JPS61190068A - 真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電子機器等に使用される情報媒体に真空雰囲気
中で処理を施す真空処理装置に関するものである。

従来の技術 近年、真空処理装置は真空処理室【内蔵する製品及び処
理剤が約４〜６個単位ごとに真空室を大気圧に戻した状
態で交換される、いわゆるバッチ処理方式がとられてい
る。

以下図面を参照しながら、上述した従来の真空処理装置
の一例について説明する。第３図、第４図は従来の真空
処理装置のそれぞれ平面図及び正面図を示すものである
。第３図及び第４図において、１は真空室、２は開閉ト
ビラ、３は円周上４か所に等間隔で製品４が取付けられ
た間欠回転円板、６は回転導入機、６はモーター、７は
一対の平歯車、８は処理機、９は円周上４か所に等間隔
で凹部をもつ処理機に内蔵された間欠回転円板、１０は
凹部に収納された処理剤、１１は垂直軸、１２は１対の
傘歯車、１３は水平軸、１４は回転導入機、１６はモー
ター、１６は１対の平歯車である。

以上のように構成された真空処理装置について、以下そ
の動作について説明する。

作業者によって真空室１の開閉トビラ２が開かれ、間欠
回転円板の円周上４か所に製品４がそれぞれ取付けられ
、さらに処理機の間欠回転円板９内の円周上４か所の凹
部に処理剤が投入された後、開閉トビラ２が閉ざされて
真空室１内の真空度が上げられ、一定の真空度に到達し
た時点で処理機８が作動し、処理剤が作用して上方の製
品４に処理剤の膜が付けられる。一定の厚さの処理膜が
付けられた後処理機の作動が停止し、間欠回転円板３及
び処理機８内の間欠回転円板がそれぞれ駆動用のモータ
ー６及び１５の回転駆動によって、間欠回転円板は一対
の平歯車７、回転導入機５を経て、また処理機の間欠回
転円板は一対の平歯車１６から回転導入機１４、水平軸
１３、一対の傘歯車１２、垂直軸１１を経て、それぞれ
２回転送られて停止する。次に再び処理機が作動して新
しい処理剤が作用して上方の新しい製品４に処理剤の膜
が付けられる。一定の厚さの処理膜が付けられた後、処
理機の作動が停止し、前回同様に間欠回転円板３及び処
理機の間欠回転板がそれぞれに回転して停止して同様の
動作が繰シ返される０４個の製品にそれぞれ処理が施さ
れた後、再び真空室の真空度が下げられ大気圧に戻った
時点で作業者が開閉トビラ２を開いて処理された製品が
取出され処理されていない製品を取付けると同時に４個
の処理済みの処理剤が取出され、新しい処理剤が処理機
の間欠回転円板に投入される。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成では処理枚数が約４〜６
と限定されるため処理の連続化が不可能なため、４〜６
枚処理された後、真空室を大気圧に戻して製品及び処理
剤を入れ換えねばならず、生産性が極めて低いばかシで
なく、真空室を入れ換えごとに大気圧に戻すことにより
、処理条件や処理時の品質に悪影響を及ぼすという問題
を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、処理の連続化のだめの製品
及び処理剤の連続供給を実現することにより、生産性の
大幅な向上と処理される製品品質の安定向上を提供する
ものである。

問題点を解決するための手段 上記問題を解決するために本発明の真空処理装置は真空
処理室と、処理剤を貯蔵する貯蔵室と、処理剤が収納さ
れたマガジンと、マガジン切換え部と、突上げ部と、貯
蔵室に支点をもち真空処理室までゲートバルブを通過し
て揺動可能な処理剤の供給アームと、真空処理室の片側
にゲートバルブを介して隣接し、大気から真空処理室の
真空度まで昇降可能な前真空室及び前真空室から真空処
理室へ製品を供給する製品供給アームという構成を備え
たものである。

