JPS61188896A - 透明電極の検査装置 - Google Patents
透明電極の検査装置Info
- Publication number
- JPS61188896A JPS61188896A JP60028619A JP2861985A JPS61188896A JP S61188896 A JPS61188896 A JP S61188896A JP 60028619 A JP60028619 A JP 60028619A JP 2861985 A JP2861985 A JP 2861985A JP S61188896 A JPS61188896 A JP S61188896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent electrode
- electrodes
- transparent
- substrate
- infrared light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は透明電極の検査装置に関し、とりわけ液晶パネ
ル、ＫＬパネル、プラズマパネル、太陽電池など多方面
で用いられている電子装置に不可欠な透明電極パターン
の検査装置に関するものである。
ル、ＫＬパネル、プラズマパネル、太陽電池など多方面
で用いられている電子装置に不可欠な透明電極パターン
の検査装置に関するものである。
従来の技術
従来は透明電極の検査としては透明電極の形成された基
板の表面を光学顕微鏡を用いて観察する、いわゆる目視
検査があった。たとえば、光学顕微鏡の試料ステージ上
に載置された基板を順次移動させながらパターンの検査
を行うか、あるいは基板の表面を、光学顕微鏡と一体化
されたビデオカメラで観察し、ＴＶ画面に表示された透
明電極のパターンを目視によって良否の判定を行ってい
た。
板の表面を光学顕微鏡を用いて観察する、いわゆる目視
検査があった。たとえば、光学顕微鏡の試料ステージ上
に載置された基板を順次移動させながらパターンの検査
を行うか、あるいは基板の表面を、光学顕微鏡と一体化
されたビデオカメラで観察し、ＴＶ画面に表示された透
明電極のパターンを目視によって良否の判定を行ってい
た。
上記のような目視は、小面積の観察には有効であるが、
たとえばＡ４サイズという大きな面積にわたって、しか
も単調なストライプ状のくり返しパターンを観察すると
きには目視ミスが多発しやすい。また、基板表面にゴミ
が存在しているときには、パターンの欠陥と判別しにく
いことが多い。
たとえばＡ４サイズという大きな面積にわたって、しか
も単調なストライプ状のくり返しパターンを観察すると
きには目視ミスが多発しやすい。また、基板表面にゴミ
が存在しているときには、パターンの欠陥と判別しにく
いことが多い。
このような問題を解決した透明電極パターンの検査装置
として本出願人は赤外光線を利用してパターンの良否を
判別する装置を提案した。（特願昭発明が解決しようと
する問題点 上述の新しい検査装置では、目視で問題であった検査ミ
スに対しては非常に有効であったが、検査に要する時間
や精度の点において十分ではなかった。本発明はかかる
点に鑑みてなされたもので、基板上の透明電極を短時間
に高精度で検査することの可能なさらに改良された透明
電極の検査装置を提供することを目的としている。
として本出願人は赤外光線を利用してパターンの良否を
判別する装置を提案した。（特願昭発明が解決しようと
する問題点 上述の新しい検査装置では、目視で問題であった検査ミ
スに対しては非常に有効であったが、検査に要する時間
や精度の点において十分ではなかった。本発明はかかる
点に鑑みてなされたもので、基板上の透明電極を短時間
に高精度で検査することの可能なさらに改良された透明
電極の検査装置を提供することを目的としている。
問題点を解決するだめの手段
本発明は上記問題点を解決するため、複数のストライプ
状の透明電極が形成された基板に赤外光線を照射する手
段と、前記赤外光線の前記透明電極および電極間での透
過光あるいは反射光をそれぞれ検出するように前記透明
電極および前記電極間にそれぞれ対応して設けられた複
数の赤外光検知素子からなり、前記基板から適当な距離
を保って前記透明電極に対して交差するように配置され
た赤外光ラインセンサと、前記赤外光ラインセンサを用
いて前記基板の任意の位置における前記透明電極および
前記電極間からの前記赤外光線の透過光あるいは反射光
を検出し、前記ラインセンサの出力値を記憶する手段と
、前記任意の位置から微小変位した位置で同様の検出を
行ない、そのときの前記ラインセンサの出力値と前記記
憶値とを前記透明電極および前記電極間に対応してそれ
ぞれ比較して差分値および平均値とを算出する手段とを
有し、前記透明電極に対応する前記差分値により前記透
明電極の断線を、前記電極間に対応する前記差分値によ
り前記透明電極の短絡を、前記平均値により前記透明電
極の抵抗値を検知する構成であることを特徴とする透明
電極の検査装置を提供する。
状の透明電極が形成された基板に赤外光線を照射する手
