JPS61190720A - デイスク欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 光ディスク等をトラック方向に走査して欠陥を検査する
場合、■トラック分の情報を蓄え得るメモリを２個用意
すれば、検査トラックより大きい欠陥が存在する場合に
も、その数を正確にカウントし、かつ欠陥の半径方向の
大きさを知ることが可能になる。

〔産業上の利用分野〕

本発明はディスク欠陥検査装置に係り、より詳しく述べ
ると、光ディスクの欠陥の大きさを正しく認識するため
のデータ処理方式に関する。

〔従来の技術〕

従来のディスク欠陥検査装置としては、欠陥検査を行う
ディスク表面に、レーザ光を１μｍ程度のスポット状に
照射して、ディスク表面からの反射光強度を光電変換し
て欠陥の有無を検査していた。その様子を第３図を用い
て説明する。レーザ光■は所定の光学系２を用いて所定
の回転数で回転するディスク３上に１μｍ程度スポット
として照射され、その反射光４はハーフミラ−５等で光
検知器６に導かれる（７が検査トラックである）。

このとき得られる反射光信号１１および欠陥信号１２は
それぞれ第４図（ａｌおよび（ｂ）のようになる。

すなわち、欠陥があれば反射光信号１１は局部的に低下
し、適当なスレッショールドレベル１３の信号により、
欠陥パルスを作ることができる。このように作られた欠
陥パルスをカウントすれば、欠陥の個数を知ることがで
きる。また、欠陥のパルス幅を検出することにより欠陥
のディスク接線方向の大きさ、サイズを認識できた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来の方法では、第５図に示
す如く、欠陥２１が半径方向に大きく分布している場合
（同図中、直線■、■、■、■、■が検査ビームの走査
トラックを表わしている）、同゛−の欠陥を複数個の欠
陥として認識してしまう欠点があり、また半径方向の欠
陥の大きさ、サイズを認識できない欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記の如き問題点を解決するために、ディスク
の１周分の欠陥情報を蓄え得るメモリを２つ用意する。

検査トラックの半径方向の移動間隔を検査ビームのスポ
ット径と等しいかそれより小さくし、この２つのメモリ
に隣接する検査トラックの欠陥情報を順次蓄えてゆき、
それらの欠陥情報を円周方向に比較する。

例えば、欠陥情報が円周方向の同じ位置く対応する位置
）に存在する場合には、それらの欠陥が半径方向に連続
している１個の欠陥であることを意味しているので欠陥
をカウントしないようにする。一方、先行する検査トラ
ックに欠陥が存在していたにもかかわらず、次の検査ト
ラックの円周方向の同じ位置（対応する位置）に欠陥が
存在しない場合には、そこで欠陥が終了したことを意味
しているので、ここで初めて欠陥をカウントする。

同時に、それまで欠陥情報が連続して存在していた検査
トラックの本数から欠陥の半径方向の大きさを算出する
。

こうして本発明により、半径方向においても欠陥の数を
正確にカウントしかつ大きさを認識することが可能にな
り、従来から円周方向の欠陥の数および大きさは検出で
きたので１、結局、欠陥の大きさと個数を完全に正確に
知ることが可能になる。

（実施例〕 第１図に本発明の実施例を示す欠陥信号処理のフローチ
ャートを示す。先ず、フラグをＯにセットする（図の３
１）０次に、第１のメモリＭ１および第２のメモリＭ２
をリセットする　（図の３２）。

そして、ディスクの最初の検査トラックを第３図の如き
装置で円周方向に１周にわたって検査する（図の３３）
。検査した欠陥情報をメモリに入れるに当って、フラグ
が奇数のときは第１のメモリＭｌに、フラグが偶数のと
きは第２のメモリＭ２に入れる（図の３４）。今の場合
、フラグは０であるから、欠陥情報は第２のメモリＭ２
に入る。

（図の３５）。図の３６において、フラグがＯかどうか
を判断し、フラグがＯの場合には、フラグを１にセット
しく図の３７）、検査トラックを全検査トラックの隣り
のトラックに移す（図の３８）。

この検査トラックの移動は検査ビームのスポット径（通
常、光ディスクで１μｍ程度）と等しくするかそれより
小さくすることによってディスクにおける検査もれを防
ぐ。

新しい（２番目の）検査トラックを再び円周方向に１周
にわたって検査する（図の３３）。今度は、フラグが奇
数なので第１のメモリＭ１に欠陥情報が入り（図の３９
）、かつフラグが０でないので、図の４０において第１
のメモリＭ１と第２のメモリＭ２に蓄えられた欠陥情報
を円周方向に比較する。

最初の検査トラックの欠陥と第２番目の検査トラックの
欠陥が円周方向の同じ位置を共有して存在する場合には
、これらの欠陥はディスク上で連続しているものである
と考えられるので、欠陥をカウントすることなく、欠陥
の半径方向の大きさを認識するためにトラックの本数の
記憶を１にセットする（図の４１）。そして、フラグに
１を足し、すなわち、フラグを２にしく図の４２）、検
査トラックを次に移動する（図の３８）。

最初の検査トラックに欠陥が存在していたにもかかわら
ず、第２の検査トラックには円周方向においてそれを共
通する位置に欠陥が存在しない場合には、最初の検査ト
ラックの欠陥はそこで終わっていると考えられるので、
その欠陥の半径方向の大きさを表示する（図の４３）。