作　　用 本発明は上記した構成によって、処理剤の連続化につい
ては、真空処理室に常時開放状態のゲートバルブを介し
て隣接した貯蔵室の中に処理剤を数多く段積みマガジン
内に収納し、上方へ一段づつ上昇させ、最上段から１個
の処理剤を挾持して供給アームで真空処理室まで供給し
、処理剤を挾持したまま処理機が作動し処理が連続して
行われる０また製品の供給の連続化については真空処理
室に自動開閉可能なゲートバルブを介して隣接した前真
空室で大気から真空処理室の真空度と同圧まで昇降可能
にして、前真空室からゲートバルブを通過して製品を保
持した製品供給アームによって連続的に製品が真空処理
室へ供給される。

実施例 以下本発明の一実施例の真空処理装置について、図面を
参照しながら説明する。

第１図は本発明の実施例における真空処理装置の平面図
、第２図は同じく正面図を示すものである。第１図及び
第２図において、１７は真空処理室、１８は貯蔵室、１
９は前真空室、２０，２１゜２２はそれぞれゲートバル
ブ、２３は垂直軸２４に保持された間欠回転円板、２５
は回転導入機、２６は一対の平歯車、２７はモーター、
２８は処理機、２９は規制板、３０は処理を施される製
品、３１は処理剤、３２は貯蔵室に設けられたマガジン
、３３は前記マガジンを円筒上に取付けた円板、３４は
回転導入機、３５は一対の平歯車、３６はモーター、３
７は突き上げ部、３８はマガジン切換え部、３９はチャ
ック、４ｏは供給アーム、４１は垂直軸、４２はロータ
リーアクチェータ、４３け前真空室から伸びた製品供給
第二アーム、４４は垂直軸、４５は回転導入機、４６は
一対の平歯車、４７はモータ、４８は固定の平歯車、４
９は製品供給第一アーム、５ｏは遊星歯車、５１は中間
歯車である０６２は使用済み処理剤の投入箱、６３は取
出し第一アーム、６４は取出し第二アームである。

以上のように構成された真空処理装置について、以下第
１図及び第２図を用いてその動作を説明する０ まずゲートバルブ２Ｑが開放され、前真空室にある供給
第一アーム４９及び供給第二アームがモーター４７の回
転駆動によって一対の平歯車４６から回転導入機４６、
垂直軸４４を伝達して駆動されゲートバルブ２０を通過
して外部へ伸びて製品が保持される。次に前記供給第一
アーム、及び供給第二アームが前と逆の動作を行ない前
真空室１９内に入シゲートバルプ２０は閉じられ、前真
空室の真空度は大気圧から隣接する真空処理室の真空度
まで上げられる。次にゲートバルブ２１が開放された後
供給第一アーム及び供給第二アームがさらに駆動されゲ
ートバルブ２１を通過して真空処理室１７内に内蔵され
た間欠回転円板２３上に製品３ｏが置かれた後、前記供
給第一アームと供給第二アームが前真空室へ戻った後、
ゲートバルブ２１は閉められる。次に前記間欠回転円板
２３がモーター２７の駆動で、一対の平歯車２６、回転
導入機２５、垂直軸２４を伝達されてに回転して停止す
る。次に貯蔵室１８に内蔵された処理剤が琢積み収納さ
れたマガジン３２が円板３３上に取附けられたまま下方
から突上げ部３７が突上げ駆動部（図示せず）によって
−股上へ突上げられ、マガジン上方で処理剤が供給アー
ム４０先端に取付けられたチャック３９によって挾持さ
れる０続いて前記供給アーム４ｏがロータリーアクチェ
ータ４２の駆動によって垂直軸を伝達されて揺動動作を
行ない常時開放のゲートバルブ２２を通過して真空処理
室１７内に設けられた処理機２８内にチャック３９に挾
持された処理剤が供給されたまま処理機２８が作動して
上方に用意された製品３０上に処理が施される。製品上
に一定の膜厚が形成されると処理機は停止して、供給ア
ーム４ｏは貯蔵室１８内に戻り、使用済み処理剤の投入
箱５２にチャックを開放して処理剤を投入した後、再び
マガジン３２上でチャック３９が待機する。間欠回転円
板２３上で処理が完了した製品３ｏは間欠回転円板かに
回転して停止した後、別の取出し第一アーム６４と取出
し第二アーム５３がゲートバルブ２１を通過して前真空
室から真空処理室に入シ処理が完了した間欠回転円板上
の製品を保持した後、取出し第一アームと取出し第二ア
ームが動作して前真空室に入り、ゲートバルブ２１が閉
じられた後、前真空室が大気圧まで下げられた後、ゲー
トバルブ２ｏが開放されて取出し第一アーム５４及び取
出し第二アーム５３がゲートバルブ２゜を通過して外部
へ伸び、ここで製品が取りはずされる。

