JPS61170635A - 光学系フレアの測定法及び装置 - Google Patents
光学系フレアの測定法及び装置Info
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- JPS61170635A JPS61170635A JP1095085A JP1095085A JPS61170635A JP S61170635 A JPS61170635 A JP S61170635A JP 1095085 A JP1095085 A JP 1095085A JP 1095085 A JP1095085 A JP 1095085A JP S61170635 A JPS61170635 A JP S61170635A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- measured
- light source
- flare
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0285—Testing optical properties by measuring material or chromatic transmission properties
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光学系（可視光又は非可視光）のフレア（ベ
ーリンググレアともいう）を測定する方法及びその装置
に関する。
ーリンググレアともいう）を測定する方法及びその装置
に関する。
（従来の技術）
フレアは、光学系内のレンズエレメントなどでの光散乱
により映像のコントラストを悪（する原因であり、暗視
装置や赤外線装置の光学系では分解能とともに重要な評
価要素である。
により映像のコントラストを悪（する原因であり、暗視
装置や赤外線装置の光学系では分解能とともに重要な評
価要素である。
従来、この種の光学系フレアの測定法及び装置として、
可視光学系に関する第３図に示す構成が知られているに
の第３図において、１はスクリーンで、該スクリーン１
上には暗黒部２が設けられている。３はスクリーン１上
を一様に照らす照明装置、５は被測定光学系である。こ
の被測定光学Ｍ５の標的が前記暗黒部２を有するスクリ
ーン１であり、６は被測定光学系の映像面、６ａは測定
された映像面の光強度を表す像面信号強度分布である。
可視光学系に関する第３図に示す構成が知られているに
の第３図において、１はスクリーンで、該スクリーン１
上には暗黒部２が設けられている。３はスクリーン１上
を一様に照らす照明装置、５は被測定光学系である。こ
の被測定光学Ｍ５の標的が前記暗黒部２を有するスクリ
ーン１であり、６は被測定光学系の映像面、６ａは測定
された映像面の光強度を表す像面信号強度分布である。
ここで、可視光学系に用いられている第３図に示した従
来のフレアの測定方法について説明する。
来のフレアの測定方法について説明する。
被測定光学系５の視野より十分に大きなスクリーン１の
中に光の反射のない穴等によって形成された暗黒部２を
設けておき、このスクリーン１を均一に照明する。この
スクリーン１を被測定光学系５により観測し、その映像
面６の光強度を測定する。そのとき、映像面の光強度を
表す像面信号強度分布６ａのスクリーン像に対応する暗
黒部Ｉ （ｂ）と明るい部分Ｉ （ｏ）との信号強度比
Ｉ （ｂ）／ Ｉ （ｏ）をもって被測定光学系のフレ
アとする。
中に光の反射のない穴等によって形成された暗黒部２を
設けておき、このスクリーン１を均一に照明する。この
スクリーン１を被測定光学系５により観測し、その映像
面６の光強度を測定する。そのとき、映像面の光強度を
表す像面信号強度分布６ａのスクリーン像に対応する暗
黒部Ｉ （ｂ）と明るい部分Ｉ （ｏ）との信号強度比
Ｉ （ｂ）／ Ｉ （ｏ）をもって被測定光学系のフレ
アとする。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、従来のフレア測定装置は、可視光学系につい
て構成されているので、被測定光学系の標的として大き
なスクリーンを用いているが、赤外線光学系のフレア測
定の場合、このような光源は製作できない。たとえ、天
外なヒートパネルを作りこの中に暗黒部を設けても、こ
の暗黒部を絶対零度（−２７３℃）にしなければならず
、このような標的は実現不可能である。
て構成されているので、被測定光学系の標的として大き
なスクリーンを用いているが、赤外線光学系のフレア測
定の場合、このような光源は製作できない。たとえ、天
外なヒートパネルを作りこの中に暗黒部を設けても、こ
の暗黒部を絶対零度（−２７３℃）にしなければならず
、このような標的は実現不可能である。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記のような従来の欠点を除去するためにな
されたもので、点光源を標的として用い、被測定光学系
（可視光、非可視光）によって結像された映像面の点像
強度分布に関してその積分値を求め、該積分値から前記
第３図のスクリーン（面光源）における暗黒部に相当す
る部分を差し引いた点像強度分布の残りの部分と、前記
積分値との比を計測することによって、従来の測定と同
じ測定ができ、しかも赤外線光学系のように可視光の場
合のごとき標的の作れない光学測定においても正確なフ
レア測定ができる光学系フレアの測定法及び装置を提供
しようとするものである。
されたもので、点光源を標的として用い、被測定光学系
（可視光、非可視光）によって結像された映像面の点像
強度分布に関してその積分値を求め、該積分値から前記