段と、前記赤外光線の前記透明電極および電極間での透
過光あるいは反射光をそれぞれ検出するように前記透明
電極および前記電極間にそれぞれ対応して設けられた複
数の赤外光検知素子からなり、前記基板から適当な距離
を保って前記透明電極に対して交差するように配置され
た赤外光ラインセンサと、前記赤外光ラインセンサを用
いて前記基板の任意の位置における前記透明電極および
前記電極間からの前記赤外光線の透過光あるいは反射光
を検出し、前記ラインセンサの出力値を記憶する手段と
、前記任意の位置から微小変位した位置で同様の検出を
行ない、そのときの前記ラインセンサの出力値と前記記
憶値とを前記透明電極および前記電極間に対応してそれ
ぞれ比較して差分値および平均値とを算出する手段とを
有し、前記透明電極に対応する前記差分値により前記透
明電極の断線を、前記電極間に対応する前記差分値によ
り前記透明電極の短絡を、前記平均値により前記透明電
極の抵抗値を検知する構成であることを特徴とする透明
電極の検査装置を提供する。
作用
本発明は上記した構成により、赤外光線の透過および反
射率が基板と透明電極とで異なっており、透明電極の抵
抗値によっても透過および反射率が異なることを利用し
、赤外光線の透明電極および電極間での透過光あるいは
反射光を検出して記憶する手段と、新たな測定点での検
出値と前記記憶値とを比較し差分値と平均値とを算出す
る手段とを有することにより、すなわち透明電極に対応
する検知出力の差分値により断線が、電極間に対応する
検知出力の差分値により短絡が、透明電極に対応する検
知出力の平均値により各透明電極の抵抗値がそれぞれ短
時間で精度よく検知されるものである。
射率が基板と透明電極とで異なっており、透明電極の抵
抗値によっても透過および反射率が異なることを利用し
、赤外光線の透明電極および電極間での透過光あるいは
反射光を検出して記憶する手段と、新たな測定点での検
出値と前記記憶値とを比較し差分値と平均値とを算出す
る手段とを有することにより、すなわち透明電極に対応
する検知出力の差分値により断線が、電極間に対応する
検知出力の差分値により短絡が、透明電極に対応する検
知出力の平均値により各透明電極の抵抗値がそれぞれ短
時間で精度よく検知されるものである。
実施例
第１図は本発明の透明電極の検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。第１図において１はガラス基板であ
って、透明電極として酸化スズインジウム（以下ＩＴＯ
と略す）からなる複数のＩＴＯ電極２がストライプ状に
形成されている。
ブロック図である。第１図において１はガラス基板であ
って、透明電極として酸化スズインジウム（以下ＩＴＯ
と略す）からなる複数のＩＴＯ電極２がストライプ状に
形成されている。
このガラス基板１の上に波長２μｍの赤外光源３がガラ
ス基板１に向って赤外光線を照射するように設けてあり
、ガラス基板１の下Ｓ＋ａのところにはＩＴＯ電極２お
よび電極間を透過してきた赤外光線をそれぞれ各電極お
よび各電極間にそれぞれ対応して検出するように多数の
赤外光検知素子４が設けられた赤外光ラインセンサ５が
ＩＴＯ電極に直交して設置しである。この赤外光ライン
センサ５を用いてタイミング制御回路６によりタイミン
グよくガラス基板１上のＩＴＯ電極２および電極間から
の透過赤外光を検出し検知素子４の出力を増幅器７によ
り増幅し、記憶回路８にその値を記憶する。次に基板駆
動回路９によりガラス基板１をＩＴＯ電極２のストライ
プに沿って水平方向に１００μｍ移動させ、同様の検出
を行ない、検知素子４の出力を増幅器７により増幅して
、記憶回路８に記憶しておいた出力値と比較し、差動増
幅器１ｏによって差分値を算出、平均値回路１１によっ
て平均値を算出する。本実施例ではガラス基板１のみを
波長２μｍの赤外光線が透過する割合は９０ｑ６であり
、ガラス基板１上のＩＴＯ電極２を透過する割合は７影
であった。したがってＩＴＯ電極に関してはＩＴＯ電極
２に断線がない場合は差分値は０に等しく、断線の場合
は出力があられれ断線検出１１する。また電極間に対応
する出力に関しても、ＩＴＯ電極２がとなりのＩＴＯ電
極２と短絡している場合にのみ差分値が増加し、短絡検
出１２する。このように赤外検知出力の絶対値ではなく
差分値で断線および短絡の判定を行なうため、たとえば
ＩＴＯ電極２の膜質やパターン幅、あるいはガラス基板
の赤外透過率の基板間バラつきとは無関係に検査ができ
るメリットを有している。ＩＴＯ電極２の抵抗値につい
ては、たとえば第２図に示すように波長２μｍの赤外光
線透過率と膜抵抗値との間には依存性がみられ、したが
ってあらかじめ赤外光線透過率で抵抗値を較正しておけ
ば透過率から抵抗値を知ることができる。本実施例の装
置では精度を高くするため記憶していた前回の検出値と
新たな検出値とを平均値回路１１に入力し平均値を算出
し、この値により電極抵抗検出１３を行なった。以下同
様にしてタイミング制御回路６によりタイミングよく基
板駆動回路９を制御してガラス基板１を移動させ、基板
