JPS61166548U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61166548U JPS61166548U JP4975385U JP4975385U JPS61166548U JP S61166548 U JPS61166548 U JP S61166548U JP 4975385 U JP4975385 U JP 4975385U JP 4975385 U JP4975385 U JP 4975385U JP S61166548 U JPS61166548 U JP S61166548U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- load resistor
- drive transistor
- active region
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図Ａ〜Ｈは本考案に係るインバータの製法
例を示す工程図、第２図は従来のインバータを示
す断面図である。 ２１はＳｉＯ２の絶縁基板、２２は多結晶Ｓｉ
薄膜、２５は熱酸化膜、２８は活性領域、２９は
ＰＳＧ膜、３６は薄膜トランジスタ、３７は負荷
抵抗、３８はインバータである。
例を示す工程図、第２図は従来のインバータを示
す断面図である。 ２１はＳｉＯ２の絶縁基板、２２は多結晶Ｓｉ
薄膜、２５は熱酸化膜、２８は活性領域、２９は
ＰＳＧ膜、３６は薄膜トランジスタ、３７は負荷
抵抗、３８はインバータである。
Claims (1)
- 駆動トランジスタと負荷抵抗が共通の半導体薄
膜で形成され、上記駆動トランジスタの活性領域
の膜厚が上記負荷抵抗の膜厚より小に選定されて
成るインバータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4975385U JPS61166548U (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4975385U JPS61166548U (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61166548U true JPS61166548U (ja) | 1986-10-16 |
Family
ID=30567239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4975385U Pending JPS61166548U (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61166548U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012029872A1 (ja) * | 2010-09-02 | 2013-10-31 | シャープ株式会社 | 信号処理回路、インバータ回路、バッファ回路、レベルシフタ、フリップフロップ、ドライバ回路、表示装置 |
-
1985
- 1985-04-03 JP JP4975385U patent/JPS61166548U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012029872A1 (ja) * | 2010-09-02 | 2013-10-31 | シャープ株式会社 | 信号処理回路、インバータ回路、バッファ回路、レベルシフタ、フリップフロップ、ドライバ回路、表示装置 |