第３図のスクリーン（面光源）における暗黒部に相当す
る部分を差し引いた点像強度分布の残りの部分と、前記
積分値との比を計測することによって、従来の測定と同
じ測定ができ、しかも赤外線光学系のように可視光の場
合のごとき標的の作れない光学測定においても正確なフ
レア測定ができる光学系フレアの測定法及び装置を提供
しようとするものである。
まず、本発明の詳細な説明を第１図について行う。この
図において、２１は標的としての点光源、２５は被測定
光学系、２６は被測定光学系の映像面、２７はポイント
検出器、２６ａは映像面を検出器２７によＱ Ｌ＋３’
方向２次元に計測した点像強度分布である。なお、点線
で示すスクリーン１及び暗黒部２は本発明の測定では不
必要であるが、従来の第３図の構成で使用したスクリー
ンとその暗黒部の位置を表している。
図において、２１は標的としての点光源、２５は被測定
光学系、２６は被測定光学系の映像面、２７はポイント
検出器、２６ａは映像面を検出器２７によＱ Ｌ＋３’
方向２次元に計測した点像強度分布である。なお、点線
で示すスクリーン１及び暗黒部２は本発明の測定では不
必要であるが、従来の第３図の構成で使用したスクリー
ンとその暗黒部の位置を表している。
さて、点光源２１の光（可視光、又は赤外線、紫外線等
の非可視光）は被測定光学系２５を通り、その映像面２
６に点光源の点像分布を作る。その映像面をポイント検
出器２７によって縦横２次元に走査し、映像面上の点像
強度分布２６ａの関数Ｇ（ｘ、ｙ）を測定する。このと
き、ポイント検出器２７の大きさ内の光信号は検出器自
身が積分しているので、計測はポイント検出器サイズの
ピッチ、 で２次元に走査する。従来の第３図の場合
に用いられる面光源（照明されたスクリーン）は点光源
の集合であるから、従来の場合の暗黒部を埋めるフレア
量Ｉ （ｂ）／ Ｉ （ｏ）は、本発明では式（１）に
示すように、点像強度の全積分値を求め、全積分値から
暗黒部に対応する部分（第１図の幅ｄの部分）を差し引
いた残りの部分（第１図の新線部）と、前記全積分値と
の比で表すことができる。但し、前記幅ｄの値は通常光
学系の視角のおよそ１度乃至２度に選ばれる。
の非可視光）は被測定光学系２５を通り、その映像面２
６に点光源の点像分布を作る。その映像面をポイント検
出器２７によって縦横２次元に走査し、映像面上の点像
強度分布２６ａの関数Ｇ（ｘ、ｙ）を測定する。このと
き、ポイント検出器２７の大きさ内の光信号は検出器自
身が積分しているので、計測はポイント検出器サイズの
ピッチ、 で２次元に走査する。従来の第３図の場合
に用いられる面光源（照明されたスクリーン）は点光源
の集合であるから、従来の場合の暗黒部を埋めるフレア
量Ｉ （ｂ）／ Ｉ （ｏ）は、本発明では式（１）に
示すように、点像強度の全積分値を求め、全積分値から
暗黒部に対応する部分（第１図の幅ｄの部分）を差し引
いた残りの部分（第１図の新線部）と、前記全積分値と
の比で表すことができる。但し、前記幅ｄの値は通常光
学系の視角のおよそ１度乃至２度に選ばれる。
（実施例）
次に、第２図で本発明の実施例の構成について説明する
。この第２図において、点光源３１からの赤外線は、赤
外線を断続するチ１ツバ−３２により断続光にされた後
、光源を必要な大きさに（十分小さな点状となるように
）規定するアパーチャ３３から光学フィルター３４を経
て放射される。
。この第２図において、点光源３１からの赤外線は、赤
外線を断続するチ１ツバ−３２により断続光にされた後
、光源を必要な大きさに（十分小さな点状となるように
）規定するアパーチャ３３から光学フィルター３４を経
て放射される。
被測定光学系３５を通った赤外線は光学系映像面３６に
点像分布を作る。赤外線検出器３７はコントローラ３８
によってｘ、ｙ方向の２次元走査を自動的に行うＸＹ微
動ステージ３９上に設けられ、前記映像面を走査し点像
強度分布を計測する。このとき、走査のピッチは赤外線
検出器サイズで行う。この計測信号はロックインアンプ
４０に入力される。ロックインアンプ４０は前記チョッ
パー３２よりの同期信号Ｓを受け、チョッパー３２を赤
外線が通過している期間のみ増幅動作を行うものである
。ロックインアンプ４０の出力はさらにログアンプ（対
数増幅器）４１で増幅された後、ＡＤ変換器４２でディ
ジタル信号に変換され、計算８！４３で積算される。該
計算機４３は前述の式（１）に基づきフレア量を算出し
、プリンター、プロッター等の表示装置４４に表示する
。
点像分布を作る。赤外線検出器３７はコントローラ３８
によってｘ、ｙ方向の２次元走査を自動的に行うＸＹ微
動ステージ３９上に設けられ、前記映像面を走査し点像
強度分布を計測する。このとき、走査のピッチは赤外線
検出器サイズで行う。この計測信号はロックインアンプ
４０に入力される。ロックインアンプ４０は前記チョッ
パー３２よりの同期信号Ｓを受け、チョッパー３２を赤
外線が通過している期間のみ増幅動作を行うものである
。ロックインアンプ４０の出力はさらにログアンプ（対
数増幅器）４１で増幅された後、ＡＤ変換器４２でディ
ジタル信号に変換され、計算８！４３で積算される。該
計算機４３は前述の式（１）に基づきフレア量を算出し
、プリンター、プロッター等の表示装置４４に表示する
。
なお、上記実施例では、赤外線光学系のフレアを測定す
る場合を例示したが、本発明は赤外線光学系のみならず
、紫外線あるいは可視光の光学系のフレア測定も可能で
あることは明らかである。
る場合を例示したが、本発明は赤外線光学系のみならず
、紫外線あるいは可視光の光学系のフレア測定も可能で
あることは明らかである。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、点光源を用いて