全面の透明電極を検査することができた。
ス基板１に向って赤外光線を照射するように設けてあり
、ガラス基板１の下Ｓ＋ａのところにはＩＴＯ電極２お
よび電極間を透過してきた赤外光線をそれぞれ各電極お
よび各電極間にそれぞれ対応して検出するように多数の
赤外光検知素子４が設けられた赤外光ラインセンサ５が
ＩＴＯ電極に直交して設置しである。この赤外光ライン
センサ５を用いてタイミング制御回路６によりタイミン
グよくガラス基板１上のＩＴＯ電極２および電極間から
の透過赤外光を検出し検知素子４の出力を増幅器７によ
り増幅し、記憶回路８にその値を記憶する。次に基板駆
動回路９によりガラス基板１をＩＴＯ電極２のストライ
プに沿って水平方向に１００μｍ移動させ、同様の検出
を行ない、検知素子４の出力を増幅器７により増幅して
、記憶回路８に記憶しておいた出力値と比較し、差動増
幅器１ｏによって差分値を算出、平均値回路１１によっ
て平均値を算出する。本実施例ではガラス基板１のみを
波長２μｍの赤外光線が透過する割合は９０ｑ６であり
、ガラス基板１上のＩＴＯ電極２を透過する割合は７影
であった。したがってＩＴＯ電極に関してはＩＴＯ電極
２に断線がない場合は差分値は０に等しく、断線の場合
は出力があられれ断線検出１１する。また電極間に対応
する出力に関しても、ＩＴＯ電極２がとなりのＩＴＯ電
極２と短絡している場合にのみ差分値が増加し、短絡検
出１２する。このように赤外検知出力の絶対値ではなく
差分値で断線および短絡の判定を行なうため、たとえば
ＩＴＯ電極２の膜質やパターン幅、あるいはガラス基板
の赤外透過率の基板間バラつきとは無関係に検査ができ
るメリットを有している。ＩＴＯ電極２の抵抗値につい
ては、たとえば第２図に示すように波長２μｍの赤外光
線透過率と膜抵抗値との間には依存性がみられ、したが
ってあらかじめ赤外光線透過率で抵抗値を較正しておけ
ば透過率から抵抗値を知ることができる。本実施例の装
置では精度を高くするため記憶していた前回の検出値と
新たな検出値とを平均値回路１１に入力し平均値を算出
し、この値により電極抵抗検出１３を行なった。以下同
様にしてタイミング制御回路６によりタイミングよく基
板駆動回路９を制御してガラス基板１を移動させ、基板
全面の透明電極を検査することができた。
このように本発明にかかる透明電極の検査装置を用いる
ことにより、基板上の透明電極の断線、短絡および抵抗
値の検査が再現よく短時間に行なうことができる。本発
明の一実施例においては赤外光線の透過光を利用したが
、もちろん反射光を検知する構成でも効果は全く変わら
ない。赤外光源の波長については本実施例では２μｍの
ものを用いたが、透明電極の形成されている基板の種類
によって、あるいは赤外光線の透過を利用するか反射を
利用するかによって最適な波長が決定されるが、基板と
して石英ガラスを用い、赤外光線の透過を利用した場合
は５μｍ以下の波長が適当であった。また本実施例では
赤外光線検出系に対して基板の方を移動したが、逆に基
板を固定して赤外光線検出系の方を移動してもよいこと
は言うまでもない。
ことにより、基板上の透明電極の断線、短絡および抵抗
値の検査が再現よく短時間に行なうことができる。本発
明の一実施例においては赤外光線の透過光を利用したが
、もちろん反射光を検知する構成でも効果は全く変わら
ない。赤外光源の波長については本実施例では２μｍの
ものを用いたが、透明電極の形成されている基板の種類
によって、あるいは赤外光線の透過を利用するか反射を
利用するかによって最適な波長が決定されるが、基板と
して石英ガラスを用い、赤外光線の透過を利用した場合
は５μｍ以下の波長が適当であった。また本実施例では
赤外光線検出系に対して基板の方を移動したが、逆に基
板を固定して赤外光線検出系の方を移動してもよいこと
は言うまでもない。
発明の詳細
な説明したように、本発明の透明電極の検査装置は、基
板上の透明電極の断線、短絡、抵抗値の検出を基板全面
にわたって高精度で再現よく、基板間のバラつきとは無
関係に、しかも短時間で行なうことができ実用的価値の
高いものである。
板上の透明電極の断線、短絡、抵抗値の検出を基板全面
にわたって高精度で再現よく、基板間のバラつきとは無
関係に、しかも短時間で行なうことができ実用的価値の
高いものである。
第１図は本発明の一実施例を示す透明電極の検査装置の
ブロック図、第２図はＩＴＯ膜の抵抗値と赤外光線透過
率との関係を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・ＩＴＯ電極
、３・・・・・・赤外光源、４・・・・・・赤外光検知
素子、６・・・・・・赤外光ラインセンサ、１ｏ・・・
・・・差動増幅回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 未外光！！、透過車 （ゾ□ン
ブロック図、第２図はＩＴＯ膜の抵抗値と赤外光線透過
率との関係を示す図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・ＩＴＯ電極
