JPS61192433A

JPS61192433A - 台座

Info

Publication number: JPS61192433A
Application number: JP3274385A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Mashita; 昌章真下; Etsuro Sakai; 悦郎坂井
Original assignee: Denki Kagaku Kogyo KK
Current assignee: Denka Co Ltd
Priority date: 1985-02-22
Filing date: 1985-02-22
Publication date: 1986-08-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、セメント硬化体からなる枠体の内部に細粒状
物資を存在させてなる台座に関し、例えば、加工作業時
の加工機動力部や単結晶引き上げ装置あるいは送風機な
どの回転駆動部より発生する振動を抑制し、１ＪＯ工精
度の向上や正常な単結晶の製造を行なう際に使用される
ものである。

〔従来の技術〕

午導体製造工場等の単結晶引き上げ装置、加工機体とく
にウェーハーカッティング機、送風機などにおける除振
は、例えば、シリコンウェハーの性能を決定する大きい
要因とされており、その改良が切望されている。例えば
、万ロエ機体等においでは、セメントコンクリートやレ
ジンコンクリート製などいくつかの改良が試みられて来
た。しかしながら、セメントコンクリートは、振動吸収
という面からはポーラスなものが良いが従来のものでは
強度が不足しているので鋼製部材との組み合せが必要と
なり、また、レジンコンクリートでは、弾性率が不光分
であるので、いずれのものも減衰性が低く、上記要望を
満足するには到っていない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明者らは、セメント硬化体からなる台座において、
有害な振動を抑制することを目面とし２櫨々検討した結
果、セメント硬化体望ましくは高強度セメント硬化体で
枠体を構成し、その内部に砂等の細粒状物質を充てんし
てなるものは、振動減衰性が極めて扁＜、かつ、耐久性
が大となることを見い出し、本発明を完成するに到った
。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、本発明は、セメント硬化体からなる枠体の内
部に細粒状物質を存在させてなることを特徴とする台座
である。

以下、さらに詳しく本発明について説明する。

本発明台座の枠体を構成するセメント硬化体は、セメン
トが水和反応して硬化したものであり、必要にｊ心じて
、任意量の骨材等を含有したものであれば特に制約はな
いが、以下に説明するように、セメント質物質、超微粉
、高性能減水剤、水及び骨材を主成分とする配合物は、
すこぶる良好な流動性を示し、かつ、その硬化体強度は
従来にみられない著大なものとなることから、本発明に
は好適である。

セメント質物質としては、普通、早強、超早強、耐硫＃
！壌、中庸熱、及び白色等のポルトランド糸セメント、
フライアッシュ、高炉スラグ、シリカ等を配合した混合
セメント、さらにはマスコンクリート用低発熱セメント
などが一般に用いられる。

但し、混合セメントにおいては、一般的な養生方決では
長期に渡って反応が継続するため安定性という面では好
ましくはないので、それを用いる場合には、反応乞促進
させる高温養生等を併用する配慮が必要である。また、
膨張セメントを用いて収縮補償したり、急硬セメントに
より短時間に所要強度を発現させたり、石−！ｌＩＦ系
の高強度混和材を併用することもできる。

膨張セメントの膨張成分としては、エトリンガイド系の
もの、例えば電気化学工業■製「デンカＯ８Ａ”　２０
　Ｊやツ成ＯａＯが好ましく、焼成ＯａＯ中でも１１０
０〜１６００℃で焼成され、結晶径平均が１０μ以下の
ものが特に好ましい。

急硬セメントは、各種のカルシウムアルミネート単独又
はそれと硫酸カルシウムとの混合物等のように、カルシ
ウムアルミネート系の急硬成分を含んだものであって、
それには、電気化学工業■製「デンカＥＳＪ等を配合し
たセメント、小野田セメント■製「ジェットセメント」
などがある。

また、高強度混和材としては石膏系のものであり、電気
化学工業■製「デンカΣ−１０００Ｊ、日本セメント■
製「アサノスーパーミックス」、大阪セメント■製「ノ
ンクレープ」があげられる。