フレアを測定するように構成したので、紫外線や赤外線
光学系など、従来の構成では実現できなかったものが簡
単な方法で容易に測定可能になるなどの効果があり、ま
た測定精度も高いものが得られる。さらに、標的は点光
源であるので製作が容易であり、可視光の測定に応用し
ても装置が安価でコンパクトにできる等の効果もある。
フレアを測定するように構成したので、紫外線や赤外線
光学系など、従来の構成では実現できなかったものが簡
単な方法で容易に測定可能になるなどの効果があり、ま
た測定精度も高いものが得られる。さらに、標的は点光
源であるので製作が容易であり、可視光の測定に応用し
ても装置が安価でコンパクトにできる等の効果もある。
第１図は本発明による光学系フレア測定の原理図、第２
図は本発明の光学系フレアの測定装置の実施例を示すブ
ロック図、第３図は従来の光学系フレア測定の原理図で
ある。 １・・・スクリーン、２・・・暗黒部、３・・・照明装
置、５．２５．３５・・・被測定光学系、６，２６鵞３
６・・・映像面、６ａ・・・像面信号強度分布、２１．
３１・・・点光源、２６ａ・・・点像強度分布、２７．
３７・・・検出器、３２・・・チョッパー、３３・・・
アパーチャ、３４・・・光学フィルター、３８・・・コ
ントローラ、３９・・・ＸＹ微動ステージ、４０・・・
ロックインアンプ、４１・・・ログアンプ、４２・・・
ＡＤ変換器、４３・・・計算機、４４・・・表示装置。
図は本発明の光学系フレアの測定装置の実施例を示すブ
ロック図、第３図は従来の光学系フレア測定の原理図で
ある。 １・・・スクリーン、２・・・暗黒部、３・・・照明装
置、５．２５．３５・・・被測定光学系、６，２６鵞３
６・・・映像面、６ａ・・・像面信号強度分布、２１．
３１・・・点光源、２６ａ・・・点像強度分布、２７．
３７・・・検出器、３２・・・チョッパー、３３・・・
アパーチャ、３４・・・光学フィルター、３８・・・コ
ントローラ、３９・・・ＸＹ微動ステージ、４０・・・
ロックインアンプ、４１・・・ログアンプ、４２・・・
ＡＤ変換器、４３・・・計算機、４４・・・表示装置。
Claims (2)
- （１）点光源を標的として用い、被測定光学系により結
像された点像強度分布に関してその積分値を求め、該積
分値から面光源における暗黒部に対応する部分を差し引
いた残りの部分と、前記積分値との比をもって前記被測
定光学系のフレア量とすることを特徴とする光学系フレ
アの測定法。 - （２）点光源と、該点光源の光を断続するチョッパーと
、被測定光学系を通った光による光学系像面上の点像強
度分布を前記光学系像面を走査することにより計測する
検出器と、該検出器の計測信号を前記チョッパーの動作
に同期して増幅するロックインアンプを有する増幅演算
手段とを備え、該増幅演算手段により前記点像強度分布
に関してその積分値を求め、該積分値から面光源におけ
る暗黒部に対応する部分を差し引いた残りの部分と、前
記積分値との比を演算することを特徴とする光学系フレ
アの測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1095085A JPS61170635A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 光学系フレアの測定法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1095085A JPS61170635A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 光学系フレアの測定法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170635A true JPS61170635A (ja) | 1986-08-01 |
| JPH0445064B2 JPH0445064B2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=11764476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1095085A Granted JPS61170635A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 光学系フレアの測定法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170635A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089335A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nec Corp | 光学フレア検査装置および検査方法 |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP1095085A patent/JPS61170635A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089335A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nec Corp | 光学フレア検査装置および検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0445064B2 (ja) | 1992-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |