からは、大幅な押圧荷
重の増加は望めない。その上、周速に関係なく安定した
一定の浮上量を得ることは、浮上刃（正圧力）が周速に
比例するので、不可能な事である。

一方、ディスクの回転速度（周速）が低い場合、ヘッド
の両側レールのみの正圧力では、高い剛性を満たすに充
分な大きさを得ることは難しいし、目的の浮上量を達す
ることさえ層しい、又、今までに発表されている負圧力
を利用したスライダーでは、負圧力は媒体の定常回転中
は浮上高さ及び浮上姿勢の変動に対して鈍感で、正圧力
のみに剛性を依存しているので、低浮上時に要求される
剛性を満たす事は難しくなる。

故に、低浮上時において１周速及び外部荷重に対して充
分大きな剛性を有し、浮上距離を一定に維持でき、かつ
周速の小さい条件下でも安定した浮上を与える動圧型浮
上式スライダーの開発が望まれる。

そこで本発明は１以上の問題点を解決するために、従来
の正圧だけを利用した正圧スライダー及び負圧力と正圧
力を利用した負圧スライダーとは異なる思想にたって。

（１）、記録再生動作中、周速変動に関係なく略一定の
距離の浮上量を維持すること （２）、外部荷重の変動に対して強い剛性を有し、浮上
量の変動が小さいこと （３）、ディスクの片揺れ等に強いこと（４）、低周速
の場合でも充分に上記（１）〜（３）の条件を満足する
こと ができる動圧型浮上式ヘッドを提供することを目的とす
る。

問題点を解決するための手段 上記目的を達成するため本発明は。

空気ベアリング表面を有するスライダー本体に、上記空
気ベアリング表面の前部および後部における両側縁に沿
って、かつ前後方向に距離を隔てて配向された二組の一
対の一定又は不定幅の前後方向の側レールと、 上記側レール対間に配置され、これら側レール対の各々
に略直交するように接続された一定又は不定幅の交差レ
ールと、 前記側レール及び交差レールによって三方または四方を
囲まれた凹部と。

を形成したものである。

作用 このようなものであると、記録媒体が走行するとき、上
記２対の側レールと各々に接続された交差レールとの上
に浮上刃（正圧力）を発生せしめ、前部の側レール対と
該側レール対に接続された前部交差レールとに挟さまれ
で該交差レールに続く領域、及び後部の側レール対と該
側レール対に接続された後部の交差レールとに挟まれて
該交差レールに続く領域に、自己荷重力（負圧力）を発
生させる事になる。この正圧力と負圧力は、スライダー
本体全体に対して略一定の荷重が生ずる様な平衡状態に
て作用する。依って、空気流ディスクの周速変動に対し
ては少しも影響される事もなく、記録再生中は、記録媒
体に対して略一定の浮上距離を維持することが可能とな
る。

実施例 本発明の第１の実施例を第１図にもとづいて説明する０
本発明の浮動式ヘッドは、スライダー本体（１）に、２
対の一定幅の長方形状の側レール（１１）（１２）、　
（１３）（１４）と、各々側レール対に略直交する様接
続した交差レール（１５）　（１６）と、３〜４個の側
レール（１１）〜（１４）又は交差レール（１５）　（
１６）にて三方又は四方を囲まれた領域に形成された凹
部（２０）（２１）　（２２）とが形成された構成とな
っている。スライダー本体（１）の前部における一対の
側レール（１１）（１２）の前縁には、テーパー（１７
）　（１Ｂ）が形成されており、該側レール（１１）　
（１２）間に配された交差レール（１５）には１段付テ
ーパー（１９）が施されている６以上の構成にて、大気
圧より高い正圧が２対の側レール（１１）　（１２）、
（１３）（１４）及び交差レール（１５）（１６）上に
発生し、かつ各レール（１１）〜（１６）にて三方又は
四方を囲まれ各々の交差レール（１５）（１６）に続く
凹部（２０）　（２１）　（２２）には大気圧より低い
負圧が発生する。スライダー本体（１）の長手軸中心方
向（ｘ　ｘ　）　　（ｘ　ｔ　）　及び一方の縁（７）
側Ｌ／−／Ｌ／（１１）（１３）（７）中心軸方向（Ｘ
ｉ）−（ＸＩ）上の圧力分布を、それぞれ第２図（ａ）
（ｂ）に示す（圧力（Ｐａ）の分布は、大気圧（Ｐｏ）
に対する比で示す）、長手軸中心方向（Ｘ、）−（Ｘｉ
）の圧力分布は、第２図（ａ）に示すように、上記２つ
の交差レール（１５）　（１６）上に正圧を発し、その
交差レールの直後にピークを生じ、徐々に大気圧に近づ
く様に負圧を発生する。依って、上記両立差レール（１
５）　（１６）の位置が、正圧−負圧のバランスを形成
しているのがわかる。一方、側レール（１１）　（１３
）の中心軸方向（Ｘり−（Ｘり上の圧力分布は、第２図
（ｂ）に示すように、前部、後部にある上記両側レール
（１１）　（１３）上に大気圧（ＰＯ）より高い正圧力
（Ｐａ）を生じ、該側レール（１１）（１３）間の凹部
（２３）は大気圧程度の圧力となっている。