超微粉は、平均粒径が前述のセメント質物質より少なく
とも１オ・−ダー低いものであり、特に平均粒径が２オ
ーダー低いものが混線物の流動特性の面から好ましい。

具体的には、シリコン、含シリコン合金及びジルコニア
を製造する際に副生ずるシリカダスト（シリカヒユーム
）やシリカ質ダストが特に好適であり、炭酸カルシウム
、シリカゾル、オパール質硅石、酸化チタン、酸化アル
ミニウムなども使用できる。特に、オパール質硅石、フ
ライアッシュ、スラグを分級器つきジェットミル等によ
り粉砕した超微粉の使用は硬化収縮を改讐するという面
から有効である。

超微粉の使用量は、セメント質物質６０〜９５富量部に
対して４０〜５恵嵩部が好ましく、さらに好ましくは６
５〜９０恵ｉｔ部に対して３５〜１０恵瀘部である。５
重重部未満では、高強度発現効果が小さく、マた、４０
重量部をこえると混練物の流動性が著しく低下し、成形
することが困難となり、かつ、強度発現も不充分となる
。

高性能減水剤とは、セメントに多重添加しても凝結の過
遅延や過度の空気連行を伴なわないで分散力が大である
界面活性剤であって、メラミンスルホン酸ホルムアルデ
ヒド縮金物の塩、ナフタリンスルホン酸ホルムアルデヒ
ド縮合物の塩、高分子量リグニンスルホン酸塩、ポリカ
ルボン酸塩などを主成分とするものがあげられる。高性
能減水剤は、混線物を低水比で得るために必要なもので
あり、従来の使用量は、セメントに対し０．３〜１重量
％であるが、本発明では、それよりも多量に添加するこ
とが望ましい。具体的には、セメント質物質と超微粉と
の混合物１００重量部に対し固形分として１０重量部程
度まで使用され、それよりも多重に添加すると硬化反応
にかえって悪影響を与える。特に好ましい添加１は１〜
５重麓部である。このような高性能減水剤の便用量にお
いて、超微粉と組み合わせることくより、水セメント比
が２５−以下でも通常の方決により枠体を成形可能な流
動性のある混線物を得ることができる。

骨材としては、従来より一般のコンクリートを調合する
際に使用されているもので良いが、より硬質なもの、具
体的には、モース硬度６以上好ましくは７以上、又はヌ
ープ圧子硬Ｋ　７００　Ｋｆ／ｌｒｙ”以上さらに好ま
しくは８００　′！４／１ａｎ２以上のいずれかの基準
で選定されたものを用いると、強度を著しく同上させる
ことができるので好適である。この基準を満足するもの
を例示すれば、珪石、エメリー、黄鉄鉱、磁鉄鉱、黄玉
、ローンン石、コランダム、ツェナサイト、スピネル、
緑柱石、全縁石、゛電気石、花崗岩、紅柱石、十字石、
ジルコン、焼成ざ−キサイト、炭化硼素、炭化タングス
テン、フェロシリコンナイトライド、窒化硅素、浴融シ
リカ、′ｉｉ１．ｆＢマグネシア、炭化硅晶万晶／？４
化硼素等がある。骨材の使用量は、通常、セメント質物
質と超微粉との合計に対し一’Ｃ５！ｆｉｔ倍量以内で
選択される。

不発明で混合物を調整する際に使用する水は成形上心安
なものであるが、高強度硬化体を得るためにはできるだ
け少量にするのが良く、セメント質物質と超微粉との混
合物１００恵量邪に対し１２．５〜６０重量部とするの
がよく、特に１５〜２８＊麓部がよい。水量が３０ｍ量
部より多いと高強度硬化体を得ることが困難であり、１
２．５重量部より少ないと通常の流し込み等の成形が困
難となる。

以上の配合材料の他に、各種繊維０ｆｆ４ヲ含む）配合
も可能であり、これらの繊維としては、スチール繊維、
スチレンレス繊維、銅繊維、各種合金繊維、石綿やアル
ミナ繊維などの各種天然および合成鉱物繊維、炭素繊維
、ガラス繊維、及びポリプロピレン、ビニロン、アクリ
ロニトリル、芳香族ポリアミド、セルロースなどの天然
又は各氏の有機繊維等があげられる。また、補強として
は鋼棒やＩＦＲＰロッド欅も使用される。

上記材料の混合および混線方法は、均一に混合及び混線
できればいずれの方法でも可能であり、添加順序に特に
制限されるものではない。また、あらかじめ骨材を設”
置し、後からセメントのペーストおよびモルタルを流し
込むことも可能である。

