JPS6119037A - イオン線加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明はイオン線加工装置のイオン銃の構造に関する。

〔従来技術〕

従来、イオン線加工装置のイオン銃は、極めて一般的に
は第１図に示す如き構造となっていた。

すなわち、金属容器１の一部にはタングステン針２が金
属容器１に開けられた穴から尖出し、前記金属容器１内
にはＧａ等の低融点金属が入れられ、前記タングステン
針１の先端からＧａイオン等のイオンｉ１４が放出され
る。

しかし、上記従来技術によると、クロム等の高融点金属
のイオン線を放出することは不可能であった。

〔目的〕

本発明は、かかる従来技術の欠点をなくシ、高融点金属
イオンの発生を容易にするイオン銃の構造を提供するこ
とを目的とする。

〔概要〕

上記目的を達成するための本発明の基本的な構成は、イ
オン線加工装置に於て、 （１）　　イオン銃に電子線を照射する電子銃を具備す
ること、 及び、 （２）　　第１のイオン銃にイオン線を照射する第２の
イオン銃を具備すること、 を特徴とする特 〔実施例〕 以下、実施例により本発明を詳述する。

第２図は本発明の一実施例を示すイオン銃の模式図であ
る。すなわち、Ｃｒ等の高融点金属１１には、電子銃か
らの電子線１２が照射され、前記高融点金属からの高融
点金属イオン１３が放出されて成る。

尚、電子＆！１２は、Ａｒイオン等、他のイオン銃から
のイオン線であっても良い。

更に、照射線は線状のみならず面状であっても良い。

〔効果〕

本発明の如く、イオン線加工装置に於て、イオン銃に電
子線を照射する電子銃を具備するか、あるいは、第１の
イオン銃にイオン線を照射する第２のイオン銃を具備す
ることにより、Ｏｒ等の高融点金属イオンを発生するイ
オン銃が具現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術によるイオン銃、第２図は本発明の一
実施例を示すイオン銃の模式図である。 １・・・・・・容　器 ２・・・・・・タングステン針 ３・・・・・・液体金属 ４．１３・・・・・・イオン線 １１・・・・・・高融点金属 １２・・・・・・電子線又はイオン線 以　　上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）イオン銃に電子線を照射する電子銃を具備するこ
   とを特徴とするイオン線加工装置。
2. （２）第１のイオン銃にイオン線を照射する第２のイオ
   ン銃を具備することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のイオン線加工装置。