故に、記録媒体によるスライダー本体（１）の縦振れ及
び垂直方向振動に対して１強い剛性を示すことになる。

又周速が小さい場合でも、交差レール（１５）　（１６
）上の正圧を積極的に利用する事で必要な浮上刃を得る
事ができる。

以上の圧力発生にて、正圧力、負圧力を充分に大きくし
て、平衡状態において略一定の荷重を発生させる事が可
能であり、第３図に示すように高い剛性の空気ベアリン
グ薄膜（４２）を形成できる。

これにより、外部からの荷重変動に対して強い浮上式ヘ
ッドを構成できる。故に、後部の一対の側レール（１３
）　（１４）の後端にレール表面と面一になる様接合さ
れた磁気変換素子（３１＾）　（３１Ｂ）は、剛性の強
い移動基板（３３）上の磁気記録媒体（３２）の表面の
方へ、外部からの低荷重（４１）にて押付けられるとき
に、該記録媒体（３２）に対し最小でしかも一定の浮上
距離を維持し続けることができる。又、第４図に示すよ
うに、ディスク速度に対しても略一定の浮上量を維持す
る。

スライダー本体（１）は、セラミックあるいはフェライ
ト等の材料より成り、凹部（２０）〜（２２）の形成に
は、ケミカルエツチング法、イオンシーリング法等が用
いられる。すなわち、まずスライダー本体（１）の表面
を０．１μ■以下の平坦度に仕上げ、上記方法にて凹部
（２０）〜（２２）を食刻する０食刻深さは、ディスク
周速、浮上距離、剛性等の条件に応じて決定される０本
実施例の場合、第５図に示すように、１〜２μ−程度の
深さにて最大の負圧が得られる。

本発明の他の実施例を第６図に示す、前実施例に比べ、
前方レール群（１１）　（１２）　（１５）と後方レー
ル群（１３）　（１４）　（１６）との間の凹部（２２
）は段差を有し、圧力発生が大気圧程度となる食刻深さ
に設定しである。又、後部側レール群（１３）　（１４
）　（１６）にもテーパー（１７）〜（１９）を付ける
事で、より大きい正圧力を低速でも得ることができる。

発明の効果 以上の様に本発明によれば、 ■　正圧力、負圧力を利用する事で、ディスク周速に関
係なく略一定の浮上距離を維持できる。

■　負圧力を充分に大きく生せしめることで、今までに
比し大なる正圧力を発生する事が可能となる。又、負圧
力を積極的に利用する事で、スライダー本体の浮上姿勢
の変動に対し敏感な負圧力が得られ、正圧力だけを利用
した従来の負圧スライダーに比べ、より高い空気ベアリ
ング薄膜が得られる。

■　交差レール上の正圧力の積極的な利用により、正圧
力を充分に大きく、剛性を高くする事ができる。

以上により、安定した動圧型浮上式ヘッドを実現する事
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図はその圧力
分布を示す図、第３図はその走行状態を示す図、第４図
はその浮上量の周速依存性を示す図、第５図はその凹部
の食刻深さと負圧力との関係を示す図、第６図は本発明
の他の実施例の斜視図である。 （１）・・・スライダー本体、（１７）　（１８）　（
１９）・・・テーパ＋、　（１１）（１２）（１３）（
１４）・・・側レール、（１５）　（１６）・・・交差
レール、（２０）　（２１）　（２２）・・・凹部、（
３１Ａ）　（３１Ｂ）・・・磁気変換素子。 代理人　　　森　　本　　義　　弘 第１　図 １り （２ン　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ν〕
第３図 第４図 ＨＪ　　　　　　ｌｓａ　　　　　　２ａ、ａ　　　　
　Ｂ、ａ　　　　　　ｋ６膚凍（＄ン １２３４５６７Ｂ ／ｆｊＲ劃５Ｌ側（門）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、空気ベアリング表面を有するスライダー本体に、 上記空気ベアリング表面の前部および後部 における両側縁に沿って、かつ前後方向に距離を隔てて
   配向された二組の一対の一定又は不定幅の前後方向の側
   レールと、 上記側レール対間に配置され、これら側レ ール対の各々に略直交するように接続された一定又は不
   定幅の交差レールと、 前記側レール及び交差レールによって三方 または四方を囲まれた凹部と、 を形成したことを特徴とする動圧型浮上式 ヘッド。 ２、凹部は、段差を有し、場所により深さが異なるよう
   に形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の動圧型浮上式ヘッド。 ３、側レールおよび交差レールの少なくとも一方は、前
   部縁にテーパ又は段が形成されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項又は第２項記載の動圧型浮上式ヘ
   ッド。