成形物の養生は各種の養生が可能であり、常温養生、常
圧蒸気養生、高温高圧養生、高温養生のいずれの方法も
採用することができ、必要ならば、これらの組み合せ養
生を行Ｔｘ　５゜本発明における細粒状物質とは、海砂、川砂、山砂、砕
砂等の砂、発泡ビーズ、中空フライアッシュ、シラスバ
ルーン、ガラスバルーンｔｘ　トの微小中空球体、メサ
ライト、パーライト、ユニカロンなどの人工軽量骨材、
シャモットなどのセラミックス多孔体などであり、さら
にこれを前述の高強度セメントペーストを表面に付着さ
せ硬化させた多孔質硬化体も使用可能である。

図面は、本発明の台座の一例を示すものであり、セメン
ト硬化体からなる枠体１とその内部にある細粒状物質２
とから構成されていることを示す。

第１図のものは、上面開放型であり、その場合、機械や
装置等は枠体の面を利用して据え付けられるが、本発明
ではそのような形状に限られるものではない。第２図の
ように下面を開放したものであってもよく、また、上、
下開放面を金属やセメント板、棒等により、部分的にあ
るいは全面的に閉じたものであってもよい。もちろん上
、下面を開放したものであってもよい。

以下実施例にてさらに具体的に説明する。

〔宴署１〕第　　１　　表セメント：白色ポルトランドセメント超微粉ニジリカヒユーム（日本重化学工業Ｗ）減水剤：
β−ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物塩糸「セル
フロー１１０ＰＪ（第一工業製薬）砂：珪砂５■以下モース硬度７第１表に示す配合を用いて中空管（底部のある）を作製
し、その内部に、縦粒状物質として、ノｆ−ライト、ユ
ニカロン、川砂又はユニカロン１００重量部にセメント
ペースト（セメント８０、超微粉２０、減水剤２、水２
０の重量比）１０重量部をその表面に付着させたものを
入れた後、上部を第１表と同様のモルタルにより覆い試
験体とした。

試験体の大きさは＄　６０　Ｘ　４００　ｍであり、中
空管ノ内厚は１０ｍおよび１５■である。試験体を麻ヒ
モで吊し、プラスナックハンマーで打撃した時に発生す
る騒音の自由減衰振動波形の振幅を対数変換し最小２乗
法により減衰率を測定した（測［ｌる定法の詳細については、特願相５９−２７０１７０号明
細書参照）。試験は、３ケ月間２０°Ｃ１６０％ＲＨＫ
て養生後実施した。

その結果を第２表に示す。減水率が大きい程振振動赦収
性が良好であることが明らかとなった。

（注）バーライ）：５ｍ下（宇部興産部）ユニカロン：
５■下（宝建材ａ　＞川　砂　　：５■下相模川産〔実施例２〕第２図に示すような台座（１００ＸＩ　０ＯＸ１００ｃ
Ｉｒ１　厚さ１５ｃｎｔ）’ａ’製作した。まず、鉄筋
を配置した両部型枠内に発泡スチロールを浮かして固足
し、その空間部に第１表のモルタルを打設し、硬化後発
泡スチロール乞取りはずしてセメント硬化体からなる枠
体を製造した。その中空内部に実施例１と同一の細粒状
物質を充てんしてから外気中３ケ月間の養生を行ない、
上面に鉄板を当てて反転させてから鉄板ｙａ−除去し、
振動減衰性状ヲ調べた。その最大振幅ｔセメント硬化体
のみからなる台座（実験属１３）と比較した。その結果
を第６表に示す。

第　　６　　表〔発明の効果〕本発明の台座は、振動減衰性が高く、耐久性にもすぐれ
、高強度であり、温度変化に対する寸法安定性にすぐれ
たものである。

本発明の台座は、特に振動が問題とされる半導体製造工
場などの各権工作機械の基礎、単結晶引き上げ装置や送
風機の基礎等において有効なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は、いずれも本発明の台座の実施態様で
あり、第１図は斜視図、第２図は断面図である。１・・・セメント硬化体からなる枠体２・・・細粒状物質３・・・補強鉄筋

Claims

【特許請求の範囲】

セメント硬化体からなる枠体の内部に細粒状物質を存在
させてなることを特徴とする台座。