、３・・・・・・赤外光源、４・・・・・・赤外光検知
素子、６・・・・・・赤外光ラインセンサ、１ｏ・・・
・・・差動増幅回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 未外光！！、透過車 （ゾ□ン
Claims (4)
- （１）複数のストライプ状の透明電極が形成された基板
に赤外光線を照射する手段と、前記赤外光線の前記透明
電極および電極間での透過光あるいは反射光をそれぞれ
検出するように前記透明電極および前記電極間にそれぞ
れ対応して設けられた複数の赤外光検知素子からなり、
前記基板から適当な距離を保って前記透明電極に対して
交差するように配置された赤外光ラインセンサと、前記
赤外光ラインセンサを用いて前記基板の任意の位置にお
ける前記透明電極および前記電極間からの前記赤外光線
の透過光あるいは反射光を検出し、前記ラインセンサの
出力値を記憶する手段と、前記任意の位置から微小変位
した位置で同様の検出を行ない、そのときの前記ライン
センサの出力値と前記記憶値とを前記透明電極および前
記電極間に対応してそれぞれ比較して差分値および平均
値とを算出する手段とを有し、前記透明電極に対応する
前記差分値により前記透明電極の断線を、前記電極間に
対応する前記差分値により前記透明電極の短絡を、前記
平均値により前記透明電極の抵抗値を検知する構成であ
ることを特徴とする透明電極の検査装置。 - （２）赤外光線の波長が５μｍ以下であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の透明電極の検査装置。 - （３）透明電極がすくなくともＩｎの酸化物を含む透明
導電膜からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の透明電極の検査装置。 - （４）微小変位が前記透明電極のストライプ方向である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の透明電極
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028619A JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60028619A JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188896A true JPS61188896A (ja) | 1986-08-22 |
| JPH0634392B2 JPH0634392B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=12253565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60028619A Expired - Lifetime JPH0634392B2 (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 透明電極の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634392B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02116703A (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
| US5538893A (en) * | 1994-04-21 | 1996-07-23 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Reagent for analyzing leukocytes and a method for classifying leukocytes |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP60028619A patent/JPH0634392B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02116703A (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
| US5538893A (en) * | 1994-04-21 | 1996-07-23 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Reagent for analyzing leukocytes and a method for classifying leukocytes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0634392B2 (ja) | 1994-05-02 |
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