この欠陥は最初の検査トラックだけに存在し、第２の検
査トラックに存在しなかったので、半径方向の大きさは
検査トラック１本分の大きさと考られ、その大きさまた
は検査トラックの本数（１本）が表示される。欠陥の半
径方向の大きさを表示したら、その位置における欠陥の
大きさを認識するためのトラックのカウントをＯにリセ
ットする（図の４４）。

そして、フラグに１を足しく図の４２）、検査トラック
を次に進める（図の３８）。

新しい検査トラックすなわち第３番目の検査トラックを
検査すると（図の３３）、その欠陥情報は第２のメモリ
Ｍ２に入る（図の３４　、３５）。図の３６においては
、フラグは最初以外０になることはないので、以降の処
理においてはすべて４０の処理に進み、３７の処理が行
なわれることはない。

図の４０において、今度は、第２番目と第３番目の検査
トラックの欠陥情報が比較され、最初と２番目の検査ト
ラックの欠陥情報の比較の場合と同様に処理される。

以降、同様の処理を続行し、第（η−１）番目と第η番
目の検査トラックの欠陥情報が円周方向において共通の
位置に存在する場合には欠陥数個をカウントせずに、欠
陥の半径方向の大きさを認識するためのトラックの本数
の累計に１を加算するにとどめ、一方、第（η−１）番
目の検査トラックに欠陥が存在したにもかかわらず、第
η番目の検査トラックにおいて、それと共通する円周方
向の位置に欠陥が存在しないときには、欠陥個数を１個
としてカウントすると共に、その欠陥がそれまで半径方
向に連続して存在していた検査トラックの本数から欠陥
の半径方向の大きさを認識するようにする。

例えば、第５図に示した欠陥２１を同図の■、■、■、
■、■の検査トラックで検査したとすれば、第２図に示
す如き、各検査トラック毎の欠陥パルス情報が得られる
のであろう。これを上記のフローチャートで処理すると
、■では欠陥情報がないので欠陥をカウントしない。■
では欠陥情報があるので欠陥の大きさを検査トラックの
本数として１本にセットする。■および■ではそれぞれ
■および■と共通する欠陥情報があるので、欠陥をカウ
ントすることなく、欠陥の大きさを検査トラックの本数
としてそれぞれ２本および３本にセットする。■では■
の欠陥と共通する欠陥が存在しないので、■〜■に存在
した欠陥のために欠陥数を１としてウカウントし、かつ
欠陥の大きさとして検査トラック３本の幅を表示する。

こうして、ディスクの全面あるいは所望の領域を全部検
査すれば、そこに存在する欠陥の個数と円周方向および
半径方向の大きさが正確に把握される。もちろん、２つ
のメモリに蓄えたデータの処理を適当に行なえば、その
ほかの情報すなわち欠陥の位置、形状等をも認識するこ
とが可能であることは明らかである。このように円周方
向に加えた半径方向の処理は、この欠陥検査装置が２つ
のメモリを有し、かつ、検査トラ・ツクの半径方向の移
動間隔を検査ビームのスポットを径と等しむ）かそれよ
り小さくしながら隣接する検査トラックの欠陥情報を２
つのメモリに蓄えて、それらの欠陥情報を比較すること
によって可能にされたものである。

〔発明の効果〕

本発明により、ディスクの欠陥を検査するに当たり、円
周方向のみならず、半径方向においても、欠陥の個数お
よび大きさ等を正確に認識することができるようになる
。ディスクの欠陥の大きさ、個数、位置等を正確に知る
ことができれば、その情報は欠陥の発生原因の未明その
他にとってより有意義なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例のディスク欠陥検査処理のフ
ローチャート図、第２図は第５図の欠陥を検査した欠陥
情報のパルスを表わす図、第３図は光デイスク欠陥検査
方法を説明する模式図、第４図は検査信号と欠陥信号を
説明する図、第５図は大きな欠陥を説明する図である。 １・・・レーザ光、２・・・レンズ、３・・・光ディス
ク、４・・・反射光、５・・・ハーフミラ−１６・・・
光検出器、７・・・検出トラック、１１・・・反射光信
号、１２・・・欠陥（ｔ　号、１３・・・スレッショル
ドレベル、２１・・・欠陥。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ディスクを回転し、該ディスクに光ビームを照射し
   て得られる反射光または透過光を調べてディスクの欠陥
   を検査するディスク欠陥検査装置において、 光ビームを照射する検査トラックの半径方向の移動間隔
   を光ビームのスポット径と等しいかそれより小さくし、 検査トラックの１トラック分の情報を蓄え得る２つのメ
   モリの夫々に、隣接する検査トラックの情報を順次蓄え
   てゆき、 該２つのメモリに順に蓄えられた隣接する検査トラック
   の欠陥情報を円周方向において比較することによって、
   ディスクの欠陥に関する円周方向のみならず半径方向の
   情報を得ることを可能にしたことを特徴とするディスク
   欠陥検査装置。 ２、前記２つのメモリに順次蓄えられた隣接する検査ト
   ラックの情報を比較するに当り、 新しい検査トラックの欠陥が古い検査トラックの欠陥と
   一致する位置に存在する場合には欠陥をカウントせず、 古い検査トラックに欠陥が存在するにもかかわらず新し
   い検査トラックの応対する位置に欠陥が存在しない場合
   にはじめて欠陥をカウントし、かつそれまでその位置に
   欠陥が存在した検査トラックの本数により欠陥の半径方
   向の大きさを認識する特許請求の範囲第１項記載のディ
   スク欠陥検査装置。