前記マガジン３２内の処理剤が突き上げ部３７によって
突上げられ上昇限まで到達し処理剤がなくなると突上げ
部３７が最下点まで下降した後、円板３３がモーター３
６の駆動によって％回転して停止し再び突上げ部３７が
上昇し一段づつ処理剤を突上げ１いく。

以上のように本発明は真空処理室には間欠回転円板を、
また貯蔵室には筒状のマガジンとマガジン切換え部と処
理剤の突上げ部とチャックを有して揺動動作する供給ア
ームを、また前真空室には外部または隣接する真空処理
室まで伸びて製品の供給取出しが可能な供給取出しアー
ムを設けることにより製品及び処理剤の供給取出しが真
空処理室の真空を下げて大気に戻さず常に真空を保った
まま連続して行うことができる。

発明の効果 以上のように本発明では、回転円板上の製品に処理を施
す真空処理室と゛、処理剤を貯蔵する貯蔵室にあって筒
状のマガジンと、マガジン切換え部と突き上げ部と、先
端に処理剤を挾持するチャックを有し揺動する供給アー
ムと、真空処理室にゲートバルブを介して隣接した前処
理室にあって外部及び真空処理室まで伸びて製品を供給
取出しする供給取出しアームを設けることにより製品が
外部から前真空室を経由して真空処理室へ供給され、さ
らに処理が完了した製品は前真空室を経由して外部へと
連続的に行われ、また処理剤も貯蔵室から一個づつ供給
アーム先端のチャックに挾持されたまま供給されて処理
されるため真空処理室を常に一定の真空圧に保ったまま
連続して処理を施すことができ生産性の大幅な向上と製
品の処理時の品質維持に大きな効果を発揮することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における真空処理装置の平面
断面図、第２図は同正面断面図、第３図は従来の真空処
理装置の平面断面図、第４図は同正面断面図である。 １７・・・・・・真空処理室、１８・・・・・・貯蔵室
、３２・・・・・・マガジン、３８・・・・・・マガジ
ン切換え部、３７・・・・・・突き上げ部、４ｏ・・・
・・・供給アーム、１９・・・・・・前真空室、４３．
４４・・・・・・供給アーム、５３　；５４・・・・・
・取出しアーム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　処理機を内蔵し、間欠回転円板上の製品に処理を施す
   真空処理室と、ゲートバルブを介して前記真空処理室に
   隣接して処理剤を貯蔵する貯蔵室と、前記貯蔵室にあっ
   て処理剤が収納された容器が垂直方向に整列して複数個
   、段積された筒状のマガジンと、前記マガジンが複数個
   、円板上の円周に一定間隔で取付けられ間欠回転するマ
   ガジン切換え部と、前記筒状マガジン中の最下段の処理
   剤に当接した棒が一段ずつ上昇、停止を繰り返す突き上
   げ部と、前記貯蔵室に支点をもち、前記マガジン最上段
   の処理剤を挾持するチャックを先端に有し、ゲートバル
   ブを通過して揺動する供給アームと、前記真空処理室に
   ゲートバルブを介して隣接した前真空室と、前真空室か
   ら外部及び真空処理室へそれぞれ伸びて製品の供給取出
   しが可能な供給取出しアームとを備えたことを特徴とす
   る真空処理装置。